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自動ステージのメーカー18社一覧や企業ランキングを掲載中！自動ステージ関連企業の2025年7月注目ランキングは1位:神津精機株式会社、2位:駿河精機株式会社、3位:シグマ光機株式会社となっています。 自動ステージの概要、用途、原理もチェック！
自動ステージとは、制御された自動送り装置によって任意の位置に位置決めができるステージのことです。
自動ステージは製品により、縦横斜めなどの多方向への調整可動が行えます。使用する際は、可動方向や調整幅 (精度) 、または手動での調整が必要かを考えます。Z軸の追加により三次元的な可動も可能となるため、自動ステージの用途は幅広いです。
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2025年7月の注目ランキングベスト10
| 順位 | 会社名 | クリックシェア |
|---|---|---|
| 1 | 神津精機株式会社 |
23.8%
|
| 2 | 駿河精機株式会社 |
11.1%
|
| 3 | シグマ光機株式会社 |
9.5%
|
| 4 | 中央精機株式会社 |
7.9%
|
| 5 | オリムベクスタ株式会社 |
7.9%
|
| 6 | ニッカ電測株式会社 |
6.3%
|
| 7 | 株式会社MSAファクトリー |
6.3%
|
| 8 | フォトニックインストゥルメンツ株式会社 |
4.8%
|
| 9 | 株式会社KUGE |
4.8%
|
| 10 | コムス株式会社 |
3.2%
|
項目別
使用用途
#検査測定
#位置決め
#微細加工
#半導体製造
#光学調整
#レーザー加工
#顕微観察
#デバイス評価
#バイオ操作
#精密印刷
移動方式
電動
手動
空気浮上
駆動方式
ステッピングモータ式
サーボモータ式
ピエゾ駆動式
リニアモータ式
移動軸構成
単軸
二軸
三軸
回転
傾斜
特殊機能
真空対応型
クリーンルーム対応型
高耐荷重型
高分解能型
移動範囲 mm
0 - 50
50 - 100
100 - 150
150 - 200
200 - 300
300 - 400
400 - 500
500 - 600
耐荷重 N
10 - 100
100 - 300
300 - 400
400 - 500
位置決め精度 μm
0 - 1
1 - 2
2 - 4
4 - 50
50 - 60
繰り返し精度 μm
0 - 1
1 - 10
10 - 11
ストローク mm
-50 - 0
0 - 100
100 - 200
200 - 300
300 - 500
500 - 800
ステージ高さ mm
0 - 50
50 - 100
100 - 150
150 - 200
200 - 300
駆動方式
リニアガイド
ボーデンケーブル
ラックアンドピニオン
ウォームギア
リニアモーター
親ねじ
DCモータ
ステッピングモーター
ボールねじ
サーボ制御
動作温度 ℃
-10 - 0
0 - 10
10 - 30
30 - 40
205 点の製品がみつかりました
205 点の製品
オリムベクスタ株式会社
1440人以上が見ています
最新の閲覧: 1時間前
返信の早い企業
100.0% 返答率
11.5時間 返答時間
設計・組立担当者の『時短』をサポートする電動スライダ 2軸 (X-Y) 3軸 (X-Y-Z) ユニットを発売します。メーカーでボールねじスライ...
3種類の品番
オリムベクスタ株式会社
1680人以上が見ています
最新の閲覧: 6時間前
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11.5時間 返答時間
＜特徴＞ 高精度 ・位置決め後の安定性が高い ・バックラッシが少ない ・回転ステージの偏芯量が少ない ・サブミクロンの位置決めが可能...
4種類の品番
ピーアイ・ジャパン株式会社
2770人以上が見ています
最新の閲覧: 2時間前
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20.2時間 返答時間
■製品特徴 ・スキャンアプリケーションや高精度位置決めに最適 ・クリーンルーム対応 ・モーションプラットフォームのサイズ160mm×200mm...
