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巻取式スパッタリング装置 SPWシリーズ-アルバック販売株式会社

SPW-030 | 巻取式スパッタリング装置 SPWシリーズ
アルバック販売株式会社

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この製品について

■概要

SPWシリーズは、プラスチックフィルム上に、光学膜やメタル等の多層成膜をすることが出来る巻取式スパッタリング装置です。成膜室間で雰囲気分離を施し、高機能多層膜を一括成膜可能です。

■用途

・タッチパネル用配線膜、透明導電膜およびインビジブル膜他 ・FPC用電極膜

■特長

・プロセスや生産性に応じてモジュールの選択が可能 ・モジュールを任意に選択・追加することで様々な用途に応用可能 ・装置操作はフロアレベルで可能 ・優れた雰囲気分離性能と成膜プロセスの改善で高品位な膜のハイレート成膜が可能

  • 型番

    SPW-030

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使用用途

#MEMS #ガラス基板 #研究開発 #光学 #絶縁膜 #電子顕微鏡 #電子部品 #導電膜 #半導体 #量産

処理基板 mm

20 - 50 50 - 100 100 - 150 150 - 200 200 - 300 300 - 700

スパッタ方向

アップ ダウン

装置構成

エッチング室 カセット室 スパッタ室 搬送室 ロードロック室

基板加熱 ℃

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アルバック販売株式会社は、1970年に設立された、真空機器関連の専門商社です。 株式会社アルバック（神奈川県）のグループ会社の1社であり、アルバック社の真空機器の国内販売を担います。販売先は、大手メーカーや官公庁・大学...

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