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自動・手動ステージ/XY Stage 精密透過構造ステージ LXYシリーズ-LXY125
自動・手動ステージ/XY Stage 精密透過構造ステージ LXYシリーズ-株式会社MSAファクトリー

自動・手動ステージ/XY Stage 精密透過構造ステージ LXYシリーズ
株式会社MSAファクトリー

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この製品について

■薄型・高強度ステージ

マイクロリニアガイドとマイクロメータヘッドによる超薄型XYステージ。ステージ厚み34mm

■製品の構成

サイズは、4種類、マイクロヘッドは標準の他に高精細駆動0.0005mm (0.5μm) タイプもオプションで用意

■多軸構成MSA-マルチステージ

MSAマルチステージ (多軸カスタマイズ) 対応品、他の軸駆動ステージと組み合わせて、貴社のアプリケーションにあわせたステージを用意いたします

  • シリーズ

    自動・手動ステージ/XY Stage 精密透過構造ステージ LXYシリーズ

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自動・手動ステージ/XY Stage 精密透過構造ステージ LXYシリーズ 品番5件

フィルター

次の条件に該当する商品を5件表示しています

商品画像 品番 価格 (税抜) ステージ高さ ストローク 耐荷重 プレート・駆動部材質 重量 通常納期
自動・手動ステージ/XY Stage 精密透過構造ステージ LXYシリーズ-品番-LXY125

LXY125

要見積もり

125mm×125mm

φ30

34mm

±6.5mm

20kgf

プレート部:アルミ/駆動部:鉄、ステンレスなど

約1kg

10-14日

自動・手動ステージ/XY Stage 精密透過構造ステージ LXYシリーズ-品番-LXY140

LXY140

要見積もり

140mm×140mm

φ58

34mm

±6.5mm

20kgf

プレート部:アルミ/駆動部:鉄、ステンレスなど

約1kg

10-14日

自動・手動ステージ/XY Stage 精密透過構造ステージ LXYシリーズ-品番-LXY150

LXY150

要見積もり

150mm×150mm

φ45

34mm

±6.5mm

20kgf

プレート部:アルミ/駆動部:鉄、ステンレスなど

約1kg

10-14日

自動・手動ステージ/XY Stage 精密透過構造ステージ LXYシリーズ-品番-LXY175

LXY175

要見積もり

175mm×175mm

φ80

34mm

±6.5mm

20kgf

プレート部:アルミ/駆動部:鉄、ステンレスなど

約1kg

10-14日

自動・手動ステージ/XY Stage 精密透過構造ステージ LXYシリーズ-品番-LXY200

LXY200

要見積もり

200mm×200mm

φ80

34mm

±6.5mm

20kgf

プレート部:アルミ/駆動部:鉄、ステンレスなど

約1kg

10-14日

フィルターに該当する他製品

自動ステージの中で同じ条件の製品
特殊機能: 高分解能型

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自動ステージをフィルターから探すことができます

使用用途

#検査測定 #位置決め #微細加工 #半導体製造 #光学調整 #レーザー加工 #顕微観察 #デバイス評価 #バイオ操作 #精密印刷

移動方式

電動 手動 空気浮上

駆動方式

ステッピングモータ式 サーボモータ式 ピエゾ駆動式 リニアモータ式 リニアガイド ボーデンケーブル ラックアンドピニオン ウォームギア リニアモーター 親ねじ DCモータ ステッピングモーター ボールねじ サーボ制御

移動軸構成

単軸 二軸 三軸 回転 傾斜

特殊機能

真空対応型 クリーンルーム対応型 高耐荷重型 高分解能型

移動範囲 mm

0 - 50 50 - 100 100 - 150 150 - 200 200 - 300 300 - 400 400 - 500 500 - 600

耐荷重 N

10 - 100 100 - 300 300 - 400 400 - 500

位置決め精度 μm

0 - 1 1 - 2 2 - 4 4 - 50 50 - 60

繰り返し精度 μm

0 - 1 1 - 10 10 - 11

ストローク mm

-50 - 0 0 - 100 100 - 200 200 - 300 300 - 500 500 - 800

ステージ高さ mm

0 - 50 50 - 100 100 - 150 150 - 200 200 - 300

動作温度 ℃

-10 - 0 0 - 10 10 - 30 30 - 40

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この商品の取り扱い会社情報

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返答時間

80.0時間

会社概要

株式会社MSAファクトリーは、工業用ホットプレートなどの生産・研究機器の開発・製造・販売を中心に手掛けている企業です。 2007年に設立され、当初は冶工具や加工部品の製作請負を行っていました。その後、加熱関係事業に参入...

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  • 本社所在地: 東京都
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