10種類の品番
ピーアイ・ジャパン株式会社
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20.2時間 返答時間
製品概要 ■精密級リニアステージ スムーズな走行を保証する接地精度の親ねじがあります。再循環ボールベアリングと応力緩和アルミニウム...
3種類の品番
ピーアイ・ジャパン株式会社
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返信の比較的早い企業
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20.2時間 返答時間
ハイダイナミック顕微鏡用高速 XY (Z) ステージ ■特徴 ・サブナノメートル分解能で5ms未満の高速応答:トラッキングに最適 ・E-727USBコ...
オックスフォード・インストゥルメンツ株式会社
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23.1時間 返答時間
試料や観察目的に応じて、マニュアル、モーター駆動、ピエゾステージを幅広く選択できます。 ■取り付け可能ステージ ・マニュアルステ...
株式会社日本レーザー
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■特徴 ・可動距離 200～1000mm ・最高速度 2m/s ・高い負荷容量： 最大2000N (水平位置) ・レーザー微細加工に最適：最小250nmの精度を...
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■特徴 ・可動距離 200～1000mm ・最高速度 2m/s ・高い負荷容量： 最大2000N (水平位置) ・レーザー微細加工に最適：最小250nmの精度を...
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■特徴 ・可動距離 200～1000mm ・最高速度 2m/s ・高い負荷容量： 最大2000N (水平位置) ・レーザー微細加工に最適：最小250nmの精度を...
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■特徴 ・可動距離 200～1000mm ・最高速度 2m/s ・高い負荷容量： 最大2000N (水平位置) ・レーザー微細加工に最適：最小250nmの精度を...
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■特徴 ・可動距離 200～1000mm ・最高速度 2m/s ・高い負荷容量： 最大2000N (水平位置) ・レーザー微細加工に最適：最小250nmの精度を...
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■特徴 ・可動距離 200～1000mm ・最高速度 2m/s ・高い負荷容量： 最大2000N (水平位置) ・レーザー微細加工に最適：最小250nmの精度を...
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■特徴 ・可動距離 200～1000mm ・最高速度 2m/s ・高い負荷容量： 最大2000N (水平位置) ・レーザー微細加工に最適：最小250nmの精度を...
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■特徴 ・可動距離 200～1000mm ・最高速度 2m/s ・高い負荷容量： 最大2000N (水平位置) ・レーザー微細加工に最適：最小250nmの精度を...
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■特徴 ・可動距離 200～1000mm ・最高速度 2m/s ・高い負荷容量： 最大2000N (水平位置) ・レーザー微細加工に最適：最小250nmの精度を...
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■特徴 ・可動距離 200～1000mm ・最高速度 2m/s ・高い負荷容量： 最大2000N (水平位置) ・レーザー微細加工に最適：最小250nmの精度を...
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■特徴 ・最小移動量が1nmの超高性能ステージ ・ダイナミクスと信頼性の高い超精密モーションを保証する非接触直接駆動システム ・精密ガ...
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■特徴 ・丈夫でコンパクトな一体型デザイン ・直進性と平坦性に優れた動作 ・可動距離：60～300mm ・最高速度 1m/s ・高い負荷容量：200...
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■特徴 ・剛性の大きいボディデザインにより、移動距離が最大600mm × 600mmの曲がりのないXYアッセンブリが可能 ・非接触直接駆動システ...
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■特徴 ・150mmまたは300mmの移動範囲 ・高効率のブラシレス DCモーター - 最大速度 300mm/s ・XYまたは XYZ構成の簡単な直接取り付け ・...
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コンパクトで薄型、高精度のリニアステージのMLTシリーズは、XMファミリとコンパクトなVPファミリのリニアステージの超精密性能を橋渡し...
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EasyInspector2/DeepSkyと組み合わせて使用可能な画像検査用のXYZ軸ステージです。電子部品や精密エッチングなど目視では確認しづらい細...
