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ソース 走査型電子銃 ES40C1-ES40C1
ソース 走査型電子銃 ES40C1-北野精機株式会社

ソース 走査型電子銃 ES40C1
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この製品について

■概要

ES40C1電子銃はオジェー電子分光用に開発された走査型の電子銃です。アインツェルレンズを採用することによって高い電子ビームエネルギーから低い電子ビームエネルギーまで広範囲の電子ビームエネルギーに渡って大きなビーム電流が得られます。

■特徴

・高信頼性、安定性、簡易性を基本に設計 ・取付フランジがICF70 (外径70mm) と簡便な設計 ・完全プログラム制御

  • シリーズ

    ソース 走査型電子銃 ES40C1

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ソース 走査型電子銃 ES40C1 品番1件

商品画像 品番 価格 (税抜) エネルギー範囲 電流値 (試料上) 走査範囲 (試料上) 真空内ソース長 取付フランジ ワーキング距離 ベイク温度
ソース 走査型電子銃 ES40C1-品番-ES40C1

ES40C1

要見積もり

0~5keV

~100μA

10×10mm

外径：34.5mm
長さ：155mm (最短)

DN40CF

32mm

250℃

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スパッタリング装置をフィルターから探すことができます

処理基板 mm

20 - 50 50 - 100 100 - 150 150 - 200 200 - 300 300 - 700

スパッタ方向

アップ ダウン

装置構成

エッチング室 カセット室 スパッタ室 搬送室 ロードロック室 クラスター式 インライン式 ロードロック式 トレイ搬送方式

基板加熱 ℃

100 - 200 200 - 300 300 - 400 400 - 500 500 - 800

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