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バッチ式スパッタリング装置 SVシリーズ-SV-200
バッチ式スパッタリング装置 SVシリーズ-アルバック販売株式会社

バッチ式スパッタリング装置 SVシリーズ
アルバック販売株式会社

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■概要

SVシリーズは縦型のバッチ式スパッタリング装置です。 ディスクスタンパ専用のSV-200と基板を多量に処理可能なカルーセル型があります。

■用途

各種基板上への電極膜成膜、絶縁膜、誘電体膜成膜

■特長

・SV-4540、6040、9045はカルーセル型で基板仕込み量が多く、小〜中規模あるいは、少量多品種の生産に最適 ・SV-200 ディスクスタンパNi成膜に特化した装置、超小型、全自動、ハイスループットを実現

  • シリーズ

    バッチ式スパッタリング装置 SVシリーズ

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バッチ式スパッタリング装置 SVシリーズ 品番1件

商品画像 品番 価格 (税抜) 標準排気系 到達圧力 デポ方向 成膜エリア 均一性 静止 回転 基板加熱 制御系
バッチ式スパッタリング装置 SVシリーズ-品番-SV-200

SV-200

要見積もり

8"クライオポンプ

6.7e-5Pa

サイド

φ200mm ± 5%

無し

自動

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この商品の取り扱い会社情報

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会社概要

アルバック販売株式会社は、1970年に設立された、真空機器関連の専門商社です。 株式会社アルバック(神奈川県)のグループ会社の1社であり、アルバック社の真空機器の国内販売を担います。販売先は、大手メーカーや官公庁・大学...

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  • 本社所在地: 東京都
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