A-121 PIglide エアベアリング付きリニアステージ-A-121.050
A-121 PIglide エアベアリング付きリニアステージ-ピーアイ・ジャパン株式会社

A-121 PIglide エアベアリング付きリニアステージ ピーアイ・ジャパン株式会社

ピーアイ・ジャパン株式会社の対応状況

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この製品について

■製品概要

PIglideのステージには、プリロードされたエアベアリングと統合されたリニアエンコーダを備えたサーボドライブリニアモータが装備。これらの非接触コンポーネントの組み合わせにより、最高の性能、品質、寿命を提供する摩擦のないモーションプラットフォームが実現。 高力リニアモーターは、数ミリ秒以内にステージを最高速度まで駆動。プリロードされたエアベアリング構造は、任意の方向への取り付けをサポート。

■応用分野

PIglideポジショニングシステムは、半導体やフラットパネルディスプレイ製造における計測、フォトニクス、精密スキャンなど、多くの高精度アプリケーションに最適。摩擦のない動きにより、粒子が形成されないため、PIglideステージはクリーンルームアプリケーションに最適。

■付属品とオプション

・エンコーダー ・PIglideフィルターと空気準備キット ・多軸モーションコントローラとダイレクトドライブ ・XYセットアップと個々の構成 ・ケーブルトラックのバリエーション ・垂直アセンブリのカウンターバランスオプション ・花崗岩製のベースプレートと振動を低減するシステム

■特徴

・スキャンアプリケーションや高精度位置決めに最適 ・クリーンルーム対応 ・モーションプラットフォームのサイズ115mm×115mm ・移動範囲350mm ・60mmからのロープロファイル ・1nmまでの分解能

  • シリーズ

    A-121 PIglide エアベアリング付きリニアステージ



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A-121 PIglide エアベアリング付きリニアステージ 品番6件

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まとめて問合せ・見積 商品画像 品番 価格 (税抜) アクティブ軸 移動範囲 (mm) ピッチ/ヨー (µrad) 真直度・平面度 (µm) 25mm移動範囲あたりの真直度・平面度 (µm) 速度、無負荷時 (MS) 加速、無負荷 (m/s²) z方向の耐荷重 (N) y単位の耐荷重 (N) θxの許容トルク (Nm) θyの許容トルク (Nm) 移動した質量 (kg) 全体の質量 (kg) ガイドタイプ ドライブタイプ 中間回路電圧、RMS (A) ピーク電流、RMS (A) 公称電流、RMS (A) ピークフォース (N) 公称力 (N) 力定数、RMS (N/A) 抵抗相間 (Ω) インダクタンス相間 (mH) 逆起電力位相-位相 (V・s/m) ケーブル配線 統合センサー センサー信号 センサー解像度 (nm) 双方向再現性 (µm) 位置決め精度、未校正 (µm)
A-121 PIglide エアベアリング付きリニアステージ-品番-A-121.050

A-121.050

要見積もり x 50 20 0.5 0.1 0.5 20 100 40 5 8.3 1.2 3.5 エアベアリング アイアンレス3相リニアモーター 48、公称最大80 3.5 1.2 33.2 11.1 9.4 6.3 1 7.7 外部移動ケーブル A-121.xxxA:インクリメンタルリニアエンコーダ
A-121.xxxB:アブソリュートリニアエンコーダ
A-121.xxxA:Sin/cos、1Vピークピーク、20μmの信号周期
A-121.xxxB:バイSS-C
A-121.xxxA:4.88
A-121.xxxB:1
A-121.xxxA:±0.25
A-121.xxxB:±0.25
A-121.xxxA:±1.5
A-121.xxxB:±1.5
A-121 PIglide エアベアリング付きリニアステージ-品番-A-121.100

