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シリーズ
スパッタリング装置 SMDシリーズ取扱企業
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| 商品画像 | 品番 | 価格 (税抜) | 型式 | タイプ | 基板サイズ (mm) | 仕込／取出室 | 加熱室 | 搬送室 | スパッタ室 | 高真空排気系 | 基板移載システム |
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
|
|
SMD-950X |
要見積もり |
G4.5 |
X-type |
730X920 |
2 |
1 |
1 |
2 (Up to 3 cathodes) |
クライオポンプ or ターボ分子ポンプ |
1 or 2段アーム |