株式会社MSAファクトリー
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■中強度タイプSHXYシリーズ 駆動軸シャフトにダブルブッシュを採用した中強度タイプのXYステージです。耐荷重10kg、より耐荷重 (重量物...
7種類の品番
株式会社MSAファクトリー
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駆動部にリニアブッシュ、台形ねじを使用した簡易XYステージ
5種類の品番
株式会社MSAファクトリー
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顕微鏡観察用ステージ、デバイス・MEMS評価ステージとして。小型角度ステージ、傾斜ステージ カスタマイズ対応品、在庫品 様々なバリ...
9種類の品番
株式会社MSAファクトリー
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■フルカスタム自動XYZステージ 御社向け生産・評価・試験プロセスの自動化にむけて、フルカスタムステージを製作いたしませんか ■手動...
株式会社MSAファクトリー
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■主な用途 デバイス、小基板、チップ等のクランプ、実装機、評価・試験器でのワークの固定
株式会社MSAファクトリー
200人以上が見ています
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■フルカスタム自動XYZステージ 御社向け生産・評価・試験プロセスの自動化にむけて、フルカスタムステージを製作いたしませんか ■手動...
株式会社MSAファクトリー
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■ロングストローク・フリースライド 長いストロークをフリーにスライドさせるアプリケーション用ステージ ■多軸ステージのベース駆動 ...
株式会社MSAファクトリー
330人以上が見ています
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■外観検査用、カスタム対応ステージ 外観検査用、貴社向けアプリケーションにあわせたカスタムステージ。自動/手動いずれでも対応可能 ...
株式会社MSAファクトリー
1400人以上が見ています
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■特徴 リニアガイドとボールねじ駆動による大型・高耐荷重手動ステージです。重量物 (50kg) の位置調整用途向けに商品化いたしました。 ...
5種類の品番
株式会社MSAファクトリー
720人以上が見ています
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■薄型・高強度ステージ マイクロリニアガイドとマイクロメータヘッドによる超薄型XYステージ。ステージ厚み34mm ■製品の構成 サイズは...
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フォトニックインストゥルメンツ株式会社
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正立顕微鏡用の自動XYステージ EK 75x50 Pilot は、ラック・アンド・ピニオン構造に独自のリニアエンコーダーを搭載することによって、...
フォトニックインストゥルメンツ株式会社
340人以上が見ています
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ドイツ・メルツホイザー社の正立顕微鏡用自動XYステージは装置の自動化と高精度位置決めを必要とするアプリケーションの為に開発されま...
フォトニックインストゥルメンツ株式会社
370人以上が見ています
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ドイツ・メルツホイザー社の倒立顕微鏡用自動XYステージは自動化と高精度位置決めを必要とするアプリケーションの為に開発されました。...
フォトニックインストゥルメンツ株式会社
320人以上が見ています
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ドイツ・メルツホイザー社のクローズドループ制御 顕微鏡用自動XYステージは標準自動XYステージよりさらに高精度な位置決め、繰り返し制...
フォトニックインストゥルメンツ株式会社
250人以上が見ています
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堅牢、高精度にデザインされたメルツホイザー社の測定ステージは最大移動範囲 600mm x 600mmまでご用意致します。最大荷重 3,000 N (約 ...
ツクモ工学株式会社
250人以上が見ています
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■概要 ・X軸自動ステージは、リニアブッシュとモータ駆動を組み合わせたシンプルな構造の制御式のX軸ステージです。 ・センサー配置は前...
ツクモ工学株式会社
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■概要 ・自動Z軸ステージは、ステージ面を水平に保持し、モーター駆動によりZ軸方向へ移動・微調整が可能な制御式のZ軸ステージです。 ...
ツクモ工学株式会社
250人以上が見ています
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■概要 ・θ－2θ自動回転ステージは、2つの回転ステージを独立して制御できるθステージです。 ・中心側θ2に試料台、外側θ1にアーム及び光...
