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低圧RFスパッタ装置 HVS-02取扱企業
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| 商品画像 | 品番 | 価格 (税抜) | 到達圧力 | 基板サイズ | 加熱方式 | 加熱温度 | 基板回転機構 | Z軸移動機構 | 低圧RFスパッタガン ターゲットサイズ | RF制御電源 | 投入室 到達圧力 | 投入室 基板搬送 |
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
|
|
HVS-02 |
要見積もり |
6.5×10^-6Pa |
Φ2インチ×1枚 |
基板加熱方式 |
MAX.700℃ |
Max.20rpm |
±20mm |
2インチ 回転シャッター機構 |
300W、13.56MHz、オートチューニング式 |
6.5×10^-5Pa |
手動トランスファーロッド方式 |
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