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装飾部品用スパッタリング装置 S-1000、BM-700 / 900-S-1000
装飾部品用スパッタリング装置 S-1000、BM-700 / 900-芝浦メカトロニクス株式会社

装飾部品用スパッタリング装置 S-1000、BM-700 / 900
芝浦メカトロニクス株式会社

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この製品について

■真空技術を応用した成膜装置を幅広い分野にご提供

電子部品をはじめ、各種デバイス、光学、自動車部品などの研究開発から量産まで幅広い分野に向けたスパッタリング装置を製造しています。

■ガラスやプラスチック、金属などの材料の上に薄膜形成が可能

用途やワークサイズ別にラインナップ。自動化が容易で歩留まりと生産性が向上します。

■応用例

・光ディスク ・自動車内外装部品 ・医療用バイオチップ

■特長

・省スペース、高スループット ・スパッタダウン方式で、基板 (ワーク) 搭載容易 ・短時間のメンテナンス (ターゲット、防着板交換)

  • シリーズ

    装飾部品用スパッタリング装置 S-1000、BM-700 / 900

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装飾部品用スパッタリング装置 S-1000、BM-700 / 900 品番1件

商品画像 品番 価格 (税抜)
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S-1000

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スパッタリング装置をフィルターから探すことができます

処理基板 mm

20 - 50 50 - 100 100 - 150 150 - 200 200 - 300 300 - 700

スパッタ方向

アップ ダウン

装置構成

エッチング室 カセット室 スパッタ室 搬送室 ロードロック室

基板加熱 ℃

100 - 200 200 - 300 300 - 400 400 - 500 500 - 800

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この商品の取り扱い会社情報

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会社概要

芝浦メカトロニクス株式会社は、神奈川県横浜市に本社を置く、半導体、フラットパネルディスプレイ、電子部品などの用途を対象にした、製造装置の開発・製造及びサービスを行っている会社です。

前工程から後工程まで...

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  • 本社所在地: 神奈川県
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