ツクモ工学株式会社
310人以上が見ています
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■概要 ・中型サイズの自動回転ステージは、ステッピングモータとクロスローラベアリングを採用した構造をもつ、制御式のθステージです。...
株式会社富士機工
250人以上が見ています
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■NCの位置決めで作業効率大幅アップ。 メタルソーで切断する時、位置決めが面倒ではありませんか。目標値を入力するだけで、突き当てが...
株式会社富士機工
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■NCでの位置決めにより正確な加工、作業スピードのアップ。効率的な生産を可能にします。 ボール盤穴あけの、ケガキ・ポンチ要らずで作...
株式会社富士機工
220人以上が見ています
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■NCでの位置決めにより正確な加工、作業スピードのアップ。2軸NCにより複雑な工程も簡単に操作できます。 ボール盤穴あけの位置決め作業...
株式会社富士機工
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■ボール盤とメタルソー対応の一軸スケールNC。位置決めにより正確な加工、作業スピードのアップ。 1台のNC位置決め装置でボール盤とメタ...
株式会社坂本電機製作所
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この製品は、自動で高精度整準を行う機器です。上部にトランシットやオートレベルなどの測量機器を設置し、水準を維持するのに役立ちま...
株式会社東京インスツルメンツ
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■自動移動ステージ 概要 Standa社製自動移動ステージは、自動直動ステージ、自動回転ステージ、自動垂直ステージなど様々なモデルを取り...
株式会社東京インスツルメンツ
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■製品概要 Standa社は、各種自動ステージやアクチュエーターおよびコントローラーを製造しています。真空対応モデルは、10^-6 Torrに対...
オーテックス株式会社
320人以上が見ています
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■True nano Tech 薄型高剛性ステージ ALIO Industries社が世界中のハイエンドステージメーカーにインパクトを与えた3枚板による。XYステ...
オーテックス株式会社
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■小型ハイパワー回転ステージ 小型、薄型の高トルク回転ステージ。高速駆動、高い精度で360°の回転運動から、アライメントに最適な薄型...
オーテックス株式会社
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■ALIO社が±30°の傾き可能なハイブリッドヘキサポッドをリリース。360°回転も可能。Patented 高剛性長ストロークヘキサポッドステージ AL...
THK株式会社
50人以上が見ています
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■精密ステージシリーズ 1軸/XY軸ステージ A/AX 高精度でバリエーションが豊富、さまざまな用途に対応可能な精密ステージ ■豊富なバリエ...
THK株式会社
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■精密ステージシリーズ 薄型1軸/XY軸ステージ AT/ATX 従来のA/AXの高精度を維持した高剛性かつ薄型の精密ステージ ■薄型ステージ 同じ...
THK株式会社
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■精密ステージシリーズ 精密アライメントステージ CMX 画期的な駆動モジュール構造を採用した、超薄型の精密アライメントステージです。...
THK株式会社
30人以上が見ています
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■精密ステージシリーズ 超薄型アライメントステージ CHX 予圧型フレキシブル平面軸受を採用した、超薄型アライメントステージです。 ■...
THK株式会社
40人以上が見ています
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■精密ステージシリーズ 中抜きXYステージ DX クロスLMガイドCSRの最適配置により、高剛性かつ高さの低い中抜きXYステージ ■中抜き構造※...
THK株式会社
40人以上が見ています
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■精密ステージシリーズ 高応答XYステージ EX 低イナーシャ構造で、優れた応答性を実現した高応答XYステージ ■シンプルなXY構造 案内部...
THK株式会社
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■精密ステージシリーズ くさび構造昇降ステージ KZ くさび構造を採用したコンパクト・高剛性昇降ステージです。 ■コンパクト設計 モー...
壺坂電機株式会社
230人以上が見ています
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■特長 ・回転軸 (Yaw / Pitch) と直動軸 (X / Y / Z) の電動ステージを搭載 ・専用PCソフトウェアでステージの制御が可能 ・位置のティ...
