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フローコントローラーのメーカー17社一覧や企業ランキングを掲載中！フローコントローラー関連企業の2025年9月注目ランキングは1位:東京計装株式会社、2位:SMC株式会社です。 フローコントローラーの概要、用途、原理もチェック！
フローコントローラーとは、液体や気体の流量を制御する装置です。
動作原理は制御弁方式、オリフィス方式、ロータリ式の3つがあり、それぞれ構造や制御精度に違いがあります。化学プラント、食品工場、医療機器、半導体製造装置、自動車、エネルギー設備など様々な場所で利用され、センサー、コントローラー、制御弁、アクチュエータなどで構成されています。
制御弁方式は、バルブの開閉度を変えて流量を制御し、シンプルで低コストながら精密な制御が難しい特徴があります。オリフィス方式は、流路にオリフィスを設置して流量を制限する方法で、構造がシンプルで低コストですが、流量変化への影響を受けやすいです。ロータリ式は回転体を利用して流量を制御し、精密な制御が可能ですが高価で構造が複雑です。
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項目別
使用用途
#半導体製造
#医療機器
#バイオプロセス
制御方式
機械式
電子式
マスフロー型
ボリューム型
対応流体
ガス用
液体用
混相流用
検出原理
差圧型
超音波型
構造形式
モジュール型
パネルマウント型
流量制御範囲 L/min
0 - 1
1 - 5
5 - 10
10 - 20
20 - 60
最高使用圧力 MPa
0 - 0.2
0.2 - 0.5
0.5 - 0.8
0.8 - 1
流量精度 %FS
0 - 1
1 - 2
2 - 3
3 - 5
接続口径 Rc
0 - 0.2
0.2 - 0.3
0.3 - 0.4
0.4 - 0.6
0.6 - 0.8
0.8 - 1
応答速度 秒
0 - 0.1
0.1 - 1
1 - 3
3 - 8
動作温度 ℃
-20 - 0
0 - 40
40 - 50
50 - 60
60 - 100
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