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スパッタ方式
DCマグネトロンスパッタ/デポアップ
スパッタ電源
DC500V/0.8A
カソード
Φ2インチ/マグネトロンカソード
ターゲット
Au/Ag/Pt/Pd/Ni/Cu/W/Cr/Ti/Ta/Mo/etc.
真空排気系
ロータリーポンプ 162L/min
真空計
ピラニゲージ/5.0×10^-2Pa~1.0×10^5Pa
試料サイズ
最大Φ2インチ/小片試料対応可能
ガス流量調整
アルゴン用MFC/20sccm
ガス導入
1/4インチSwagelok
予備ポート
NW40×2
外形寸法
W480×D510×H440mm※突起部は含まず
設置タイプ
卓上型
使用電源
AC100V/15A 1系統
2源仕様マグネトロンカソード追加 型式
OS-2CS
2源仕様マグネトロンカソード追加 仕様
2源スパッタ化
高真空仕様 (ターボ分子ポンプ追加) 型式
OS-HVS
高真空仕様 (ターボ分子ポンプ追加) 排気速度
35L/s
高真空仕様 (ターボ分子ポンプ追加) 到達圧力
≦5×10-4Pa
高真空仕様 (ターボ分子ポンプ追加) 真空計
フルレンジゲージ
高真空仕様 (ターボ分子ポンプ追加) ガス圧力調整
バタフライバルブ
反応性スパッタ仕様追加 型式
OS-AGS
反応性スパッタ仕様追加 ガス種
O2またはN2
反応性スパッタ仕様追加 流量
5sccm
RFスパッタ仕様追加 型式
OS-RFS
RFスパッタ仕様追加 発振周波数
13.56MHz
型番
FDS/FRS Series取扱企業
株式会社FKDファクトリカテゴリ
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スパッタリング装置の製品102点中、注目ランキング上位6点
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| 商品画像 | 価格 (税抜) | スパッタ方式 | スパッタ電源 | カソード | ターゲット | 真空排気系 | 真空計 | 試料サイズ | ガス流量調整 | ガス導入 | 予備ポート | 外形寸法 | 設置タイプ | 使用電源 | 2源仕様マグネトロンカソード追加 型式 | 2源仕様マグネトロンカソード追加 仕様 | 高真空仕様 (ターボ分子ポンプ追加) 型式 | 高真空仕様 (ターボ分子ポンプ追加) 排気速度 | 高真空仕様 (ターボ分子ポンプ追加) 到達圧力 | 高真空仕様 (ターボ分子ポンプ追加) 真空計 | 高真空仕様 (ターボ分子ポンプ追加) ガス圧力調整 | 反応性スパッタ仕様追加 型式 | 反応性スパッタ仕様追加 ガス種 | 反応性スパッタ仕様追加 流量 | RFスパッタ仕様追加 型式 | RFスパッタ仕様追加 発振周波数 |
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要見積もり | DCマグネトロンスパッタ/デポアップ | DC500V/0.8A | Φ2インチ/マグネトロンカソード | Au/Ag/Pt/Pd/Ni/Cu/W/Cr/Ti/Ta/Mo/etc. | ロータリーポンプ 162L/min | ピラニゲージ/5.0×10^-2Pa~1.0×10^5Pa | 最大Φ2インチ/小片試料対応可能 | アルゴン用MFC/20sccm | 1/4インチSwagelok | NW40×2 | W480×D510×H440mm※突起部は含まず | 卓上型 | AC100V/15A 1系統 | OS-2CS | 2源スパッタ化 | OS-HVS | 35L/s | ≦5×10-4Pa | フルレンジゲージ | バタフライバルブ | OS-AGS | O2またはN2 | 5sccm | OS-RFS | 13.56MHz |
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