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枚葉式スパッタリング装置 SPM Series-SPM Series
枚葉式スパッタリング装置 SPM Series-株式会社昭和真空

枚葉式スパッタリング装置 SPM Series
株式会社昭和真空



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この製品について

枚葉式の大型スパッタリング装置

■用途・応用例

各種ウエハ電子部品へのメタル成膜

■特長

・φ8インチウエハ対応が可能です。 ・スパッタUP方式により基板へのコンタミネーション低減を図っています。 ・カセットtoカセットによる連続運転が可能で、量産装置として適しています。

■オプション

エッチング室 (クリーニング室) 、加熱室

  • シリーズ

    枚葉式スパッタリング装置 SPM Series

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最新の閲覧: 36分前


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枚葉式スパッタリング装置 SPM Series 品番1件

商品画像 品番 価格 (税抜) 排気ポンプ 設置寸法 重量 電源容量
枚葉式スパッタリング装置 SPM Series-品番-SPM Series

SPM Series

要見積もり

DRP+CRYO、TMP

W5,800mm×D3,700mm×H2,550mm

6,000kg

AC200V (3φ) /69kVA (199A)

フィルターから探す

スパッタリング装置をフィルターから探すことができます

使用用途

#MEMS #ガラス基板 #研究開発 #光学 #絶縁膜 #電子顕微鏡 #電子部品 #導電膜 #半導体 #量産

処理基板 mm

20 - 50 50 - 100 100 - 150 150 - 200 200 - 300 300 - 700

スパッタ方向

アップ ダウン

装置構成

エッチング室 カセット室 スパッタ室 搬送室 ロードロック室

基板加熱 ℃

100 - 200 200 - 300 300 - 400 400 - 500 500 - 800

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この商品の取り扱い会社情報

会社概要

株式会社昭和真空は、1958年に設立された、真空関連装置メーカーです。 2000年にはJASDAQ上場(現在は東証スタンダード市場)を果たします。 真空技術を中心とした、装置製造を軸としており、全て受注生産であることが...

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  • 本社所在地: 神奈川県

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