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巻取式スパッタリング装置 SPWシリーズ-SPW-030
巻取式スパッタリング装置 SPWシリーズ-アルバック販売株式会社

巻取式スパッタリング装置 SPWシリーズ
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■概要

SPWシリーズは、プラスチックフィルム上に、光学膜やメタル等の多層成膜をすることが出来る巻取式スパッタリング装置です。成膜室間で雰囲気分離を施し、高機能多層膜を一括成膜可能です。

■用途

・タッチパネル用配線膜、透明導電膜およびインビジブル膜他 ・FPC用電極膜

■特長

・プロセスや生産性に応じてモジュールの選択が可能 ・モジュールを任意に選択・追加することで様々な用途に応用可能 ・装置操作はフロアレベルで可能 ・優れた雰囲気分離性能と成膜プロセスの改善で高品位な膜のハイレート成膜が可能

  • シリーズ

    巻取式スパッタリング装置 SPWシリーズ

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巻取式スパッタリング装置 SPWシリーズ 品番1件

商品画像 品番 価格 (税抜)
巻取式スパッタリング装置 SPWシリーズ-品番-SPW-030

SPW-030

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処理基板 mm

20 - 50 50 - 100 100 - 150 150 - 200 200 - 300 300 - 700

スパッタ方向

アップ ダウン

装置構成

エッチング室 カセット室 スパッタ室 搬送室 ロードロック室 クラスター式 インライン式 ロードロック式 トレイ搬送方式

基板加熱 ℃

100 - 200 200 - 300 300 - 400 400 - 500 500 - 800

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会社概要

アルバック販売株式会社は、1970年に設立された、真空機器関連の専門商社です。 株式会社アルバック（神奈川県）のグループ会社の1社であり、アルバック社の真空機器の国内販売を担います。販売先は、大手メーカーや官公庁・大学...

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