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Park NX10は、最高のナノスケール解像度で信頼あるデータを提供します。サンプルのセッティングからイメージング、測定、解析に至るまで...
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Nanoシリーズは、ハイエンドのアクティブ防振と超小型の寸法を組み合わせて、非常に小型で軽量なアプリケーションの防振に採用されてい...
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Varioシステムは、エレメントベースのモジュール式防振システムで、少なくとも2つの防振エレメントと外部コントロールユニットで構成さ...
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Park NX-Hybrid WLIは、半導体デバイスの研究開発/生産現場における計測、品質保証、前工程のプロセスコントロール、後工程の高度なパッ...
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i4は、最先端のアクティブ防振システムです。高解像度の計測機器を建物の振動やその他の外乱から隔離するのに最適なシステムで、6方向す...
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Park NX-Waferは、半導体および関連ファブリケーション向けの業界をリードする自動AFM測定システムです。 ウェハーファブの検査と解析...
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ワークステーション_Varioは、作業面として光学ブレッドボードを埋め込んだスチールフレームが付属しています。拡張性として、周囲のフ...
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ワークステーション_i4は、光学顕微鏡/顕微鏡/SPMの組み合わせで使用することを想定して設計されています。表面は傷のつきにくいMDFプレ...
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Park NX-Mask は、デバイスの微細化、フォトマスクの複雑化に対応した新世代のフォトマスクリペアシステムです。Park NX-Maskは、最先端...
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■研究開発を加速する次世代テクノロジー ・研究用AFM史上初のデュアルカメラシステムを採用 ・機械学習の採用による自動最適化機能 ■プ...
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FAエンジニアとして結果を見出すことが求められますが、機械によるエラーやミスは当然許されません。Park NX20は、世界で最も正確な大型...
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ナノスケールの欠陥を特定する作業は、メディアやフラットなサブストレートを扱うエンジニアにとって非常に時間のかかるプロセスです。P...
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反射型分光エリプソメーター (Referenced Spectroscopic Ellipsometer: RSE) は、エリプソメーターをベースにした反射率計で、品質管理...
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Park SmartScan™は、パーク・システムズのAFM向けの革新的なオペレーティングソフトウエアです。自動モードにより、初心者でもマウスを3...
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SIMONは、イメージングエリプソメトリーにおける規則的な測定作業に特化した特別仕様となっています。 シンプルなユーザーインターフェ...
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Park NX20 Liteは、多様な試料を扱う共同研究室、多変量解析やウェハーの故障解析に最適な多くの独自の機能を備えています。 また、リー...
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Park SmartAnalysis™は、Park AFM用の原子間力顕微鏡画像処理・データ分析ソフトウェアです。AFMで取得した画像や測定値を迅速に準備、...
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Park NX-IRは、ナノスケールの赤外線 (IR) 分光器と原子間力顕微鏡 (AFM) を一体化した、化学および材料の特性評価用の装置です。 Par...
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Park NX-IR R300は、300mmまでの半導体ウェハーに対応したナノスケール赤外分光システムです。化学特性情報だけでなく、半導体研究の機...
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Park NX12は、倒立型光学顕微鏡の試料ステージと、汎用性と精度の高いパーク・システムズのAFMを一体化させた装置です。透明/不透明、あ...
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Park NX7は、パーク・システムズの最先端技術を搭載し、上位モデル同様細部までこだわって設計されている最も経済的なAFMです。 ■クロ...
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Park NX20 300mmは、300mmX300mmのサイズの計測を完全自動化させた業界初の大型サンプル向け原子間力顕微鏡 (AFM) です。 故障解析や...
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UltraBAMは、気液界面測定のために設計されたブリュースター角度の顕微鏡です。また、ガラスや石英などの固体基板上でも使用することが...
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イメージングエリプソメーターEP4は、エリプソメトリーと顕微鏡を融合させた製品です。 EP4は1 µm程度の微細な構造物に対して、エリプ...
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パーク・システムズは、オーバーハングプロファイル、高解像度側壁イメージング、および臨界角測定用に設計された完全自動AFMシステムで...
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■NX-Hivac自動真空制御 最適な真空状態までのポンピングと排気プロセスが、ワンボタン操作だけで論理的及び視覚的に制御されます。それ...
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AFMTCサンプルは、10本の超微細トレンチ (10~50nm) と50nmの分離されたラインから構成されています。この校正用サンプルは、ナノスケー...
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SmartScan™ 自動モードは、イメージングに必要なすべての操作を自動的に実行し、最適な画質とスキャン速度を全自動で高度に判断します。...
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HMCサンプルは、5つの異なる幅とピッチ基準を提供する一連のラインで構成されています。この校正用サンプルは、AFM測定やSEMの倍率の水...
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