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自動ステージのメーカー18社一覧や企業ランキングを掲載中！自動ステージ関連企業の2025年7月注目ランキングは1位:神津精機株式会社、2位:駿河精機株式会社、3位:シグマ光機株式会社となっています。 自動ステージの概要、用途、原理もチェック！
自動ステージとは、制御された自動送り装置によって任意の位置に位置決めができるステージのことです。
自動ステージは製品により、縦横斜めなどの多方向への調整可動が行えます。使用する際は、可動方向や調整幅 (精度) 、または手動での調整が必要かを考えます。Z軸の追加により三次元的な可動も可能となるため、自動ステージの用途は幅広いです。
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2025年7月の注目ランキングベスト10
| 順位 | 会社名 | クリックシェア |
|---|---|---|
| 1 | 神津精機株式会社 |
23.8%
|
| 2 | 駿河精機株式会社 |
11.1%
|
| 3 | シグマ光機株式会社 |
9.5%
|
| 4 | 中央精機株式会社 |
7.9%
|
| 5 | オリムベクスタ株式会社 |
7.9%
|
| 6 | ニッカ電測株式会社 |
6.3%
|
| 7 | 株式会社MSAファクトリー |
6.3%
|
| 8 | フォトニックインストゥルメンツ株式会社 |
4.8%
|
| 9 | 株式会社KUGE |
4.8%
|
| 10 | コムス株式会社 |
3.2%
|
項目別
使用用途
#検査測定
#位置決め
#微細加工
#半導体製造
#光学調整
#レーザー加工
#顕微観察
#バイオ操作
移動方式
電動
手動
空気浮上
駆動方式
ステッピングモータ式
サーボモータ式
ピエゾ駆動式
リニアモータ式
移動軸構成
単軸
二軸
三軸
回転
傾斜
特殊機能
真空対応型
クリーンルーム対応型
高耐荷重型
高分解能型
移動範囲 mm
0 - 50
50 - 100
100 - 150
150 - 200
200 - 300
300 - 400
400 - 500
500 - 600
耐荷重 N
10 - 100
100 - 300
300 - 400
位置決め精度 μm
0 - 1
1 - 2
2 - 4
4 - 50
繰り返し精度 μm
0 - 1
1 - 10
10 - 11
ストローク mm
-50 - 0
0 - 100
100 - 200
200 - 300
300 - 500
500 - 800
ステージ高さ mm
0 - 50
駆動方式
ボーデンケーブル
ラックアンドピニオン
リニアモーター
親ねじ
DCモータ
ステッピングモーター
ボールねじ
サーボ制御
動作温度 ℃
-10 - 0
0 - 10
10 - 30
30 - 40
133 点の製品がみつかりました
133 点の製品
オリムベクスタ株式会社
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＜特徴＞ 高精度 ・位置決め後の安定性が高い ・バックラッシが少ない ・回転ステージの偏芯量が少ない ・サブミクロンの位置決めが可能...
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■製品特徴 ・スキャンアプリケーションや高精度位置決めに最適 ・クリーンルーム対応 ・モーションプラットフォームのサイズ160mm×200mm...
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ピーアイ・ジャパン株式会社
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製品概要 ■精密級リニアステージ スムーズな走行を保証する接地精度の親ねじがあります。再循環ボールベアリングと応力緩和アルミニウム...
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ピーアイ・ジャパン株式会社
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ハイダイナミック顕微鏡用高速 XY (Z) ステージ ■特徴 ・サブナノメートル分解能で5ms未満の高速応答:トラッキングに最適 ・E-727USBコ...
株式会社日本レーザー
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■特徴 ・可動距離 200～1000mm ・最高速度 2m/s ・高い負荷容量： 最大2000N (水平位置) ・レーザー微細加工に最適：最小250nmの精度を...
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■特徴 ・可動距離 200～1000mm ・最高速度 2m/s ・高い負荷容量： 最大2000N (水平位置) ・レーザー微細加工に最適：最小250nmの精度を...
