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メーカー 17社 製品 16点
株式会社イー・スクエア
東レエンジニアリング株式会社
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ハイソル株式会社
リソテックジャパン株式会社
ミカサ株式会社
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レジスト塗布装置
メーカー17社 【2024年】

レジスト塗布装置についての概要、用途、原理などをご説明します。また、レジスト塗布装置のメーカー17社一覧や企業ランキングも掲載しておりますので是非ご覧ください。レジスト塗布装置関連企業の2024年11月注目ランキングは1位:ハイソル株式会社、2位:株式会社SAT、3位:株式会社イー・スクエアとなっています。

目次

レジスト塗布装置の関連キーワード

半導体製造装置

レジスト塗布装置とは

レジスト塗布装置とは、基板など目的の物体の表面にレジスト材を塗布するための装置です。

レジスト材とは、光に対する感受性を持つ樹脂からなる電子材料のことを指します。

レジスト塗布装置は、塗布の方式によってスピンコータとスプレーコータに分けられます。一般的にレジスト塗布に用いられるのは前者のスピンコータです。スピンコータは1から数十ミクロン程度の厚さまでの成膜が可能で、平坦なものへの塗布に適した装置です。表面の起伏が多い立体的なものへの塗布には、スプレーコータが用いられます。 

レジスト塗布装置の使用用途

レジスト塗布装置で塗布するレジスト材は、半導体の加工に用いられる材料です。そのため、レジスト塗布装置は半導体の製造過程に組み込まれる場合が多いです。

レジスト材は、レーザー加工などにおけるフォトマスクの役割で用いられます。作業者の手によるマニュアル操作でレジスト材を塗布することもできますが、膜圧などを均一にそろえて成膜することは難しいでしょう。塗布できていない部分が生じたり、厚みが不足またはしたりするとその後の加工がうまく行えず、品質がばらついてしまいます。

レジスト塗布装置によって均一にレジスト材を塗布することは、品質管理の観点では非常に重要です。

レジスト塗布装置の原理

レジスト塗布装置は前述の通り、スピンコータとスプレーコータが主流です。スピンコータとスプレーコータでは、塗布の方式が異なります。

1. スピンコータ

スピンコータは、遠心力を利用して塗布を行う装置です。塗布したい物体にレジスト材を滴下した後、その物体を高速で回転させます。この回転により遠心力が発生することで、レジスト材を隅々まで行き渡らせることができるのです。

スピンコータによる塗布を行う際は、表面の起伏の部分でレジスト材の広がりが止まってしまうことがあるので、起伏が激しいものの場合は塗布が困難です。こうした場合には、スプレーコータを用いることがあります。

2. スプレーコータ

スプレーコータは、スプレー噴霧による塗布方式が採用された装置です。レジスト材をスプレーで吹き付けて塗布を行います。装置によって均一な塗布を行う仕組みはさまざまで、スプレーノズルを動かして各部の塗布を行ったり、スプレーノズルは固定したまま塗布対象の物体を回転させたりする装置があります。 

参考文献
https://www.ushio.co.jp/jp/technology/lightedge/200708/100334.html
http://www.ltj.co.jp/tech_spin.php
https://www.keyence.co.jp/ss/products/measure/sealing/coater-type/spin.jsp 

レジスト塗布装置のカタログ6件をまとめてダウンロードできます！

株式会社イー・スクエアのレジスト塗布装置のカタログ
株式会社イー・スクエアのレジスト塗布装置のカタログ
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株式会社イー・スクエアのレジスト塗布装置のカタログ
株式会社イー・スクエアのレジスト塗布装置のカタログ
ティックコーポレーション株式会社のレジスト塗布装置のカタログ


レジスト塗布装置のカタログ6件をまとめてダウンロードできます！

大気圧プラズマ装置でのダイレクト接着　接合　５G 　６G　フッ素樹脂　LCPのカタログ
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レジスト塗布装置メーカー 17社

*一部商社などの取扱い企業なども含みます。

塗布性能向上に・下地との見密着性向上に寄与 注目製品
株式会社イー・スクエア
株式会社イー・スクエアのレジスト塗布装置
■
①幅広均一処理ワーク幅：200mm~3000mm）
②下地との密着性向上によるアンダーカットの抑　
　制効果
③完全ダメージレス処理
③ESD フリー
④ファインパターニングに寄与。
⑤PTFE,PFAなどのF系樹脂の超親水化を実現


レジスト塗布装置 2024年11月のメーカーランキング

*一部商社などの取扱い企業なども含みます

注目ランキング導出方法について

注目ランキングは、2024年11月のレジスト塗布装置ページ内でのクリックシェアを基に算出しています。クリックシェアは、対象期間内の全企業の総クリック数を各企業のクリック数で割った値を指します。

社員数の規模

  1. 東レエンジニアリング: 2,417人
  2. アイデン: 280人
  3. 三基エンジニアリング: 30人

設立年の新しい会社

  1. SAT: 2007年
  2. ジャステム: 2005年
  3. ファイコーポレーション: 2001年

歴史のある会社

  1. ミカサ: 1921年
  2. 東レエンジニアリング: 1960年
  3. オーエヌ総合電機: 1962年

16 点の製品がみつかりました

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レジン・ペーストコーター WL-株式会社エンジニアリング・ラボ

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レジスト塗布装置注目ランキング

製品の閲覧数をもとに算出したランキング

1 大気圧プラズマ装置 ダウンストリーム型（Preciseシリーズ）-株式会社イー・スクエア

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5 精密スピンコーター ACE-200-ハイソル株式会社

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レジスト塗布装置のカタログ 6件


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株式会社イー・スクエアのレジスト塗布装置のカタログ
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レジスト塗布装置の価格・相場

平均価格

442,000 円

最低価格

442,000 円

最高価格

442,000 円

Metoreeに登録されているレジスト塗布装置16製品の2024年12月21日時点での価格データを元に算出しています。

レジスト塗布装置の関連キーワード

レジスト CPU イオン注入装置 電子ビーム描画装置 アッシング装置 ステッパ 半導体材料 CMP装置 ボンディングワイヤ クヌーセンセル SiCウェハ シリコンウェハ ベルヌーイチャック CVD装置 半導体パッケージ 半導体製造装置
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