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シリーズ
バッチ式スパッタリング装置 SVシリーズ取扱企業
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| 商品画像 | 品番 | 価格 (税抜) | 標準排気系 | 到達圧力 | デポ方向 | 成膜エリア 均一性 静止 回転 | 基板加熱 | 制御系 |
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
|
|
SV-200 |
要見積もり |
8"クライオポンプ |
6.7e-5Pa |
サイド |
φ200mm ± 5% |
無し |
自動 |
