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処理基板 mm

50 - 100 100 - 150 150 - 200

基板加熱 ℃

400 - 500 500 - 800

テルモセラ・ジャパンのスパッタリング装置

4 点の製品がみつかりました

4 点の製品

テルモセラ・ジャパン株式会社

MiniLab series フレキシブル薄膜実験装置

80人以上が見ています

最新の閲覧: 21時間前

■MiniLab ʻPlug & Playʼ 感覚でコンポーネントを組合せるモジュラーデザイン。必要な成膜条件を満たす専用機のセミカスタムメイドが可能なフレキシブル薄膜実...


テルモセラ・ジャパン株式会社

【MiniLab-GB】 グローブボックス薄膜実験装置 MiniLab-026-GB

60人以上が見ています

最新の閲覧: 1日前

■概要 本装置は、MiniLab シリーズのチャンバー部をグローブボックス作業ベンチ内に、制御ラック部をベンチ下に収納した装置です。スパッタ・真空蒸着などの...


テルモセラ・ジャパン株式会社

nano Benchtop series コンパクト薄膜実験装置 nanoシリーズ

60人以上が見ています

最新の閲覧: 11時間前

特徴 ■高品質膜 研究開発の現場で求められる均一性の高い「高品質」な薄膜を作成するための様々な条件を揃えます。nanoシリーズは魂魄とボディに機能を凝縮し...


テルモセラ・ジャパン株式会社

蒸着・スパッタソース混在【複合型成膜装置】nanoPVD-ST15A

40人以上が見ています

■概要 nano benchtop シリーズのラインナップに新たに加わった「蒸着」「スパッタ」混在型、” 3-in-1” マルチ薄膜実験装置 小型チャンバー内にマグネトロンス...


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