バッチ式スパッタリング装置 SVシリーズ
アルバック販売株式会社
この製品について
■概要
SVシリーズは縦型のバッチ式スパッタリング装置です。 ディスクスタンパ専用のSV-200と基板を多量に処理可能なカルーセル型があります。■用途
各種基板上への電極膜成膜、絶縁膜、誘電体膜成膜■特長
・SV-4540、6040、9045はカルーセル型で基板仕込み量が多く、小〜中規模あるいは、少量多品種の生産に最適 ・SV-200 ディスクスタンパNi成膜に特化した装置、超小型、全自動、ハイスループットを実現-
シリーズ
バッチ式スパッタリング装置 SVシリーズ
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取扱企業
アルバック販売株式会社
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バッチ式スパッタリング装置 SVシリーズ 品番1件
| 商品画像 | 品番 | 価格 (税抜) | 標準排気系 | 到達圧力 | デポ方向 | 成膜エリア 均一性 静止 回転 | 基板加熱 | 制御系 |
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SV-200 |
要見積もり | 8"クライオポンプ | 6.7e-5Pa | サイド | φ200mm ± 5% | 無し | 自動 |
のついている項目名や値は、Metoreeの自然言語処理アルゴリズムを用いて自動生成された値です。各メーカーの製品を横断して比較しやすくするための参考としてご利用ください。自動生成データは黒色の文字、元データは灰色の文字です。