日本システムデザイン株式会社
130人以上が見ています
■概要 CAN※ポートを搭載した雲台です。2015年に広島大学より依頼され製作しました。コントロール一体型です。コントローラは付属しませ...
ワイヤード株式会社
340人以上が見ています
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□24の5相ステッピングモータを採用した、小型・軽量・高精度をコンセプトに開発された40mm角テーブルの自動位置決めステージです。
ワイヤード株式会社
240人以上が見ています
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□24の5相ステッピングモータを採用した、小型・軽量・高精度をコンセプトに開発された60mm角テーブルの自動位置決めステージです。
ワイヤード株式会社
300人以上が見ています
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ガイド部とボールネジ部を一体構造にしたことによるコストダウンと高精度・高剛性を実現した自動位置決めステージです。□24mmの5相ステ...
ワイヤード株式会社
250人以上が見ています
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従来のLMガイドと違いアウタレール構造を採用したことにより高精度・高剛性なため取付姿勢に対する制限が受けにくい自動位置決めステー...
ワイヤード株式会社
220人以上が見ています
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ガイド部とボールネジ部を一体構造にしたことによるコストダウンと高精度・高剛性を実現した自動位置決めステージです。□24mmの5相ステ...
ワイヤード株式会社
220人以上が見ています
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アウタレール構造を採用したことにより高精度・高剛性なため取付姿勢に対する制限が受けにくい自動位置決めステージです。
ワイヤード株式会社
240人以上が見ています
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アウタレール構造を採用したことにより高精度・高剛性なため取付姿勢に対する制限が受けにくい自動位置決めステージです。
ワイヤード株式会社
220人以上が見ています
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アウタレール構造を採用したことにより高精度・高剛性な自動位置決めステージです。 オーバーハング負荷・モーメント荷重負荷に対する剛...
ワイヤード株式会社
230人以上が見ています
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アウタレール構造を採用したことにより高精度・高剛性な自動位置決めステージです。 オーバーハング負荷・モーメント荷重負荷に対する剛...
ワイヤード株式会社
170人以上が見ています
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□24の5相ステッピングモータを採用した、小型・軽量・高精度をコンセプトに開発された40mm角テーブルの自動位置決めステージです。
ワイヤード株式会社
130人以上が見ています
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□24の5相ステッピングモータを採用した、小型・軽量・高精度をコンセプトに開発された60mm角テーブルの自動位置決めステージです。
ワイヤード株式会社
130人以上が見ています
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アウタレール構造を採用したことにより高精度・高剛性な自動位置決めステージです。 オーバーハング負荷・モーメント荷重負荷に対する剛...
ワイヤード株式会社
140人以上が見ています
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アウタレール構造を採用したことにより高精度・高剛性な自動位置決めステージです。 オーバーハング負荷・モーメント荷重負荷に対する剛...
ワイヤード株式会社
120人以上が見ています
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アウタレール構造を採用したことにより高精度・高剛性な自動位置決めステージです。 オーバーハング負荷・モーメント荷重負荷に対する剛...
ワイヤード株式会社
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ガイド部とボールネジ部を一体構造にしたことによるコストダウンと高精度・高剛性を実現した自動位置決めステージです。□24mmの5相ステ...
ワイヤード株式会社
190人以上が見ています
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従来のLMガイドと違いアウタレール構造を採用したことにより高精度・高剛性なため取付姿勢に対する制限が受けにくい自動位置決めステー...
ワイヤード株式会社
240人以上が見ています
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ガイド部とボールネジ部を一体構造にしたことによるコストダウンと高精度・高剛性を実現した自動位置決めステージです。□24mmの5相ステ...
