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研究開発用小型スパッタ装置 FDS/FRS Series取扱企業
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商品画像 | 品番 | 価格 (税抜) | スパッタ方式 | スパッタ電源 | カソード | ターゲット | 真空排気系 | 真空計 | 試料サイズ | ガス流量調整 | ガス導入 | 予備ポート | 外形寸法 | 設置タイプ | 使用電源 | 2源仕様マグネトロンカソード追加 型式 | 2源仕様マグネトロンカソード追加 仕様 | 高真空仕様 (ターボ分子ポンプ追加) 型式 | 高真空仕様 (ターボ分子ポンプ追加) 排気速度 | 高真空仕様 (ターボ分子ポンプ追加) 到達圧力 | 高真空仕様 (ターボ分子ポンプ追加) 真空計 | 高真空仕様 (ターボ分子ポンプ追加) ガス圧力調整 | 反応性スパッタ仕様追加 型式 | 反応性スパッタ仕様追加 ガス種 | 反応性スパッタ仕様追加 流量 | RFスパッタ仕様追加 型式 | RFスパッタ仕様追加 発振周波数 |
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FDS/FRS Series |
要見積もり |
DCマグネトロンスパッタ/デポアップ |
DC500V/0.8A |
Φ2インチ/マグネトロンカソード |
Au/Ag/Pt/Pd/Ni/Cu/W/Cr/Ti/Ta/Mo/etc. |
ロータリーポンプ 162L/min |
ピラニゲージ/5.0×10^-2Pa~1.0×10^5Pa |
最大Φ2インチ/小片試料対応可能 |
アルゴン用MFC/20sccm |
1/4インチSwagelok |
NW40×2 |
W480×D510×H440mm※突起部は含まず |
卓上型 |
AC100V/15A 1系統 |
OS-2CS |
2源スパッタ化 |
OS-HVS |
35L/s |
≦5×10-4Pa |
フルレンジゲージ |
バタフライバルブ |
OS-AGS |
O2またはN2 |
5sccm |
OS-RFS |
13.56MHz |