スパッタリング装置 SMDシリーズ
アルバック販売株式会社
この製品について
■概要
SMDシリーズは金属膜、ITO、IGZO、誘電体膜等を成膜する枚葉式スパッタリング装置です。SMDシリーズだけで1000台をこえる豊富な納入実績を持ち、様々な生産環境下で稼動しております。生産現場から寄せられる生の声をタイムリーに反映しその信頼性を更に向上させています。■用途
・カラーフィルター ・ディスプレイ (TFT、スマートフォン、薄型テレビ (2K、4K) 、OLED)■特長
・基板のみの搬送及びサイドデポ方式による低パーティクル ・省スペース設計 ・成膜条件など基板個別管理が容易 ・成膜物質に応じたカソードラインナップ ・豊富な経験・データに支えられた、広汎な成膜プロセス対応-
シリーズ
スパッタリング装置 SMDシリーズ
-
取扱企業
アルバック販売株式会社
-
カテゴリ
スパッタリング装置注目ランキング
もっと見る
スパッタリング装置の製品52点中、注目ランキング上位6点
電話番号不要
何社からも電話が来る心配はありません
まとめて見積もり
複数社に同じ内容の記入は不要です
返答率96%以上
96%以上の方が返答を受け取っています
スパッタリング装置 SMDシリーズ 品番1件
| 商品画像 | 品番 | 価格 (税抜) | 型式 | タイプ | 基板サイズ (mm) | 仕込／取出室 | 加熱室 | 搬送室 | スパッタ室 | 高真空排気系 | 基板移載システム |
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
|
|
SMD-950X |
要見積もり | G4.5 | X-type | 730X920 | 2 | 1 | 1 | 2 (Up to 3 cathodes) | クライオポンプ or ターボ分子ポンプ | 1 or 2段アーム |
のついている項目名や値は、Metoreeの自然言語処理アルゴリズムを用いて自動生成された値です。各メーカーの製品を横断して比較しやすくするための参考としてご利用ください。自動生成データは黒色の文字、元データは灰色の文字です。
