高分解能3Dメトロロジーのための全自動産業用AFM Park NX-3DM
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この製品について
■NXテクノロジーを導入した完全自動化産業用AFM
・クリーンルームと互換性があり、ナノスケールレベルでの測定とデータ分析を完全に自動化 ・NXテクノロジーは、非常に正確なトポグラフィーイメージを自動的に構築し、重要な寸法データを収集 ・独立したクローズドループで動作する市場で最高の低ノイズZ検出器により、トポグラフィーのエラー (“クリープ効果”) を最小化 ・真のノンコンタクト™モードでは、チップとサンプルにかかる費用と時間を抑えながら、両方に損傷を与えずに、正確な高解像度データを収集可能■アンダーカットおよびオーバーハング構造の革新的なヘッド設計
・独自の横向きZヘッドにより、フォトレジストやその他の工業用材料のアンダーカットおよびオーバーハング構造にアクセス可能 ・特許取得済みの分離されたXYおよびZスキャンシステムは、傾斜Zスキャナと連携して動作し、正確な側壁分析における通常およびフレアチップ法の課題を克服 ・NX-3DMにより、側壁のトレンチラインプロファイル、粗さ、臨界角、および限界寸法をすべて測定可能 ・Zヘッドの傾斜メカニズムにより、超鋭利な先端を使うことで側壁にアクセスし、他の材料と同等の高解像度と精密さを取得■3D材料用の信頼性の高きシームレス測定ツール
・側壁の粗さ、限界寸法の測定値を取得するためのサンプルの準備 (切断、取り付け、コーティングなど) が不要 ・Zヘッドの傾斜と真のノンコンタクト™モードの導入により、高解像度側壁データの収集、およびチップの形状維持を実現-
シリーズ
高分解能3Dメトロロジーのための全自動産業用AFM Park NX-3DM
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取扱企業
パーク・システムズ・ジャパン株式会社
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高分解能3Dメトロロジーのための全自動産業用AFM Park NX-3DM 品番1件
| 商品画像 | 品番 | 価格 (税抜) | 電動XYステージ | 電動フォーカスステージ | 電動角度レンジ | 電動Zステージ | Zスキャナ | COGNEXパターン認識 | XYスキャナ | XYスキャナ分解能 | 設備条件 室温 (待機時) | 設備条件 室温 (稼働時) | 設備条件 湿度 | 設備条件 床振動レベル | 設備条件 音響ノイズ | 設備条件 排気系 | 設備条件 電源 | 設備条件 総合消費電力 | 設備条件 グラウンド抵抗 | 200mmシステム | 200mmシステム 天井高 | 200mmシステム 作業スペース | 300mmシステム | 300mmシステム 天井高 | 300mmシステム 作業スペース |
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
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NX-3DM |
要見積もり | 200mm：最大275mmx200mmまで移動、分解能：0.5㎛/300 mm：最大400mmx300mmまで移動、分解能：0.5㎛<再現性：<1㎛ | Z移動距離：9mm、直上光学系 | 19度と+19度、-38度と+38度、角度再現性：<0.5度 | Z移動距離：27mm、分解能：0.08㎛、再現性：<1㎛ | Zスキャナレンジ:15 ㎛ (ラージモード) 、2㎛ (スモールモード) /Zスキャナ分解能:0.016nm (ラージモード) 、0.002nm (スモールモード) ほか | パターンアライン分解能1/4ピクセル | クローズドループ制御付きシングルモジュールのフレクチャー式XYスキャナ、100µm×100µm (ラージモード) 、50µm×50µm (ミディアムモード) 、10µm×10µm (スモールモード) | 0.28nm (ラージモード) 、0.03nm (スモールモード) | 10℃~40℃ | 18℃~24℃ | 30％~60％ (コンデンシングしない場合) | VC-D (6μm/秒) | 65dB以下 | 真空 : -80kPa、CDA (またはN2) : 0.7MPa | 208V-240V、単相、15A (最大) | 2KW (公称) | 100オーム以下 | 1,500mm (幅) ×980mm (奥) x2,050mm (高) 、EFEMなし、約1,020 kg (制御キャビネット付き) ほか | 2,500mm以上 | 3,300mm (幅) x2,300mm (奥) , 最小 | 1,840mm (幅) ×1,170mm (奥) x2,050mm (高) 、EFEMなし、約1,320 kg (制御キャビネット付き) ほか | 2,500mm以上 | 4,540mm (幅) x2,850mm (奥) , 最小 |
のついている項目名や値は、Metoreeの自然言語処理アルゴリズムを用いて自動生成された値です。各メーカーの製品を横断して比較しやすくするための参考としてご利用ください。自動生成データは黒色の文字、元データは灰色の文字です。
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