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■特徴 ・可動距離 200～1000mm ・最高速度 2m/s ・高い負荷容量： 最大2000N (水平位置) ・レーザー微細加工に最適：最小250nmの精度を...
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■特徴 ・最小移動量が1nmの超高性能ステージ ・ダイナミクスと信頼性の高い超精密モーションを保証する非接触直接駆動システム ・精密ガ...
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■特徴 ・最小移動量が1nmの超高性能ステージ ・ダイナミクスと信頼性の高い超精密モーションを保証する非接触直接駆動システム ・精密ガ...
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■特徴 ・剛性の大きいボディデザインにより、移動距離が最大600mm × 600mmの曲がりのないXYアッセンブリが可能 ・非接触直接駆動システ...
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□24の5相ステッピングモータを採用した、小型・軽量・高精度をコンセプトに開発された60mm角テーブルの自動位置決めステージです。
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アウタレール構造を採用したことにより高精度・高剛性な自動位置決めステージです。 オーバーハング負荷・モーメント荷重負荷に対する剛...
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アウタレール構造を採用したことにより高精度・高剛性な自動位置決めステージです。 オーバーハング負荷・モーメント荷重負荷に対する剛...
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アウタレール構造を採用したことにより高精度・高剛性な自動位置決めステージです。 オーバーハング負荷・モーメント荷重負荷に対する剛...
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ガイド部とボールネジ部を一体構造にしたことによるコストダウンと高精度・高剛性を実現した自動位置決めステージです。□24mmの5相ステ...
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従来のLMガイドと違いアウタレール構造を採用したことにより高精度・高剛性なため取付姿勢に対する制限が受けにくい自動位置決めステー...
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ガイド部とボールネジ部を一体構造にしたことによるコストダウンと高精度・高剛性を実現した自動位置決めステージです。□24mmの5相ステ...
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アウタレール構造を採用したことにより高精度・高剛性なため取付姿勢に対する制限が受けにくい自動位置決めステージです。
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アウタレール構造を採用したことにより高精度・高剛性なため取付姿勢に対する制限が受けにくい自動位置決めステージです。
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□24の5相ステッピングモータを採用した、小型・軽量・高精度をコンセプトに開発された40mm角テーブルの自動位置決めステージです。
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□24の5相ステッピングモータを採用した、小型・軽量・高精度をコンセプトに開発された60mm角テーブルの自動位置決めステージです。
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TSA160-θはφ102mmの透過穴と厚さ44mmの薄型をコンセプトに設計された自動大型回転ステージです。
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■特徴 ・テーブル20×23mm、指サイズの超小型精密自動ステージ ・小型でありながら精密送りネジと剛性・平面精度の高い精密クロスローラ...
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ガイド部とボールネジ部を一体構造にしたことによるコストダウンと高精度・高剛性を実現した自動位置決めステージです。□24mmの5相ステ...
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従来のLMガイドと違いアウタレール構造を採用したことにより高精度・高剛性なため取付姿勢に対する制限が受けにくい自動位置決めステー...
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ガイド部とボールネジ部を一体構造にしたことによるコストダウンと高精度・高剛性を実現した自動位置決めステージです。□24mmの5相ステ...
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アウタレール構造を採用したことにより高精度・高剛性なため取付姿勢に対する制限が受けにくい自動位置決めステージです。
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アウタレール構造を採用したことにより高精度・高剛性なため取付姿勢に対する制限が受けにくい自動位置決めステージです。
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5相ステッピングモータを採用した、小型・軽量・高精度をコンセプトに開発された60mm角テーブル、移動量4mmの自動水平面型Z軸ステージと...
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SOLANOは、最小0.08µmの分解能で精密な位置決めと校正用に設計された超コンパクトなヘキサポッドです。SOLANOヘキサポッドは、サイズ、...
