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シリーズ
デスクトップ型スパッタ装置カテゴリ
| 商品画像 | 品番 | 価格 (税抜) | 対応基板 | 基板加熱 | 制御 | ポンプ | 搭載可能カソード | 使用電源種 | ガス |
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
|
|
デスクトップ型スパッタ装置 |
要見積もり |
4インチ径まで |
600℃まで |
カラータッチパネルPLC |
低真空9m3/h、高真空75L/s |
2インチ×2ソース |
DCまたはRF |
3MFC (Ar､O2､N2等) |
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スパッタリング装置の製品119点中、注目ランキング上位6点
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スパッタリング装置をフィルターから探すことができます
使用用途
#MEMS #ガラス基板 #研究開発 #光学 #絶縁膜 #電子顕微鏡 #電子部品 #導電膜 #半導体 #量産スパッタ方式
DCスパッタ型 RFスパッタ型 マグネトロンスパッタ型 グロー放電スパッタ型成膜環境
高真空型 中真空型ターゲット構成
単一ターゲット型 多元ターゲット型 ロータリターゲット型対象搬送方式
静止基板型 回転基板型 スルーフィード型処理基板 mm
20 - 50 50 - 100 100 - 150 150 - 200 200 - 300 300 - 700スパッタ方向
アップ ダウン装置構成
エッチング室 カセット室 スパッタ室 搬送室 ロードロック室基板加熱 ℃
100 - 200 200 - 300 300 - 400 400 - 500 500 - 800
