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ソース 超高真空対応マグネトロン-DCスパッタソース
ソース 超高真空対応マグネトロン-北野精機株式会社

ソース 超高真空対応マグネトロン
北野精機株式会社

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この製品について

■概要

本スパッタソースは超高真空対応の汎用型小型マグネトロンスパッタソースです。本体がすべてベーカブルであるため、反応性の高いターゲットでも、不純物の少ない成膜が可能です。

■特徴

・Oリングを使用しない超高真空タイプ ・スパッタソースを超高真空に保持したまま、マグネットの取り外しが可能 ・マグネットを取り外すことにより、300℃までのベーキングが可能 ・ターゲットの固定はリテイナーで行われ、ターゲットを短時間で交換可能 ・ガス導入口が取付フランジと一体となっているので、ガス導入用のフランジは不要

  • シリーズ

    ソース 超高真空対応マグネトロン

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ソース 超高真空対応マグネトロン 品番1件

商品画像 品番 価格 (税抜) 取付フランジ ターゲットサイズ ターゲット固定 マグネット材質 ベーキング温度
ソース 超高真空対応マグネトロン-品番-DCスパッタソース

DCスパッタソース

要見積もり

ICF-152

1.5inch (円形)

リテイナー式

SmCo

300℃

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スパッタリング装置をフィルターから探すことができます

処理基板 mm

20 - 50 50 - 100 100 - 150 150 - 200 200 - 300 300 - 700

スパッタ方向

アップ ダウン

装置構成

エッチング室 カセット室 スパッタ室 搬送室 ロードロック室 クラスター式 インライン式 ロードロック式 トレイ搬送方式

基板加熱 ℃

100 - 200 200 - 300 300 - 400 400 - 500 500 - 800

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