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電動アクチュエータ 精密ステージシリーズ くさび構造昇降ステージ KZ-KZ15F-010 / 10
電動アクチュエータ 精密ステージシリーズ くさび構造昇降ステージ KZ-THK株式会社

電動アクチュエータ 精密ステージシリーズ くさび構造昇降ステージ KZ
THK株式会社

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この製品について

■精密ステージシリーズ くさび構造昇降ステージ KZ

くさび構造を採用したコンパクト・高剛性昇降ステージです。

■コンパクト設計

モータ・ボールねじの水平配置により、1軸ステージの縦使い昇降機構に比べ、高さ寸法が極めてコンパクトな構造を実現しました。

■最大可搬質量80kg

80kg搭載時でも精密な位置決めが可能です。 (KZ15Fのみ)

■容易な据付

ベースの据付部が水平のため、縦使い昇降機構で必要だったイケールが不要になります。ステージを吊り上げながらの設置が不要となり、安全な据付作業が可能です。

■高推力、高分解能

くさび構造が減速機構となるため、高推力・高分解能が実現可能です。 (減速比1:2)

■主な用途

・電子デバイス組立、貼り合わせ機構 ・電子デバイスのナノインプリント工程 ・光学レンズ、カメラのアライメント機構 ・プローバー検査装置 ・レーザ加工機用ワーク昇降機構

  • シリーズ

    電動アクチュエータ 精密ステージシリーズ くさび構造昇降ステージ KZ

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商品画像 品番 価格 (税抜)
電動アクチュエータ 精密ステージシリーズ くさび構造昇降ステージ KZ-品番-KZ15F-010 / 10

KZ15F-010 / 10

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移動方式: 電動

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使用用途

#検査測定 #位置決め #微細加工 #半導体製造 #光学調整 #レーザー加工 #顕微観察 #デバイス評価 #バイオ操作 #精密印刷

移動方式

電動 手動 空気浮上

駆動方式

ステッピングモータ式 サーボモータ式 ピエゾ駆動式 リニアモータ式 リニアガイド ボーデンケーブル ラックアンドピニオン ウォームギア リニアモーター 親ねじ DCモータ ステッピングモーター ボールねじ サーボ制御

移動軸構成

単軸 二軸 三軸 回転 傾斜

特殊機能

真空対応型 クリーンルーム対応型 高耐荷重型 高分解能型

移動範囲 mm

0 - 50 50 - 100 100 - 150 150 - 200 200 - 300 300 - 400 400 - 500 500 - 600

耐荷重 N

10 - 100 100 - 300 300 - 400 400 - 500

位置決め精度 μm

0 - 1 1 - 2 2 - 4 4 - 50 50 - 60

繰り返し精度 μm

0 - 1 1 - 10 10 - 11

ストローク mm

-50 - 0 0 - 100 100 - 200 200 - 300 300 - 500 500 - 800

ステージ高さ mm

0 - 50 50 - 100 100 - 150 150 - 200 200 - 300

動作温度 ℃

-10 - 0 0 - 10 10 - 30 30 - 40

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この商品の取り扱い会社情報

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会社概要

THK株式会社は1971年に設立された機械要素部品の開発・製造・販売を行う金属加工メーカーです。 主力製品である「LMガイド」は世界で初めて直線運動部の転がり化を実用化した製品で、機械の高精度化・省力化・高速化・長寿命...

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  • 本社所在地: 東京都
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