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レジスト塗布装置のメーカー16社一覧や企業ランキングを掲載中!レジスト塗布装置関連企業の2025年3月注目ランキングは1位:東レエンジニアリング株式会社、2位:株式会社イー・スクエア、3位:株式会社エムテーシーとなっています。 レジスト塗布装置の概要、用途、原理もチェック!
レジスト塗布装置とは、基板など目的の物体の表面にレジスト材を塗布するための装置です。
レジスト材とは、光に対する感受性を持つ樹脂からなる電子材料のことを指します。
レジスト塗布装置は、塗布の方式によってスピンコータとスプレーコータに分けられます。一般的にレジスト塗布に用いられるのは前者のスピンコータです。スピンコータは1から数十ミクロン程度の厚さまでの成膜が可能で、平坦なものへの塗布に適した装置です。表面の起伏が多い立体的なものへの塗布には、スプレーコータが用いられます。
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*一部商社などの取扱い企業なども含みます。
順位 | 会社名 | クリックシェア |
---|---|---|
1 | 東レエンジニアリング株式会社 |
12.5%
|
2 | 株式会社イー・スクエア |
10.7%
|
3 | 株式会社エムテーシー |
10.7%
|
4 | 株式会社ファイコーポレーション |
10.7%
|
5 | 三基エンジニアリング株式会社 |
8.9%
|
6 | 株式会社イーエッチシー |
7.1%
|
7 | 株式会社ジャステム |
5.4%
|
8 | ミカサ株式会社 |
5.4%
|
9 | 株式会社SDI |
5.4%
|
10 | オーエヌ総合電機株式会社 |
5.4%
|
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