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プラズマクリーナのメーカー18社一覧や企業ランキングを掲載中!プラズマクリーナ関連企業の2025年4月注目ランキングは1位:株式会社日立ハイテクソリューションズ、2位:AETP Japan 合同会社、3位:株式会社昭和真空となっています。 プラズマクリーナの概要、用途、原理もチェック!
プラズマクリーナは、クリーニングが必要な対象物表面にプラズマを吹き付けます。この時、対象物表面に存在する除去を行いたい物質とプラズマが化学反応を起こし、別の物質へ変化去せることでクリーニングを行います。
プラズマクリーナーは多くの産業で活用されていますが、特に半導体関連ではウエハーのレジスト除去やレジスト残渣除去などに使われ、なくてはならない装置となっています。また、ICの組み立てでは、ワイヤーボンディングのクリーニングや強度向上のために使用されています。
2025年4月の注目ランキングベスト10
順位 | 会社名 | クリックシェア |
---|---|---|
1 | 株式会社日立ハイテクソリューションズ |
17.6%
|
2 | AETP Japan 合同会社 |
11.8%
|
3 | 株式会社昭和真空 |
8.8%
|
4 | パナソニック株式会社 |
7.4%
|
5 | ムサシノ電子株式会社 |
7.4%
|
6 | サムコ株式会社 |
7.4%
|
7 | ヤマト科学株式会社 |
5.9%
|
8 | ノードソン・アドバンスト・テクノロジー株式会社 |
5.9%
|
9 | 株式会社新興精機 |
4.4%
|
10 | 株式会社エス・ティ・ジャパン |
4.4%
|
パナソニックインダストリー株式会社
70人以上が見ています
最新の閲覧: 11時間前
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11.8時間 返答時間
■PSX307は自動搬送付きの基板用平行平板型プラズマクリーナーです。ローダー・アンローダー付きとインライン仕様を選択でき、基板寸法に...
ムサシノ電子株式会社
320人以上が見ています
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4.5時間 返答時間
有機物による汚染物質 (コンタミ) を除去するのに最適なプラズマクリーナーです。低エネルギーの反応性プラズマの働きにより、試料の...
ハイソル株式会社
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G1000は、ガスプラズマのエッチング効果を利用して低圧環境下で洗浄対象物の表面をクリーニングするシステムです。ご用途に合わせて使用...
パナソニックインダストリー株式会社
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PSX307Aは自動搬送付きの基板用平行平板型プラズマクリーナーです。ローダー・アンローダー付きとインライン仕様を選択でき、ウエハ仕様...
株式会社エスクラフト
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本製品は、平行平板型のプラズマ処理装置です。コントロール・パネル上の操作のみでDP (ダイレクトプラズマ) モードとRIE (リアクティブ...
株式会社新興精機
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30.4時間 返答時間
・最大10レシピを保存できます。 ・すべての制御がデジタルで、高い再現性が保たれます。 ・特許取得のガスフローデザインで均一な処理...
パナソニックインダストリー株式会社
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APX300は、6インチ以下のウエハーに対して多数枚同時処理が可能な全自動のバッチ処理ドライエッチング装置で、ø4“×7、ø6”×3枚のウエハの...
株式会社新興精機
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30.4時間 返答時間
・電極反転機能を標準装備。 ・RIEモードでナノエッチングが可能。 ・タッチパネルPCを刷新。より使用しやすくなりました。 ・特許取得...
株式会社新興精機
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30.4時間 返答時間
・電極反転機能を標準装備。 ・RIEモードでナノエッチングが可能。 ・タッチパネルPCを刷新。より使用しやすくなりました。 ・特許取得...
株式会社FUJI
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接着前処理・油分洗浄に利用できる大気圧プラズマ装置 Tough Plasmaは世界最高水準の高密度ラジカルを生成することができ、大気圧プラ...
ウエッジ株式会社
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全ての基材表面の親水性を高め、接着性・コーティング特性・印刷性を向上させます。 ■概要 ウエッジのプラズマ照射表面改質装置 プラズ...
2種類の品番
株式会社新興精機
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30.4時間 返答時間
・電極反転機能を標準装備。 ・RIEモードでナノエッチングが可能。 ・タッチパネルPCを刷新。より使用しやすくなりました。 ・特許取得...
ストレックス株式会社
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プラズマ放電にさらすことで、表面改質・表面汚染物質の除去が可能です。 金属・セラミック・プラスチック・PDMS など多くの材質処理に...
新明和工業株式会社
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■プラズマイオン処理装置とは プラズマイオン処理はプラズマにより生成されたイオンを用いて表面改質を行う技術です。応用事例としては...
株式会社新興精機
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LF真空プラズマ装置は、材料研究分野において基板上の有機物除去や表面修飾などの用途に最適なプラズマクリーナーです。LFプラズマからR...
