全てのカテゴリ
閲覧履歴
XYZステージについての概要、用途、原理などをご説明します。また、XYZステージのメーカー16社一覧や企業ランキングも掲載しておりますので是非ご覧ください。XYZステージ関連企業の2024年10月注目ランキングは1位:日本カンタム・デザイン株式会社、2位:アリオス株式会社、3位:THK株式会社となっています。
XYZステージの関連カテゴリ
XYZステージ (英：xyz stage) とは、3軸方向に微動できる台です。
ステージのXYZ方向にマイクロメータが取り付けられており、各方向にステージを動かすことができます。ステージ上部には複数のネジ穴が開けられており、その穴を利用して光学素子などが固定可能です。
また、ステージ本体はマグネットを取り付けることもでき、強力な磁力により光学台に設置が可能です。マイクロメータを用いることで0.01mmというごく微細な刻み幅で位置が調整できます。
XYZ3軸の移動機構により、試料ホルダーや試料加熱機構、各種導入機、その他コンポーネントの位置調整が可能です。
ステージ上に固定されたカメラやセンサ、その他の様々な光学素子について、その位置の精密な決定が可能です。3軸方向に移動できるため、測定・観察対象に応じて空間的にステージを位置調整したい場合に適しています。
また、レーザーを扱う場合には、その光路上に設置したミラーやレンズの位置調整が必要な場合があり、XYZステージが役立ちます。既存の光学系に容易に組込み可能です。
XYZステージは、メカニカルステージや移動ステージと呼ばれるステージの1種です。XYZステージの移動調整はガイドに沿って行われ、ガイドの種類に応じて以下の3つの方式に分類されます。
クロスローラとは、内輪と外輪の間にローラを直交させたコンパクトな構造のベアリングです。ボールベアリングと異なり線接触のため、高い剛性を得ることができます。また差動滑りがほとんどないため、摩擦が少なく送り幅の微細な調整が可能です。
アリ溝とは逆八の字の構造をした溝で、横からレールを滑り込ませて溝から抜けないよう工夫がされています。ガイド構造が単純なため、低コストで製造することができます。ただし、面同士が接触するため、摩擦係数が高く、微細な位置決めは困難です。簡単な位置決めに最適な方式です。
2枚のステージにそれぞれガイドを固定し、その間にボールを配列した方式です。ステージの厚さを薄く出来るだけでなく、高い剛性を持ち、送り幅の分解能も良いという特徴があります。
各軸方向に高精度で位置決めが可能です。マイクロメータを搭載し、位置決めに、クロスローラーベアリングなどを使用して、確実・高精度の位置決めができます。
分子線エピタキシーMBEや表面分析装置などに使用する各種超真空装置用のタイプがあります。トランスファーロッド、回転導入機などと組み合わせて、真空装置内の移動が可能です。
オールメタルシールやコンフラットフランジなどを使用したタイプは、最高200℃のベーキングができます。
XYZステージを使用して位置決めする方法は、3種類に分類できます。
手動式は目標位置との差をカメラ等で拡大し、人間の目によって確認しながら、マイクロメータヘッド等によりステージを駆動する方法です。
半自動式は、目標位置との差を人間の目によって確認するのは、手動式と同じですが、ステージの移動を電動式にした方法です。手動式に比べ、より精度が高く位置決めができます。
自動式は、目標位置との差を画像処理装置などの視覚センサを使って検出するので、自動位置決めが可能です。さらに高精度・高効率が期待できます。位置決め業務の自動化が可能になり、作業の効率化が図られます。
XYZステージに対象物の半導体とマスクを固定し、カメラでマスクの位置決めマークを検出して目標にステージを移動させます。そして、UVランプをマスクの上から照射して露光を行います。
マスクの位置決めマークを検出して目標にステージを移動させます。そして、ステージをマスクの下に移動して印刷を行います。
参考文献
https://www.chuo.co.jp/core_sys/product/images/186/catalog/GC40_310-311.pdf
