基板プラズマクリーニングシステム搭載 カーボンナノチューブ合成装置-カーボンナノチューブ合成装置
基板プラズマクリーニングシステム搭載 カーボンナノチューブ合成装置-ジャパンクリエイト株式会社

基板プラズマクリーニングシステム搭載 カーボンナノチューブ合成装置 ジャパンクリエイト株式会社


この製品について

■特徴

・全自動でCNT合成が可能 ・基板プラズマクリーニングシステム搭載 ・優れた基板温度分布およびガスフロー方式を実現 ・優れた膜厚分布および再現性を実現 ・豊富な蓄積データ

■用途

・エネルギー関連 ・マテリアル関連 ・バイオ関連 ・ナノテクノロジー関連 ・エレクトロニクス関連

  • シリーズ

    基板プラズマクリーニングシステム搭載 カーボンナノチューブ合成装置



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基板プラズマクリーニングシステム搭載 カーボンナノチューブ合成装置 品番1件

商品画像 品番 価格 (税抜) 基板サイズ CNT合成ガス 基板加熱温度 真空排気 圧力制御 制御操作 データロギング オプション
基板プラズマクリーニングシステム搭載 カーボンナノチューブ合成装置-品番-カーボンナノチューブ合成装置

カーボンナノチューブ合成装置

要見積もり 最大φ12インチ CH系、H2 最高800℃ (基板表面) RP APC制御 制御:PLC
操作:タッチパネルまたはPC
外部メモリまたはPC 基板自動搬送システム、ガス検知器、シリンダーキャビネット など

のついている項目名や値は、Metoreeの自然言語処理アルゴリズムを用いて自動生成された値です。各メーカーの製品を横断して比較しやすくするための参考としてご利用ください。自動生成データは黒色の文字、元データは灰色の文字です。

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この商品の取り扱い会社情報

会社概要

ジャパンクリエイト株式会社は、ウエハ自動洗浄装置、エッチング装置、スピン洗浄装置、プラズマCVD装置、スパッタリング装置、蒸着装置の開発及び製造を主な事業内容とする企業です。
1963年に洗浄装置の開発及び製造を...

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  • 本社所在地: 埼玉県
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