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ソース 帯電防止用電子銃 FS40A1-FS40A1
ソース 帯電防止用電子銃 FS40A1-北野精機株式会社

ソース 帯電防止用電子銃 FS40A1
北野精機株式会社

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この製品について

■概要

FS40A1はXPS、UPS、SIMSに用いる帯電防止用電子銃として開発されました。簡便性、容易性、信頼性をコンセプトに設計されています。アプリケーションに合わせて電子ビームエネルギーが選択できます。

■特徴

・簡便性、容易性、信頼性を基本に設計 ・電子ビームエネルギーの選択 (0～10、10～500eV) が可能 ・完全プログラム制御

  • シリーズ

    ソース 帯電防止用電子銃 FS40A1

  • 利用シーン

    電子・電気機器業界用

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ソース 帯電防止用電子銃 FS40A1 品番1件

商品画像 品番 価格 (税抜) エネルギー範囲 電流値 (試料上) 真空内ソース長 取付フランジ ワーキング距離 ベイク温度
ソース 帯電防止用電子銃 FS40A1-品番-FS40A1

FS40A1

要見積もり

0~10および10~500keV

0~100μA

145mm

DN40CF

41mm

250℃

フィルターから探す

スパッタリング装置をフィルターから探すことができます

処理基板 mm

20 - 50 50 - 100 100 - 150 150 - 200 200 - 300 300 - 700

スパッタ方向

アップ ダウン

装置構成

エッチング室 カセット室 スパッタ室 搬送室 ロードロック室 クラスター式 インライン式 ロードロック式 トレイ搬送方式

基板加熱 ℃

100 - 200 200 - 300 300 - 400 400 - 500 500 - 800

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