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完全ダメージレス大気圧プラズマ装置 ダウンストリーム型（Preciseシリーズ）-Preciseダウンストリーム型
完全ダメージレス大気圧プラズマ装置 ダウンストリーム型（Preciseシリーズ）-株式会社イー・スクエア

完全ダメージレス大気圧プラズマ装置 ダウンストリーム型（Preciseシリーズ）
株式会社イー・スクエア

💻 電子・電気機器業界用 🚗 自動車・輸送用機器業界用 ⚡ エネルギー業界用

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この製品について

製品は累計販売数1400台以上のPreciseシリーズです。完全に処理ダメージを排除し、幅広表面への均一な処理が可能です。 装置価格は装置のプラズマ幅 (200mmから2950mm幅まで) で変わりますので、お問い合わせ頂きます様お願いします。

■特徴

1.幅広ワーク表面への機能性付与を均一且つダメージフリー処理。 2.目的とする接触角を搬送速度に依存せず、装置独自でコントロールできる。 3.活性種 (ラジカル) はその吐出圧によりワーク細部まで浸透し、繊維束や、ポーラス表面への内部処理ができる。 4.添加ガス種を変えることにより、親水化、撥水・還元処理、ダイレクト接着、表面粗化、エッチング等多様なプロセス 　アプリケーションに対応 5.100mmから2950mmの平面への均一な処理が可能。 6.プラズマ発生時の紫外光による、ワークへのダメージが無い。 7.処理中、処理後の静電気発生がない。 8.特殊電極構造により、電気的な電子デバイス特性変化等皆無。 9.パーティクルフリー（2.83SLM時） 10.ペロブスカイト太陽電池、マイクロLED、ウエハー、レンズアレイ等

■他社に無い弊社独自の特徴

1.プラズマ生成時の紫外光を抑えた (従来強度比1/80) ことによる、処理表面の光学的ダメージを回避。 2.印加高周波電力、誘電体の最適化により、プラズマ電極内部からの発塵 (0.3μ以上) をほぼゼロを確立しクリーンなプロセ　　　　 　スに対応。放電電極に使用される誘電体 （電極）の交換や、研磨することなくほぼ半永久的に使用でき、大きくランニング　 　コストに貢献。 3.特殊電極構造により高密度ラジカル発生が可能になり、プラズマ発生に使用する窒素ガスの消費量を削減 に成功し、ランニ 　ングコスト低減に貢献。

  • シリーズ

    完全ダメージレス大気圧プラズマ装置 ダウンストリーム型（Preciseシリーズ）

  • 利用シーン

    電子・電気機器業界用 / 自動車・輸送用機器業界用 / エネルギー業界用

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完全ダメージレス大気圧プラズマ装置 ダウンストリーム型（Preciseシリーズ） 品番1件

商品画像 品番 価格 (税抜) 処理可能プラズマ処理幅 (長さ)
完全ダメージレス大気圧プラズマ装置 ダウンストリーム型（Preciseシリーズ）-品番-Preciseダウンストリーム型

Preciseダウンストリーム型

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200mm~2950mm

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株式会社イー・スクエア

会社概要

1999年8月設立、IC製造前工程に使用されるドライエッチングガス（PFC`s)用プラズマ式排気ガス処理装置開発製造販売。
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