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光学部品用スパッタリング装置 CCS-1300 / 2110 / 2800-CCS-1300
光学部品用スパッタリング装置 CCS-1300 / 2110 / 2800-芝浦メカトロニクス株式会社

光学部品用スパッタリング装置 CCS-1300 / 2110 / 2800
芝浦メカトロニクス株式会社

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この製品について

■真空技術を応用した成膜装置を幅広い分野にご提供

電子部品をはじめ、各種デバイス、光学、自動車部品などの研究開発から量産まで幅広い分野に向けたスパッタリング装置を製造しています。

■光学膜成膜に最適、低温にて連続多層成膜が可能

回転成膜方式により、パッケージへの熱ダメージを解消しました。ワーク全面への成膜に対応し、外部との自動化ラインの構築が容易です。

■応用例

・カバーガラス用ARコート (スマートフォン用/車載ディスプレイ用) ・HUD用増反射ミラー ・薄膜多層部品

■特長

・後酸化方式を採用し低温成膜が可能 ・高生産性 ・多品種対応 ・高均一性 ・高品質 ・自動化ラインの構築が容易 ・膜厚モニタ (オプション)

  • シリーズ

    光学部品用スパッタリング装置 CCS-1300 / 2110 / 2800

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光学部品用スパッタリング装置 CCS-1300 / 2110 / 2800 品番1件

商品画像 品番 価格 (税抜)
光学部品用スパッタリング装置 CCS-1300 / 2110 / 2800-品番-CCS-1300

CCS-1300

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使用用途

#MEMS #ガラス基板 #研究開発 #光学 #絶縁膜 #電子顕微鏡 #電子部品 #導電膜 #半導体 #量産

処理基板 mm

20 - 50 50 - 100 100 - 150 150 - 200 200 - 300 300 - 700

スパッタ方向

アップ ダウン

装置構成

エッチング室 カセット室 スパッタ室 搬送室 ロードロック室

基板加熱 ℃

100 - 200 200 - 300 300 - 400 400 - 500 500 - 800

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この商品の取り扱い会社情報

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会社概要

芝浦メカトロニクス株式会社は、神奈川県横浜市に本社を置く、半導体、フラットパネルディスプレイ、電子部品などの用途を対象にした、製造装置の開発・製造及びサービスを行っている会社です。

前工程から後工程まで...

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  • 本社所在地: 神奈川県
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