https://www.global-optosigma.com/jp/category/mp/mp01.html
https://www.global-optosigma.com/jp/category/mp/mp02.html
*一部商社などの取扱い企業なども含みます。
2024年10月の注目ランキングベスト10
注目ランキング導出方法| 順位 | 会社名 | クリックシェア |
|---|---|---|
| 1 | 日本カンタム・デザイン株式会社 |
25.0%
|
| 2 | アリオス株式会社 |
12.5%
|
| 3 | THK株式会社 |
12.5%
|
| 4 | コムス株式会社 |
12.5%
|
| 5 | ヒーハイスト株式会社 |
6.3%
|
| 6 | 有限会社ユタカ製作所 |
6.3%
|
| 7 | ワイヤード株式会社 |
6.3%
|
| 8 | ツクモ工学株式会社 |
6.3%
|
| 9 | シグマ光機株式会社 |
6.3%
|
| 10 | 駿河精機株式会社 |
6.3%
|
注目ランキング導出方法について
注目ランキングは、2024年10月のXYZステージページ内でのクリックシェアを基に算出しています。クリックシェアは、対象期間内の全企業の総クリック数を各企業のクリック数で割った値を指します。社員数の規模
設立年の新しい会社
歴史のある会社
製品の閲覧数をもとに算出したランキング
電話番号不要
何社からも電話がかかってくる心配はありません
まとめて見積もり
複数社に何度も同じ内容を記入する必要はありません
返答率96%以上
96%以上の方がメーカーから返答を受け取っています
76 点の製品がみつかりました
有限会社ユタカ製作所
110人以上が見ています
返信の比較的早い企業
100.0% 返答率
30.5時間 平均返答時間
X軸・Y軸・Z軸を組み合わせています。それぞれ手動ハンドルとロックレバーが付いています。移動用キャスターと固定用アジャスターが付いています。 ■特徴 ・...
オリムベクスタ株式会社
420人以上が見ています
最新の閲覧: 2時間前
返信の早い企業
100.0% 返答率
8.2時間 平均返答時間
設計・組立担当者の『時短』をサポートする電動スライダ 2軸 (X-Y) 3軸 (X-Y-Z) ユニットを発売します。メーカーでボールねじスライダを組付けて出荷しま...
3種類の品番
ピーアイ・ジャパン株式会社
130人以上が見ています
最新の閲覧: 1日前
返信の比較的早い企業
100.0% 返答率
26.5時間 平均返答時間
ハイダイナミック顕微鏡用高速 XY (Z) ステージ ■特徴 ・サブナノメートル分解能で5ms未満の高速応答:トラッキングに最適 ・E-727USBコントローラーとソフト...
ピーアイ・ジャパン株式会社
250人以上が見ています
最新の閲覧: 10時間前
返信の比較的早い企業
100.0% 返答率
26.5時間 平均返答時間
コントローラ付きXY (Z) ポジショニングシステム・すぐに利用可能。 ■特徴 ・2台のV-417ポジショナーによるXYシステム、移動範囲204～407 mm ・L-412ポジシ...
4種類の品番
株式会社日本レーザー
70人以上が見ています
100.0% 返答率
41.0時間 平均返答時間
■ナノメートル分解能の圧電素子モータベース・直進ステージ ・一体型/モジュール型 ・オープンループ/エンコーダ付きクローズドループ ・Picomotor：電源オフ...
株式会社日本レーザー
70人以上が見ています
100.0% 返答率
41.0時間 平均返答時間
■ナノメートル分解能の圧電素子モータベース・直進ステージ ・一体型/モジュール型 ・オープンループ/エンコーダ付きクローズドループ ・Picomotor：電源オフ...
株式会社日本レーザー
60人以上が見ています
100.0% 返答率
41.0時間 平均返答時間
■ナノメートル分解能の圧電素子モータベース・直進ステージ ・一体型/モジュール型 ・オープンループ/エンコーダ付きクローズドループ ・Picomotor：電源オフ...
