ソース 超高真空対応マグネトロン
北野精機株式会社
この製品について
■概要
本スパッタソースは超高真空対応の汎用型小型マグネトロンスパッタソースです。本体がすべてベーカブルであるため、反応性の高いターゲットでも、不純物の少ない成膜が可能です。■特徴
・Oリングを使用しない超高真空タイプ ・スパッタソースを超高真空に保持したまま、マグネットの取り外しが可能 ・マグネットを取り外すことにより、300℃までのベーキングが可能 ・ターゲットの固定はリテイナーで行われ、ターゲットを短時間で交換可能 ・ガス導入口が取付フランジと一体となっているので、ガス導入用のフランジは不要-
シリーズ
ソース 超高真空対応マグネトロン
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取扱企業
北野精機株式会社
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ソース 超高真空対応マグネトロン 品番1件
| 商品画像 | 品番 | 価格 (税抜) | 取付フランジ | ターゲットサイズ | ターゲット固定 | マグネット材質 | ベーキング温度 |
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DCスパッタソース |
要見積もり | ICF-152 | 1.5inch (円形) | リテイナー式 | SmCo | 300℃ |
のついている項目名や値は、Metoreeの自然言語処理アルゴリズムを用いて自動生成された値です。各メーカーの製品を横断して比較しやすくするための参考としてご利用ください。自動生成データは黒色の文字、元データは灰色の文字です。
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- 本社所在地: 東京都