ワイヤード株式会社
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アウタレール構造を採用したことにより高精度・高剛性なため取付姿勢に対する制限が受けにくい自動位置決めステージです。
ワイヤード株式会社
190人以上が見ています
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アウタレール構造を採用したことにより高精度・高剛性なため取付姿勢に対する制限が受けにくい自動位置決めステージです。
ワイヤード株式会社
160人以上が見ています
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□24の5相ステッピングモータを採用した、小型・軽量・高精度をコンセプトに開発された40mm角テーブルの自動位置決めステージです。
ワイヤード株式会社
170人以上が見ています
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□24の5相ステッピングモータを採用した、小型・軽量・高精度をコンセプトに開発された60mm角テーブルの自動位置決めステージです。
ワイヤード株式会社
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TSA160-θはφ102mmの透過穴と厚さ44mmの薄型をコンセプトに設計された自動大型回転ステージです。
ワイヤード株式会社
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■特徴 ・テーブル20×23mm、指サイズの超小型精密自動ステージ ・小型でありながら精密送りネジと剛性・平面精度の高い精密クロスローラ...
ワイヤード株式会社
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ガイド部とボールネジ部を一体構造にしたことによるコストダウンと高精度・高剛性を実現した自動位置決めステージです。□24mmの5相ステ...
ワイヤード株式会社
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従来のLMガイドと違いアウタレール構造を採用したことにより高精度・高剛性なため取付姿勢に対する制限が受けにくい自動位置決めステー...
ワイヤード株式会社
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ガイド部とボールネジ部を一体構造にしたことによるコストダウンと高精度・高剛性を実現した自動位置決めステージです。□24mmの5相ステ...
ワイヤード株式会社
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アウタレール構造を採用したことにより高精度・高剛性なため取付姿勢に対する制限が受けにくい自動位置決めステージです。
ワイヤード株式会社
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アウタレール構造を採用したことにより高精度・高剛性なため取付姿勢に対する制限が受けにくい自動位置決めステージです。
ワイヤード株式会社
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5相ステッピングモータを採用した、小型・軽量・高精度をコンセプトに開発された60mm角テーブル、移動量4mmの自動水平面型Z軸ステージと...
オーテックス株式会社
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35.7時間 返答時間
SOLANOは、最小0.08µmの分解能で精密な位置決めと校正用に設計された超コンパクトなヘキサポッドです。SOLANOヘキサポッドは、サイズ、...
オーテックス株式会社
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PUNAは、研究や産業における高精度位置決めアプリケーションを最適な予算で満たすシンプルなヘキサポッドです。耐荷重25kgに対して、XYZ...
オーテックス株式会社
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■小型高精度ヘキサポッドステージSOLANO SOLANOは、最小0.08µmの分解能で精密な位置決めと校正用に設計された超コンパクトなヘキサポッ...
オーテックス株式会社
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■小型高精度ヘキサポッドステージBORA BORAヘキサポッドは、0.1µmの分解能で精密要素の位置決めと調整を行うためのコンパクトな 6DOF平...
オーテックス株式会社
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■超高真空対応小径高精度ヘキサポッドステージMAUKA MAUKAは、最大5kgの耐荷重をサブマイクロメートルの分解能で位置決めするように設計...
オーテックス株式会社
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■シンプル高精度ヘキサポッドステージPUNA PUNAは、研究や産業における高精度位置決めアプリケーションを最適な予算で満たすシンプルな...
オーテックス株式会社
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■高耐荷重高精度ヘキサポッドステージZONDA ZONDAは、高精度、安定性、精度、重荷重、大きな移動距離の両方を必要とする用途に応える新...
オーテックス株式会社
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■高精度長ストロークヘキサポッドステージSIRIUS SIRIUSは高精度位置決めヘキサポッドです。500kgの物体を高分解能で調整できます。 航...
オーテックス株式会社
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■高安定高精度ヘキサポッドステージKUBAN Kubanは、高精度かつ1.5µradの分解能で空間内に要素を配置するように設計された、非常に安定し...
オーテックス株式会社
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■500kg耐荷重のヘキサポッドステージSURES SURESは、非常に高精度で剛性の高い位置決めシステムです。 最大500kgの搭載物を高分解能 で...