株式会社日本レーザー
60人以上が見ています
最新の閲覧: 1日前
100.0% 返答率
41.0時間 平均返答時間
■ナノメートル分解能の圧電素子モータベース・直進ステージ ・一体型/モジュール型 ・オープンループ/エンコーダ付きクローズドループ ・Picomotor：電源オフ...
株式会社日本レーザー
60人以上が見ています
最新の閲覧: 15時間前
100.0% 返答率
41.0時間 平均返答時間
■ナノメートル分解能の圧電素子モータベース・直進ステージ ・一体型/モジュール型 ・オープンループ/エンコーダ付きクローズドループ ・Picomotor：電源オフ...
株式会社日本レーザー
60人以上が見ています
100.0% 返答率
41.0時間 平均返答時間
■ナノメートル分解能の圧電素子モータベース・直進ステージ ・一体型/モジュール型 ・オープンループ/エンコーダ付きクローズドループ ・Picomotor：電源オフ...
株式会社日本レーザー
60人以上が見ています
100.0% 返答率
41.0時間 平均返答時間
■ナノメートル分解能の圧電素子モータベース・直進ステージ ・一体型/モジュール型 ・オープンループ/エンコーダ付きクローズドループ ・Picomotor：電源オフ...
株式会社日本レーザー
110人以上が見ています
最新の閲覧: 8時間前
100.0% 返答率
41.0時間 平均返答時間
■ナノメートル分解能の圧電素子モータベース・直進ステージ ・一体型/モジュール型 ・オープンループ/エンコーダ付きクローズドループ ・Picomotor：電源オフ...
株式会社日本レーザー
60人以上が見ています
最新の閲覧: 1日前
100.0% 返答率
41.0時間 平均返答時間
■ナノメートル分解能の圧電素子モータベース・直進ステージ ・一体型/モジュール型 ・オープンループ/エンコーダ付きクローズドループ ・Picomotor：電源オフ...
株式会社日本レーザー
60人以上が見ています
100.0% 返答率
41.0時間 平均返答時間
■ナノメートル分解能の圧電素子モータベース・直進ステージ ・一体型/モジュール型 ・オープンループ/エンコーダ付きクローズドループ ・Picomotor：電源オフ...
株式会社日本レーザー
60人以上が見ています
100.0% 返答率
41.0時間 平均返答時間
■ナノメートル分解能の圧電素子モータベース・直進ステージ ・一体型/モジュール型 ・オープンループ/エンコーダ付きクローズドループ ・Picomotor：電源オフ...
株式会社日本レーザー
100人以上が見ています
100.0% 返答率
41.0時間 平均返答時間
■ナノメートル分解能の圧電素子モータベース・直進ステージ ・一体型/モジュール型 ・オープンループ/エンコーダ付きクローズドループ ・Picomotor：電源オフ...
株式会社日本レーザー
100人以上が見ています
最新の閲覧: 19時間前
100.0% 返答率
41.0時間 平均返答時間
■ナノメートル分解能の圧電素子モータベース・直進ステージ ・一体型/モジュール型 ・オープンループ/エンコーダ付きクローズドループ ・Picomotor：電源オフ...
株式会社日本レーザー
60人以上が見ています
最新の閲覧: 1日前
100.0% 返答率
41.0時間 平均返答時間
■ナノメートル分解能の圧電素子モータベース・直進ステージ ・一体型/モジュール型 ・オープンループ/エンコーダ付きクローズドループ ・Picomotor：電源オフ...
株式会社日本レーザー
110人以上が見ています
最新の閲覧: 1日前
100.0% 返答率
41.0時間 平均返答時間
■ナノメートル分解能の圧電素子モータベース・直進ステージ ・一体型/モジュール型 ・オープンループ/エンコーダ付きクローズドループ ・Picomotor：電源オフ...
