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電動XY測定ステージ-MT mot 50x50
電動XY測定ステージ-フォトニックインストゥルメンツ株式会社

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この製品について

堅牢、高精度にデザインされたメルツホイザー社の測定ステージは最大移動範囲 600mm x 600mmまでご用意致します。最大荷重 3,000 N (約 306 kgf) 高重量搭載可能なステージも供給可能です。さらに、MT mot MRシリーズにはMR測定システムが内蔵されているため、高精度に測長することができます。

■MT motシリーズの最高移動速度はステージに使用されているBall screw pitchに依存します。

・1 mm Ball screw pitch 仕様: 最高速度 60 mm/s ・2 mm Ball screw pitch 仕様: 最高速度 120 mm/s ・4 mm Ball screw pitch 仕様: 最高速度 240 mm/s

  • シリーズ

    電動XY測定ステージ

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電動XY測定ステージ 品番1件

次の条件に該当する商品を1件表示しています

商品画像 品番 価格 (税抜) 測定範囲 分解能 繰り返し精度 位置決め精度 重量 搭載可能重量 仕様
電動XY測定ステージ-品番-MT mot 50x50

MT mot 50x50

要見積もり

50mm x 50 mm

0.01um (最小ステップサイズ)

< 1um

um単位の絶対精度:測定長/40+2.5

3,500g

5,000g

透過光用、反射光用、ハードネステスター用

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自動ステージの中で同じ条件の製品
特殊機能: 高分解能型

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使用用途

#検査測定 #位置決め #微細加工 #半導体製造 #光学調整 #レーザー加工 #顕微観察 #デバイス評価 #バイオ操作 #精密印刷

移動方式

電動 手動 空気浮上

駆動方式

ステッピングモータ式 サーボモータ式 ピエゾ駆動式 リニアモータ式 リニアガイド ボーデンケーブル ラックアンドピニオン ウォームギア リニアモーター 親ねじ DCモータ ステッピングモーター ボールねじ サーボ制御

移動軸構成

単軸 二軸 三軸 回転 傾斜

特殊機能

真空対応型 クリーンルーム対応型 高耐荷重型 高分解能型

移動範囲 mm

0 - 50 50 - 100 100 - 150 150 - 200 200 - 300 300 - 400 400 - 500 500 - 600

耐荷重 N

10 - 100 100 - 300 300 - 400 400 - 500

位置決め精度 μm

0 - 1 1 - 2 2 - 4 4 - 50 50 - 60

繰り返し精度 μm

0 - 1 1 - 10 10 - 11

ストローク mm

-50 - 0 0 - 100 100 - 200 200 - 300 300 - 500 500 - 800

ステージ高さ mm

0 - 50 50 - 100 100 - 150 150 - 200 200 - 300

動作温度 ℃

-10 - 0 0 - 10 10 - 30 30 - 40

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この商品の取り扱い会社情報

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会社概要

フォトニックインストゥルメンツ株式会社は2000年に設立された、レーザー顕微鏡製品等の光学機器、測定器、分析機器の輸入・製造・販売や、特注システムの製造販売およびソフトウェア開発を行う企業です。 ドイツ、カナダ、ア...

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  • 本社所在地: 神奈川県
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