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プラズマクリーナについての概要、用途、原理などをご説明します。また、プラズマクリーナのメーカー18社一覧や企業ランキングも掲載しております。プラズマクリーナ関連企業の2025年3月注目ランキングは1位:株式会社昭和真空、2位:株式会社真空デバイス、3位:株式会社サクラクレパスとなっています。
プラズマクリーナは、クリーニングが必要な対象物表面にプラズマを吹き付けます。この時、対象物表面に存在する除去を行いたい物質とプラズマが化学反応を起こし、別の物質へ変化去せることでクリーニングを行います。
プラズマクリーナーは多くの産業で活用されていますが、特に半導体関連ではウエハーのレジスト除去やレジスト残渣除去などに使われ、なくてはならない装置となっています。また、ICの組み立てでは、ワイヤーボンディングのクリーニングや強度向上のために使用されています。
既に述べたように、半導体関連ではウエハーなどの有機物(レジスト)の除去などが主な使用法ですが、以下のように多くの産業で使用されています。
プラズマクリーナーは、プラズマを対象物に吹き付けることでクリーニングを行います。そのプラズマは何かというと、物質にエネルギーを与え続けて、最終的に分子が陽イオンと電子に分離した状態を指し、この状態になった物質をクリーニング対象物に吹き付けクリーニングを行います。
プラズマ化させる物質はクリーニングで除去したい物質により異なり、このため多くの種類が存在しますが、酸素やアルゴン、フロンなどがよく使用されます。
例えば、クリーニング対象物表面に付着した有機物を除去したい場合は、酸素をプラズマ化させて吹き付けます。プラズマは活性度が非常に高いため、物質表面の有機物は水と二酸化炭素に変化してクリーニング対象物からクリーニングされることになります。
また、銅表面の亜酸化銅を除去したい場合には、プラズマ化したアルゴンを吹き付けることにより、亜酸化銅をアルゴンと過酸化銅に反応させることで、クリーニングを行うことが可能です。
*一部商社などの取扱い企業なども含みます。
| 順位 | 会社名 | クリックシェア |
|---|---|---|
| 1 | 株式会社昭和真空 |
15.0%
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| 2 | 株式会社真空デバイス |
10.0%
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| 3 | 株式会社サクラクレパス |
10.0%
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| 4 | AETP Japan 合同会社 |
7.5%
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| 5 | 株式会社エスクラフト |
6.3%
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| 6 | テクノアルファ株式会社 |
6.3%
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| 7 | 三弘エマテック株式会社 |
6.3%
|
| 8 | パナソニック株式会社 |
5.0%
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| 9 | 株式会社マツボー |
5.0%
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| 10 | サムコ株式会社 |
5.0%
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