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PUNAは、研究や産業における高精度位置決めアプリケーションを最適な予算で満たすシンプルなヘキサポッドです。耐荷重25kgに対して、XYZ...
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■小型高精度ヘキサポッドステージSOLANO SOLANOは、最小0.08µmの分解能で精密な位置決めと校正用に設計された超コンパクトなヘキサポッ...
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■小型高精度ヘキサポッドステージBORA BORAヘキサポッドは、0.1µmの分解能で精密要素の位置決めと調整を行うためのコンパクトな 6DOF平...
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■超高真空対応小径高精度ヘキサポッドステージMAUKA MAUKAは、最大5kgの耐荷重をサブマイクロメートルの分解能で位置決めするように設計...
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■シンプル高精度ヘキサポッドステージPUNA PUNAは、研究や産業における高精度位置決めアプリケーションを最適な予算で満たすシンプルな...
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■高耐荷重高精度ヘキサポッドステージZONDA ZONDAは、高精度、安定性、精度、重荷重、大きな移動距離の両方を必要とする用途に応える新...
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■高精度長ストロークヘキサポッドステージSIRIUS SIRIUSは高精度位置決めヘキサポッドです。500kgの物体を高分解能で調整できます。 航...
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■高安定高精度ヘキサポッドステージKUBAN Kubanは、高精度かつ1.5µradの分解能で空間内に要素を配置するように設計された、非常に安定し...
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■500kg耐荷重のヘキサポッドステージSURES SURESは、非常に高精度で剛性の高い位置決めシステムです。 最大500kgの搭載物を高分解能 で...
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■1,500kg耐荷重高安定高精度長ストロークヘキサポッドステージJORAN JORANヘキサポッドは、1,500kg耐荷重で0.5µradの角度分解能で要素を...
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■概要 ・精密クロスローラーと精密ボールネジを使いマイクロステップにも対応 ・ステンレス構造にし、高剛性で熱膨張を少なくしたステー...
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■概要 顕微鏡ステージを低価格でご提供します。 ■特徴 ・PC制御用のサンプルソフトがご利用可能です。 ・ジョイスティック (オプション...
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■概要 導波路端面やファイバ端面、デバイス等を観察するためのユニットです。 ■詳細 ・サンプルの位置関係について、カメラによる観察...
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■概要 直動XYZ軸にθxθyθz軸を組み合わせた6軸自動調芯用ステージユニットです。左右対称にLタイプとRタイプがあります。 ■詳細 ・高剛...
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■概要 直動XYZ軸にθxθyθz軸を組み合わせた6軸自動調芯用ステージユニットです。左右対称にLタイプとRタイプがあります。 ■詳細 ・高剛...
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■概要 直動XYZ軸にθxθyθz軸を組み合わせた6軸自動調芯用ステージユニットです。左右対称にLタイプとRタイプがあります。 ■詳細 ・高剛...
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■概要 6軸対称型の自動調芯用12軸自動ステージユニットです。ファイバーアレイ−光導波路−ファイバーアレイ等のパッシブデバイスの調芯に...
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高剛性、高精度に対応した計測、検査用のZ軸ステッピングモータ駆動ステージです。上下に移動するステージ面は水平で、スムーズな移動が...
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ステージの昇降構造として、クサビ機構を採用した薄型の水平面Z軸ステージです。 ■詳細 ・クロスローラガイド (スリップレス構造) とボ...
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小型、薄型、高耐久性の3要素を兼ね備えたクロスローラ自動ステージです。 ■詳細 ・クロスローラガイド (スリップレス構造、TAMM40は除...
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精密ボールネジと精密クロスローラを使用した正確度の高い高精度X軸ステージです。3軸ステージコントローラHSC-103と使用することで、従...
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テーブル面サイズ25×25mmのステッピングモータ駆動の小型自動ステージです。従来の製品より大幅に小型化され、省スペースが必要な生産設...