オーテックス株式会社
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■小型ダイナミックヘキサポッドステージHEGOA HEGOAはサイズが小さく (42cm) 、耐荷重50kg、重量が軽いため、他のヘキサポッドと比較し...
オーテックス株式会社
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■小型ダイナミックヘキサポッドステージSIROCCO SIROCCOは最大2トンの荷重での動作の再現が可能です。 このヘキサポッドは、液体の動き...
オーテックス株式会社
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■1,500kg耐荷重高安定高精度長ストロークヘキサポッドステージJORAN JORANヘキサポッドは、1,500kg耐荷重で0.5µradの角度分解能で要素を...
オーテックス株式会社
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■コンパクトダイナミックヘキサポッドステージNOTUS NOTUSは、コンパクトで構造的に堅牢なモーションジェネレーターです。 NotusPの耐荷...
オーテックス株式会社
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■カスタムヘキサポッドステージ 防衛、衛星、天文、サイクロトロン等、様々な用途に応じて最適なカスタム品、カスタムシステムの提案が...
株式会社KUGE
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■概要 ・精密クロスローラーと精密ボールネジを使いマイクロステップにも対応 ・ステンレス構造にし、高剛性で熱膨張を少なくしたステー...
シグマ光機株式会社
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■概要 顕微鏡ステージを低価格でご提供します。 ■特徴 ・PC制御用のサンプルソフトがご利用可能です。 ・ジョイスティック (オプション...
シグマ光機株式会社
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■概要 顕微鏡ステージを低価格でご提供します。 ■特徴 ・PC制御用のサンプルソフトがご利用可能です。 ・ジョイスティック (オプション...
シグマ光機株式会社
20人以上が見ています
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返信のとても早い企業
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■概要 導波路端面やファイバ端面、デバイス等を観察するためのユニットです。 ■詳細 ・サンプルの位置関係について、カメラによる観察...
シグマ光機株式会社
40人以上が見ています
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5.3時間 返答時間
■概要 直動XYZ軸にθxθyθz軸を組み合わせた6軸自動調芯用ステージユニットです。左右対称にLタイプとRタイプがあります。 ■詳細 ・高剛...
シグマ光機株式会社
40人以上が見ています
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5.3時間 返答時間
■概要 直動XYZ軸にθxθyθz軸を組み合わせた6軸自動調芯用ステージユニットです。左右対称にLタイプとRタイプがあります。 ■詳細 ・高剛...
シグマ光機株式会社
50人以上が見ています
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■概要 直動XYZ軸にθxθyθz軸を組み合わせた6軸自動調芯用ステージユニットです。左右対称にLタイプとRタイプがあります。 ■詳細 ・高剛...
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■概要 6軸対称型の自動調芯用12軸自動ステージユニットです。ファイバーアレイ−光導波路−ファイバーアレイ等のパッシブデバイスの調芯に...
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高剛性、高精度に対応した計測、検査用のZ軸ステッピングモータ駆動ステージです。上下に移動するステージ面は水平で、スムーズな移動が...
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ステージの昇降構造として、クサビ機構を採用した薄型の水平面Z軸ステージです。 ■詳細 ・クロスローラガイド (スリップレス構造) とボ...
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小型、薄型、高耐久性の3要素を兼ね備えたクロスローラ自動ステージです。 ■詳細 ・クロスローラガイド (スリップレス構造、TAMM40は除...
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精密ボールネジと精密クロスローラを使用した正確度の高い高精度X軸ステージです。3軸ステージコントローラHSC-103と使用することで、従...
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テーブル面サイズ25×25mmのステッピングモータ駆動の小型自動ステージです。従来の製品より大幅に小型化され、省スペースが必要な生産設...
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本体にガイドを施し、精密研削ネジを使用した低価格な自動ステージです。
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■特長 CEに準拠した高剛性、自動ステージ (OSMSシリーズ) をベースに、新たに「ロータリーエンコーダ付2相ステッピングモータ」を搭載し...
