研究開発用小型スパッタ装置 FDS/FRS Series
株式会社FKDファクトリ
この製品について
■拡張オプション
・2源仕様マグネトロンカソード追加 ・高真空仕様 (ターボ分子ポンプ追加) ・反応性スパッタ仕様 (マスフローコントローラー追加) ・RFスパッタ仕様 (RF電源：オートマッチング 追加)-
シリーズ
研究開発用小型スパッタ装置 FDS/FRS Series
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取扱企業
株式会社FKDファクトリ
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研究開発用小型スパッタ装置 FDS/FRS Series 品番1件
| 商品画像 | 品番 | 価格 (税抜) | スパッタ方式 | スパッタ電源 | カソード | ターゲット | 真空排気系 | 真空計 | 試料サイズ | ガス流量調整 | ガス導入 | 予備ポート | 外形寸法 | 設置タイプ | 使用電源 | 2源仕様マグネトロンカソード追加 型式 | 2源仕様マグネトロンカソード追加 仕様 | 高真空仕様 (ターボ分子ポンプ追加) 型式 | 高真空仕様 (ターボ分子ポンプ追加) 排気速度 | 高真空仕様 (ターボ分子ポンプ追加) 到達圧力 | 高真空仕様 (ターボ分子ポンプ追加) 真空計 | 高真空仕様 (ターボ分子ポンプ追加) ガス圧力調整 | 反応性スパッタ仕様追加 型式 | 反応性スパッタ仕様追加 ガス種 | 反応性スパッタ仕様追加 流量 | RFスパッタ仕様追加 型式 | RFスパッタ仕様追加 発振周波数 |
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FDS/FRS Series |
要見積もり | DCマグネトロンスパッタ/デポアップ | DC500V/0.8A | Φ2インチ/マグネトロンカソード | Au/Ag/Pt/Pd/Ni/Cu/W/Cr/Ti/Ta/Mo/etc. | ロータリーポンプ 162L/min | ピラニゲージ/5.0×10^-2Pa~1.0×10^5Pa | 最大Φ2インチ/小片試料対応可能 | アルゴン用MFC/20sccm | 1/4インチSwagelok | NW40×2 | W480×D510×H440mm※突起部は含まず | 卓上型 | AC100V/15A 1系統 | OS-2CS | 2源スパッタ化 | OS-HVS | 35L/s | ≦5×10-4Pa | フルレンジゲージ | バタフライバルブ | OS-AGS | O2またはN2 | 5sccm | OS-RFS | 13.56MHz |
のついている項目名や値は、Metoreeの自然言語処理アルゴリズムを用いて自動生成された値です。各メーカーの製品を横断して比較しやすくするための参考としてご利用ください。自動生成データは黒色の文字、元データは灰色の文字です。
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