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自動・手動ステージ/XY Stage ロング摺動ステージ FXYシリーズ-FXY
自動・手動ステージ/XY Stage ロング摺動ステージ FXYシリーズ-株式会社MSAファクトリー

自動・手動ステージ/XY Stage ロング摺動ステージ FXYシリーズ
株式会社MSAファクトリー

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この製品について

■ロングストローク・フリースライド

長いストロークをフリーにスライドさせるアプリケーション用ステージ

■多軸ステージのベース駆動

微動/XYステージ、θステージ、Zステージなどと組み合わせて構成すると、多軸ステージとして、機能性が充実いたします。

■ロック機能

大きくスライド位置調整後は、ロック機能を使用して、粗動移動をロック (固定) し、微動ステージでの位置調整が行えます。

  • シリーズ

    自動・手動ステージ/XY Stage ロング摺動ステージ FXYシリーズ

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自動・手動ステージ/XY Stage ロング摺動ステージ FXYシリーズ 品番1件

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商品画像 品番 価格 (税抜)
自動・手動ステージ/XY Stage ロング摺動ステージ FXYシリーズ-品番-FXY

FXY

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移動方式: 電動

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使用用途

#検査測定 #位置決め #微細加工 #半導体製造 #光学調整 #レーザー加工 #顕微観察 #デバイス評価 #バイオ操作 #精密印刷

移動方式

電動 手動 空気浮上

駆動方式

ステッピングモータ式 サーボモータ式 ピエゾ駆動式 リニアモータ式 リニアガイド ボーデンケーブル ラックアンドピニオン ウォームギア リニアモーター 親ねじ DCモータ ステッピングモーター ボールねじ サーボ制御

移動軸構成

単軸 二軸 三軸 回転 傾斜

特殊機能

真空対応型 クリーンルーム対応型 高耐荷重型 高分解能型

移動範囲 mm

0 - 50 50 - 100 100 - 150 150 - 200 200 - 300 300 - 400 400 - 500 500 - 600

耐荷重 N

10 - 100 100 - 300 300 - 400 400 - 500

位置決め精度 μm

0 - 1 1 - 2 2 - 4 4 - 50 50 - 60

繰り返し精度 μm

0 - 1 1 - 10 10 - 11

ストローク mm

-50 - 0 0 - 100 100 - 200 200 - 300 300 - 500 500 - 800

ステージ高さ mm

0 - 50 50 - 100 100 - 150 150 - 200 200 - 300

動作温度 ℃

-10 - 0 0 - 10 10 - 30 30 - 40

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この商品の取り扱い会社情報

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80.0時間

会社概要

株式会社MSAファクトリーは、工業用ホットプレートなどの生産・研究機器の開発・製造・販売を中心に手掛けている企業です。 2007年に設立され、当初は冶工具や加工部品の製作請負を行っていました。その後、加熱関係事業に参入...

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  • 本社所在地: 東京都
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