大塚電子株式会社

nanoSAQLA (ナノサクラ) は、動的光散乱法 (DLS法) による粒子径測定 (粒子径0.6nm～10μm) 装置です。品質管理のニーズを更に追求した機...

• アナライザ

• 自動分析装置

当社のMCPD seriesは、フレキシブルファイバーを採用することにより、In-Situからインラインまで様々な場所や用途への組込みが可能にな...

• メーター・計測機器

• 厚み測定器

■特長 半導体の研究開発や生産現場において、ウェーハ基板上の薄膜を全面測定できる装置です。独自の分光干渉法と新たに開発した高精度...

• メーター・計測機器

• 厚み測定器

波長依存性を有する多層膜測定を高精度に実現。 ■特長 ・分光干渉法を用いた膜厚計 ・高精度FFT膜厚解析エンジンを搭載 (特許 第48348...

• メーター・計測機器

• 厚み測定器

光軸の高精度管理。3σ≦0.02° 低リタデーション測定に。 ■特長 ・0nmからの低 (残留) リタデーション測定が可能 ・光軸検出と同時にリ...

• アナライザ

• 自動分析装置

「紫外分光放射照度測定システム IL100」は、光源の紫外域での放射照度を評価します。分光放射照度測定から高精度に照度を測定。紫外か...

• メーター・計測機器

• 照度計

照明器具の配光特性を測定する装置です。 ・開発分光器を使用することで高精度測定を実現。 ・配光データと一緒に色の測定が可能。 ・...

• 測定機器

• 分光器

紫外LEDの放射束を評価します。 ・高性能化する紫外LEDの出力評価 ・温調ユニットと組み合わせての温度評価 殺菌、浄化、樹脂硬化と期待...

• 測定機器

• 分光器

動的光散乱法を用いた粒子径・粒子径分布 (粒径・粒径分布) 測定が可能です。 ■特長 ・動的光散乱法を用いた粒子径・粒子径分布 (粒径...

• アナライザ

• 自動分析装置

瞬時に絶対量子効率 (絶対量子収率) の測定ができます。粉体、溶液、固体 (フィルム) 、薄膜試料に対応しています。低迷光マルチチャン...

• 測定機器

• 積分球

パターンマッチ機能搭載、X-Y位置決め精度2um以下のシステムです。 ■特長 ・Φ300mmEFEMユニット予備ポートへのインテグレーションに対...

• メーター・計測機器

• 厚み測定器

ウェーハ等の研削研磨プロセスにおいて、非接触でウェーハや樹脂の厚みを超高速・高精度に測定を行います。 ■特長 ・光学式により非接...

• メーター・計測機器

• 厚み測定器

高精度な光干渉法による膜厚測定を簡単操作で実現した小型で低価格な膜厚計です。必要な機器を本体部に収納したオールインワンタイプの...

• メーター・計測機器

• 厚み測定器

顕微分光膜厚計OPTM seriesの高精度、微小スポットを生かし、ウェーハのパターン作成後の微小エリア測定など、インラインで膜厚情報を提...

• メーター・計測機器

• 厚み測定器

「分光放射照度測定システム IL100」は、光源による照度を評価します。 ・分光放射照度測定から高精度に照度を測定。 ・紫外から可視、...

• メーター・計測機器

• 照度計

ウェーハ等の研削研磨プロセスを非接触でウェーハや樹脂の超高速リアルタイム・高精度に測定します。 ■特長 ・非接触、非破壊で厚み測...

• メーター・計測機器

• 厚み測定器

紫外LEDの配光特性を評価します。放射強度/放射照度による配光評価。分光配光で波長毎に放射強度を評価。殺菌や樹脂硬化用光源の照射ム...

• 測定機器

• 分光器

高精度で持ち運び可能な膜厚計。 ・「測りたい“その場”ですぐに測れない」 ・「人によってバラつく測定結果」 ・「測定精度が悪い」 ...

• メーター・計測機器

• 厚み測定器