A-121.100

要見積もり x 100 20 0.5 0.1 1 20 100 40 5 8.3 1.2 4.2 エアベアリング アイアンレス3相リニアモーター 48、公称最大80 3.5 1.2 33.2 11.1 9.4 6.3 1 7.7 外部移動ケーブル A-121.xxxA:インクリメンタルリニアエンコーダ
A-121.xxxB:アブソリュートリニアエンコーダ
A-121.xxxA:Sin/cos、1Vピークピーク、20μmの信号周期
A-121.xxxB:バイSS-C
A-121.xxxA:4.88
A-121.xxxB:1
A-121.xxxA:±0.25
A-121.xxxB:±0.25
A-121.xxxA:±1.5
A-121.xxxB:±1.5
A-121 PIglide エアベアリング付きリニアステージ-品番-A-121.150

A-121.150

要見積もり x 150 20 1 0.1 1 20 100 40 5 8.3 1.2 4.5 エアベアリング アイアンレス3相リニアモーター 48、公称最大80 3.5 1.2 33.2 11.1 9.4 6.3 1 7.7 外部移動ケーブル A-121.xxxA:インクリメンタルリニアエンコーダ
A-121.xxxB:アブソリュートリニアエンコーダ
A-121.xxxA:Sin/cos、1Vピークピーク、20μmの信号周期
A-121.xxxB:バイSS-C
A-121.xxxA:4.88
A-121.xxxB:1
A-121.xxxA:±0.25
A-121.xxxB:±0.25
A-121.xxxA:±1.5
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A-121 PIglide エアベアリング付きリニアステージ-品番-A-121.200

A-121.200

要見積もり x 200 20 1.5 0.1 1 20 100 40 5 8.3 1.2 5.2 エアベアリング アイアンレス3相リニアモーター 48、公称最大80 3.5 1.2 33.2 11.1 9.4 6.3 1 7.7 外部移動ケーブル A-121.xxxA:インクリメンタルリニアエンコーダ
A-121.xxxB:アブソリュートリニアエンコーダ
A-121.xxxA:Sin/cos、1Vピークピーク、20μmの信号周期
A-121.xxxB:バイSS-C
A-121.xxxA:4.88
A-121.xxxB:1
A-121.xxxA:±0.25
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A-121 PIglide エアベアリング付きリニアステージ-品番-A-121.250

A-121.250

要見積もり x 250 25 2 0.1 1 20 100 40 5 8.3 1.2 5.7 エアベアリング アイアンレス3相リニアモーター 48、公称最大80 3.5 1.2 33.2 11.1 9.4 6.3 1 7.7 外部移動ケーブル A-121.xxxA:インクリメンタルリニアエンコーダ
A-121.xxxB:アブソリュートリニアエンコーダ
A-121.xxxA:Sin/cos、1Vピークピーク、20μmの信号周期
A-121.xxxB:バイSS-C
A-121.xxxA:4.88
A-121.xxxB:1
A-121.xxxA:±0.25
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A-121.xxxA:±2.0
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A-121 PIglide エアベアリング付きリニアステージ-品番-A-121.350

A-121.350

要見積もり x 350 35 2.5 0.1 1 20 100 40 5 8.3 1.2 6.8 エアベアリング アイアンレス3相リニアモーター 48、公称最大80 3.5 1.2 33.2 11.1 9.4 6.3 1 7.7 外部移動ケーブル A-121.xxxA:インクリメンタルリニアエンコーダ
A-121.xxxB:アブソリュートリニアエンコーダ
A-121.xxxA:Sin/cos、1Vピークピーク、20μmの信号周期
A-121.xxxB:バイSS-C
A-121.xxxA:4.88
A-121.xxxB:1
A-121.xxxA:±0.25
A-121.xxxB:±0.25
A-121.xxxA:±3.0
A-121.xxxB:±1.5

のついている項目名や値は、Metoreeの自然言語処理アルゴリズムを用いて自動生成された値です。各メーカーの製品を横断して比較しやすくするための参考としてご利用ください。自動生成データは黒色の文字、元データは灰色の文字です。

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会社概要

ピーアイ・ジャパン株式会社は、Physik Instrumente GmbH社(ドイツ)の日本法人として、ピエゾやモーターを用いた超精密位置決め製品の販売・提案・修理・サービスを行っております。
1991年にドイ...

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