神港精機株式会社
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平行平板型RIE方式のプラズマを利用した、基板表面のクリーニング・還元・酸化等の処理を可能としたプラズマ表面処理装置です。 処理モ...
株式会社新興精機
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30.4時間 返答時間
LF真空プラズマ装置は、材料研究分野において基板上の有機物除去や表面修飾などの用途に最適なプラズマクリーナーです。LFプラズマからR...
ザ・ブルーボアハウス株式会社
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3.8時間 返答時間
■特長 Enerconの表面処理システムは表面エネルギーを上昇させることで、印刷、コ-ティング、ラミネートなどの加工における接着力を向上...
ジャパンクリエイト株式会社
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185.3時間 返答時間
■特徴 ・全自動でCNT合成が可能 ・基板プラズマクリーニングシステム搭載 ・優れた基板温度分布およびガスフロー方式を実現 ・優れた膜...
AETP Japan 合同会社
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26.4時間 返答時間
AP-4500/4500Rはタッチパネル仕様で、装置の運転状況を常時モニタリングできる優れた機能を備えています。 ■シングルタイプ AP-4500/45...
日本プラズマトリート株式会社
20人以上が見ています
RD1004プラズマ回転ノズルを使用して低温プラズマを生成します。 このノズルは、熱による影響を受けやすい、複雑な形状の表面・素材の処...
株式会社新興精機
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LF真空プラズマ装置は、材料研究分野において基板上の有機物除去や表面修飾などの用途に最適なプラズマクリーナーです。LFプラズマからR...
株式会社メディア研究所
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■概要 携帯電話、イヤホーン、防水スピーカー、PCB等様々な用途で長期間持続可能な薄膜をコーティング可能 ■プラズマによる革新的なナ...
株式会社電子技研
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■概要 低価格バッチ処理プラズマ処理装置です。等方性プラズマのため処理サンプルを全方向から処理可能です。50枚までの半導体ウエハ上...
株式会社イー・スクエア
30人以上が見ています
■概要 プラズマ発生電極部内 (高電圧下) にワークが入るため、ワーク表面間でアークやストリーマやイオンアタックの発生頻度が高い。物...
株式会社魁半導体
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61.2時間 返答時間
ステンレスワイヤー製のブラシで湾曲した表面でも柔軟にプラズマ処理が可能です。 ■製品の特徴 ・電極が処理面に追従することでこれま...
株式会社エスクラフト
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■基盤対応クリーニング装置 本製品は、お客様の仕様に合わせてカスタマイズした製品の一例です。お客様の使用目的に合わせてカスタマイ...
ウエッジ株式会社
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プラズマウエッジは、高電圧プラズマ放電と空気 (エアー) 用いて大気中にプラズマ放電を発生させます。そのプラズマ放電を基材表面に照...
2種類の品番
AETP Japan 合同会社
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AP-4500/4500Rはタッチパネル仕様で、装置の運転状況を常時モニタリングできる優れた機能を備えています。 ■マルチタイプ AP-4500 Mult...
株式会社電子技研
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■概要 粉体材料の均一全方向処理に特化したプラズマ表面改質装置です。プラズマ中で粉体を撹拌する機構が搭載された装置です。粉体表面...
検索結果 34件 (1ページ/2ページ)
プラズマクリーナは、クリーニングが必要な対象物表面にプラズマを吹き付けます。この時、対象物表面に存在する除去を行いたい物質とプラズマが化学反応を起こし、別の物質へ変化去せることでクリーニングを行います。
プラズマクリーナーは多くの産業で活用されていますが、特に半導体関連ではウエハーのレジスト除去やレジスト残渣除去などに使われ、なくてはならない装置となっています。また、ICの組み立てでは、ワイヤーボンディングのクリーニングや強度向上のために使用されています。
既に述べたように、半導体関連ではウエハーなどの有機物(レジスト)の除去などが主な使用法ですが、以下のように多くの産業で使用されています。
プラズマクリーナーは、プラズマを対象物に吹き付けることでクリーニングを行います。そのプラズマは何かというと、物質にエネルギーを与え続けて、最終的に分子が陽イオンと電子に分離した状態を指し、この状態になった物質をクリーニング対象物に吹き付けクリーニングを行います。
プラズマ化させる物質はクリーニングで除去したい物質により異なり、このため多くの種類が存在しますが、酸素やアルゴン、フロンなどがよく使用されます。
例えば、クリーニング対象物表面に付着した有機物を除去したい場合は、酸素をプラズマ化させて吹き付けます。プラズマは活性度が非常に高いため、物質表面の有機物は水と二酸化炭素に変化してクリーニング対象物からクリーニングされることになります。
また、銅表面の亜酸化銅を除去したい場合には、プラズマ化したアルゴンを吹き付けることにより、亜酸化銅をアルゴンと過酸化銅に反応させることで、クリーニングを行うことが可能です。