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■特長 CEに準拠した高剛性、自動ステージ (OSMSシリーズ) をベースに、新たに「ロータリーエンコーダ付2相ステッピングモータ」を搭載し...
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5相ステッピングモータドライバおよびコントローラを内蔵し、省配線、省スペースで簡単なコマンドにて制御できる自動ステージです。 ■...
自動ステージとは、制御された自動送り装置によって任意の位置に位置決めができるステージのことです。
自動ステージは製品により、縦横斜めなどの多方向への調整可動が行えます。使用する際は、可動方向や調整幅 (精度) 、または手動での調整が必要かを考えます。Z軸の追加により三次元的な可動も可能となるため、自動ステージの用途は幅広いです。
自動ステージは、調整や位置決めなどを目的として製造装置や電子顕微鏡などの様々な装置で使用され、各種装置の可動調整が必要な部分に取り付けられます。
また、自動ステージには自動送り装置が取り付けてあるので、自動的な調整が可能です。自動ステージの使用例として、以下の用途が挙げられます。
自動ステージの基本となる構成の1つとして、ガイド機構が挙げられます。また、自動送り装置も欠かせない要素です。
アリ溝ガイド
台形状のアリ溝とアリ溝の収まるアリほぞを利用したガイド機構です。摩擦係数が高いため、精度の高い位置決めには不向きですが、コストは抑制できます。
V溝ガイド
ローラーが内蔵されるスライダーとV溝が形成されるレールを利用したガイド機構です。スライダーが移動するときに、V溝の側面に接触するローラーが転がります。剛性が高く、低摩擦で微小な送りが可能です。
リニアボールガイド
ボールが内蔵されるスライダーと円弧状のR溝が形成されるレールを利用したガイド機構です。スライダーが移動するときに、R溝に接触するボールが転がります。あらゆる方向の負荷に対して安定した負荷能力があり、正確な位置決めにも適しています。
自動送り装置は、送り機構とモーターを備えています。送り機構の種類は以下の通りです。
ラック&ピニオン
ラックギアが形成されるレールとピニオンと呼ばれる歯車を利用した送り機構です。素早くステージを送ることはできますが、高精度な位置決めには向いていません。
送りねじ
おねじとめねじを利用したねじ方式の送り機構です。例えば、ボールねじがこの送り機構に該当します。
ねじのピッチの分解能でステージを送れるため、細かな送りは可能です。一方で、送り速度が遅く、長いストロークの位置決めには向いていません。
なお、モーターとしては以下のものが挙げられます。
ステッピングモーター
永久磁石を持つローターとコイルを持つステータによって構成されています。コイルに電気を流してローターを回転させる構造です。
ACサーボモーター
ローターの回転角度を検知するエンコーダーを備えています。エンコーダーの検知結果に基づいてコイルに流れる電流を制御してトルクを制御できます。
自動ステージには、直動ステージと回転ステージとゴニオステージがあります。
直動ステージは、水平方向や上下方向に直線移動するステージを持つステージです。1軸ステージとして、水平方向の1方向に移動を行うX軸ステージと上下方向に移動を行うZ軸ステージがあります。
また、左右方向の移動と前後方向の移動を行うXY軸ステージ (2軸ステージ) や、左右方向の移動と前後方向の移動に加えて上下方向の移動を行うXYZ軸ステージ (3軸ステージ) もあります。
回転ステージは、上下方向を回転の軸方向として回転するステージです。代表例として、ゴニオステージがあります。
ステージの垂直線上の一点を回転中心にして、ステージが円弧状に移動します。ステージの傾斜角度の調整が可能です。なお、ゴニオステージには、1軸ステージと2軸ステージがあります。
参考文献
https://jp.misumi-ec.com/tech-info/categories/machine_design/md05/d0039.html
https://jp.misumi-ec.com/maker/misumi/mech/product/xy/faq/faq01.html
https://www.marubun.co.jp/service/mps/a7ijkd000000l156.html
https://www.yaskawa.co.jp/product/mc/about-servo
