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項目別

処理基板 mm

50 - 100 100 - 150 150 - 200

基板加熱 ℃

400 - 500 500 - 800

使用用途

研究開発

テルモセラ・ジャパンのスパッタリング装置

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1 点の製品

テルモセラ・ジャパン株式会社

MiniLab series フレキシブル薄膜実験装置

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■MiniLab ʻPlug & Playʼ 感覚でコンポーネントを組合せるモジュラーデザイン。必要な成膜条件を満たす専用機のセミカスタムメイドが可能...


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