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XYZステージのメーカー16社一覧や企業ランキングを掲載中！XYZステージ関連企業の2025年11月注目ランキングは1位:アリオス株式会社、2位:THK株式会社、3位:神津精機株式会社です。
XYZステージ (英：xyz stage) とは、3軸方向に微動できる台です。
ステージのXYZ方向にマイクロメータが取り付けられており、各方向にステージを動かすことができます。ステージ上部には複数のネジ穴が開けられており、その穴を利用して光学素子などが固定可能です。
また、ステージ本体はマグネットを取り付けることもでき、強力な磁力により光学台に設置が可能です。マイクロメータを用いることで0.01mmというごく微細な刻み幅で位置が調整できます。
関連キーワード
項目別
使用用途
#精密機器
#研究開発
#生産ライン
#品質管理
#微細加工
#半導体製造
#製品検査
#ロボット工学
駆動方式
手動型
モータ駆動型
圧電駆動型
ガイド方式
リニアボール型
クロスローラ型
フレクシャ型
精度レベル
マイクロ精度型
サブミクロン精度型
ナノ精度型
構造形式
コンパクト型
大型移動型
ストローク mm
-50 - 0
0 - 10
10 - 50
50 - 100
100 - 200
200 - 600
最大速度 mm/s
300 - 500
500 - 1,000
1,000 - 1,500
1,500 - 2,000
可搬質量 kg
0 - 1
1 - 5
5 - 10
ユニット質量 kg
0 - 1
1 - 50
50 - 450
最小移動量 nm
30 - 100
100 - 150
耐荷重 N
0 - 10
10 - 20
20 - 30
30 - 180
ツクモ工学株式会社
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