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DCパルススパッタ装置-株式会社MPS

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この製品について

■概要

メタル膜成膜用のスパッタ装置です。4インチの円形マグネトロンカソードを最大4個搭載可能です。本装置はアンバランスドマグネトロン、強磁場バランスドマグネトロン、可変磁場マグネトロンを備えています。 実験用スパッタ装置はお客様の要求性能、ご予算に合わせた最適な装置をご提案いたします。ご予算により、ご支給品、中古品などの使用も可能です。

  • 型番

    DCパルススパッタ装置

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使用用途

#MEMS #ガラス基板 #研究開発 #光学 #絶縁膜 #電子顕微鏡 #電子部品 #導電膜 #半導体 #量産

処理基板 mm

20 - 50 50 - 100 100 - 150 150 - 200 200 - 300 300 - 700

スパッタ方向

アップ ダウン

装置構成

エッチング室 カセット室 スパッタ室 搬送室 ロードロック室

基板加熱 ℃

100 - 200 200 - 300 300 - 400 400 - 500 500 - 800

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会社概要

株式会社MPSは、2004年に設立した、電子ビーム溶接をはじめとする真空機器の製造・販売をしている会社です。 主な事業内容は、電子ビーム溶接機、成膜装置、真空装置用コンポーネントの製造・販売になります。 真空機器や溶接...

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  • 本社所在地: 千葉県

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