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自動ステージ Symetrie ヘキサポッド ステージ BORA-BORA
自動ステージ Symetrie ヘキサポッド ステージ BORA-オーテックス株式会社

自動ステージ Symetrie ヘキサポッド ステージ BORA
オーテックス株式会社

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■小型高精度ヘキサポッドステージBORA

BORAヘキサポッドは、0.1µmの分解能で精密要素の位置決めと調整を行うためのコンパクトな 6DOF平行運動学システムです。 BORAヘキサポッドは、解像度、精度、安定性、サイズの点で光学およびナノテクノロジーの最も厳しい基準を満たしています。 その寸法により、例えばシンクロトロンビームラインでのアプリケーション用のゴニオメーターの先端や、宇宙光学系の位置合わせと校正を行う光学地上支援装置など、狭い環境での統合が可能になります。 BORAヘキサポッドは、垂直、水平、逆さなど、あらゆる向きで使用できます。

  • シリーズ

    自動ステージ Symetrie ヘキサポッド ステージ BORA

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自動ステージ Symetrie ヘキサポッド ステージ BORA 品番1件

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商品画像 品番 価格 (税抜) XYストローク Zストローク チルト 回転 (ZΘ) 繰り返し精度 (XYZ) 繰り返し精度 (Rx, Ry, Rz) サイズ 耐荷重
自動ステージ Symetrie ヘキサポッド ステージ BORA-品番-BORA

BORA

要見積もり

±20mm

±10mm

<±10°

±15°

±0.4μm

±3.2μrad

φ210mm 高さ (Z中間地点) 145mm 開口φ36mm

10kg

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特殊機能: 高分解能型

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使用用途

#検査測定 #位置決め #微細加工 #半導体製造 #光学調整 #レーザー加工 #顕微観察 #デバイス評価 #バイオ操作 #精密印刷

移動方式

電動 手動 空気浮上

駆動方式

ステッピングモータ式 サーボモータ式 ピエゾ駆動式 リニアモータ式 リニアガイド ボーデンケーブル ラックアンドピニオン ウォームギア リニアモーター 親ねじ DCモータ ステッピングモーター ボールねじ サーボ制御

移動軸構成

単軸 二軸 三軸 回転 傾斜

特殊機能

真空対応型 クリーンルーム対応型 高耐荷重型 高分解能型

移動範囲 mm

0 - 50 50 - 100 100 - 150 150 - 200 200 - 300 300 - 400 400 - 500 500 - 600

耐荷重 N

10 - 100 100 - 300 300 - 400 400 - 500

位置決め精度 μm

0 - 1 1 - 2 2 - 4 4 - 50 50 - 60

繰り返し精度 μm

0 - 1 1 - 10 10 - 11

ストローク mm

-50 - 0 0 - 100 100 - 200 200 - 300 300 - 500 500 - 800

ステージ高さ mm

0 - 50 50 - 100 100 - 150 150 - 200 200 - 300

動作温度 ℃

-10 - 0 0 - 10 10 - 30 30 - 40

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この商品の取り扱い会社情報

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会社概要

オーテックス株式会社は、レーザー機器や電気機器、電子機器、光学機器などの各種機器並びにその応用装置と、部品の製造販売、輸出入業務を行っている会社です。 医療・理化学機器や、接着剤、接着テープ、接着シート等の機器も取り扱っ...

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  • 本社所在地: 東京都
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