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研究開発用小型スパッタ装置 FDS/FRS Series-FDS/FRS Series
研究開発用小型スパッタ装置 FDS/FRS Series-株式会社FKDファクトリ

研究開発用小型スパッタ装置 FDS/FRS Series
株式会社FKDファクトリ



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この製品について

基本仕様:DC1源スパッタ

■拡張オプション

・2源仕様マグネトロンカソード追加 ・高真空仕様 (ターボ分子ポンプ追加) ・反応性スパッタ仕様 (マスフローコントローラー追加) ・RFスパッタ仕様 (RF電源:オートマッチング 追加)

  • シリーズ

    研究開発用小型スパッタ装置 FDS/FRS Series

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研究開発用小型スパッタ装置 FDS/FRS Series 品番1件

商品画像 品番 価格 (税抜) スパッタ方式 スパッタ電源 カソード ターゲット 真空排気系 真空計 試料サイズ ガス流量調整 ガス導入 予備ポート 外形寸法 設置タイプ 使用電源 2源仕様マグネトロンカソード追加 型式 2源仕様マグネトロンカソード追加 仕様 高真空仕様 (ターボ分子ポンプ追加) 型式 高真空仕様 (ターボ分子ポンプ追加) 排気速度 高真空仕様 (ターボ分子ポンプ追加) 到達圧力 高真空仕様 (ターボ分子ポンプ追加) 真空計 高真空仕様 (ターボ分子ポンプ追加) ガス圧力調整 反応性スパッタ仕様追加 型式 反応性スパッタ仕様追加 ガス種 反応性スパッタ仕様追加 流量 RFスパッタ仕様追加 型式 RFスパッタ仕様追加 発振周波数
研究開発用小型スパッタ装置 FDS/FRS Series-品番-FDS/FRS Series

FDS/FRS Series

要見積もり

DCマグネトロンスパッタ/デポアップ

DC500V/0.8A

Φ2インチ/マグネトロンカソード

Au/Ag/Pt/Pd/Ni/Cu/W/Cr/Ti/Ta/Mo/etc.

ロータリーポンプ 162L/min

ピラニゲージ/5.0×10^-2Pa~1.0×10^5Pa

最大Φ2インチ/小片試料対応可能

アルゴン用MFC/20sccm

1/4インチSwagelok

NW40×2

W480×D510×H440mm※突起部は含まず

卓上型

AC100V/15A 1系統

OS-2CS

2源スパッタ化

OS-HVS

35L/s

≦5×10-4Pa

フルレンジゲージ

バタフライバルブ

OS-AGS

O2またはN2

5sccm

OS-RFS

13.56MHz

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