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5相ステッピングモータドライバおよびコントローラを内蔵し、省配線、省スペースで簡単なコマンドにて制御できる自動ステージです。 ■...
自動ステージとは、制御された自動送り装置によって任意の位置に位置決めができるステージのことです。
自動ステージは製品により、縦横斜めなどの多方向への調整可動が行えます。使用する際は、可動方向や調整幅 (精度) 、または手動での調整が必要かを考えます。Z軸の追加により三次元的な可動も可能となるため、自動ステージの用途は幅広いです。
自動ステージは、調整や位置決めなどを目的として製造装置や電子顕微鏡などの様々な装置で使用され、各種装置の可動調整が必要な部分に取り付けられます。
また、自動ステージには自動送り装置が取り付けてあるので、自動的な調整が可能です。自動ステージの使用例として、以下の用途が挙げられます。
自動ステージの基本となる構成の1つとして、ガイド機構が挙げられます。また、自動送り装置も欠かせない要素です。
アリ溝ガイド
台形状のアリ溝とアリ溝の収まるアリほぞを利用したガイド機構です。摩擦係数が高いため、精度の高い位置決めには不向きですが、コストは抑制できます。
V溝ガイド
ローラーが内蔵されるスライダーとV溝が形成されるレールを利用したガイド機構です。スライダーが移動するときに、V溝の側面に接触するローラーが転がります。剛性が高く、低摩擦で微小な送りが可能です。
リニアボールガイド
ボールが内蔵されるスライダーと円弧状のR溝が形成されるレールを利用したガイド機構です。スライダーが移動するときに、R溝に接触するボールが転がります。あらゆる方向の負荷に対して安定した負荷能力があり、正確な位置決めにも適しています。
自動送り装置は、送り機構とモーターを備えています。送り機構の種類は以下の通りです。
ラック&ピニオン
ラックギアが形成されるレールとピニオンと呼ばれる歯車を利用した送り機構です。素早くステージを送ることはできますが、高精度な位置決めには向いていません。
送りねじ
おねじとめねじを利用したねじ方式の送り機構です。例えば、ボールねじがこの送り機構に該当します。
ねじのピッチの分解能でステージを送れるため、細かな送りは可能です。一方で、送り速度が遅く、長いストロークの位置決めには向いていません。
なお、モーターとしては以下のものが挙げられます。
ステッピングモーター
永久磁石を持つローターとコイルを持つステータによって構成されています。コイルに電気を流してローターを回転させる構造です。
ACサーボモーター
ローターの回転角度を検知するエンコーダーを備えています。エンコーダーの検知結果に基づいてコイルに流れる電流を制御してトルクを制御できます。
自動ステージには、直動ステージと回転ステージとゴニオステージがあります。
直動ステージは、水平方向や上下方向に直線移動するステージを持つステージです。1軸ステージとして、水平方向の1方向に移動を行うX軸ステージと上下方向に移動を行うZ軸ステージがあります。
また、左右方向の移動と前後方向の移動を行うXY軸ステージ (2軸ステージ) や、左右方向の移動と前後方向の移動に加えて上下方向の移動を行うXYZ軸ステージ (3軸ステージ) もあります。
回転ステージは、上下方向を回転の軸方向として回転するステージです。代表例として、ゴニオステージがあります。
ステージの垂直線上の一点を回転中心にして、ステージが円弧状に移動します。ステージの傾斜角度の調整が可能です。なお、ゴニオステージには、1軸ステージと2軸ステージがあります。
参考文献
https://jp.misumi-ec.com/tech-info/categories/machine_design/md05/d0039.html
https://jp.misumi-ec.com/maker/misumi/mech/product/xy/faq/faq01.html
https://www.marubun.co.jp/service/mps/a7ijkd000000l156.html
https://www.yaskawa.co.jp/product/mc/about-servo