株式会社日本レーザー
70人以上が見ています
最新の閲覧: 6時間前
100.0% 返答率
41.0時間 平均返答時間
■特徴 ・150mmまたは300mmの移動範囲 ・高効率のブラシレス DCモーター - 最大速度 300mm/s ・XYまたは XYZ構成の簡単な直接取り付け ・多くの産業用コントロ...
株式会社日本レーザー
90人以上が見ています
最新の閲覧: 1日前
100.0% 返答率
41.0時間 平均返答時間
■ナノメートル分解能の圧電素子モータベース・直進ステージ ・一体型/モジュール型 ・オープンループ/エンコーダ付きクローズドループ ・Picomotor：電源オフ...
株式会社日本レーザー
140人以上が見ています
100.0% 返答率
41.0時間 平均返答時間
■ナノメートル分解能の圧電素子モータベース・直進ステージ ・一体型/モジュール型 ・オープンループ/エンコーダ付きクローズドループ ・Picomotor：電源オフ...
株式会社日本レーザー
100人以上が見ています
100.0% 返答率
41.0時間 平均返答時間
■ナノメートル分解能の圧電素子モータベース・直進ステージ ・一体型/モジュール型 ・オープンループ/エンコーダ付きクローズドループ ・Picomotor：電源オフ...
株式会社日本レーザー
120人以上が見ています
最新の閲覧: 1日前
100.0% 返答率
41.0時間 平均返答時間
■特徴 ・150mmまたは300mmの移動範囲 ・高効率のブラシレス DCモーター - 最大速度 300mm/s ・XYまたは XYZ構成の簡単な直接取り付け ・多くの産業用コントロ...
株式会社日本レーザー
120人以上が見ています
100.0% 返答率
41.0時間 平均返答時間
■ナノメートル分解能の圧電素子モータベース・直進ステージ ・一体型/モジュール型 ・オープンループ/エンコーダ付きクローズドループ ・Picomotor：電源オフ...
株式会社日本レーザー
100人以上が見ています
最新の閲覧: 1日前
100.0% 返答率
41.0時間 平均返答時間
■ナノメートル分解能の圧電素子モータベース・直進ステージ ・一体型/モジュール型 ・オープンループ/エンコーダ付きクローズドループ ・Picomotor：電源オフ...
株式会社日本レーザー
90人以上が見ています
100.0% 返答率
41.0時間 平均返答時間
■ナノメートル分解能の圧電素子モータベース・直進ステージ ・一体型/モジュール型 ・オープンループ/エンコーダ付きクローズドループ ・Picomotor：電源オフ...
株式会社日本レーザー
90人以上が見ています
100.0% 返答率
41.0時間 平均返答時間
■特徴 ・150mmまたは300mmの移動範囲 ・高効率のブラシレス DCモーター - 最大速度 300mm/s ・XYまたは XYZ構成の簡単な直接取り付け ・多くの産業用コントロ...
株式会社日本レーザー
110人以上が見ています
最新の閲覧: 2時間前
100.0% 返答率
41.0時間 平均返答時間
■ナノメートル分解能の圧電素子モータベース・直進ステージ ・一体型/モジュール型 ・オープンループ/エンコーダ付きクローズドループ ・Picomotor：電源オフ...
株式会社日本レーザー
70人以上が見ています
100.0% 返答率
41.0時間 平均返答時間
■ナノメートル分解能の圧電素子モータベース・直進ステージ ・一体型/モジュール型 ・オープンループ/エンコーダ付きクローズドループ ・Picomotor：電源オフ...
Metoreeに登録されているXYZステージが含まれるカタログ一覧です。無料で各社カタログを一括でダウンロードできるので、製品比較時に各社サイトで毎回情報を登録する手間を短縮することができます。
カタログを企業ごとに探す
カタログを種類ごとに探す
リニア/多軸/ゴニオ/ロータリー/2Dステージ/ガントリー/ジンバル等 豊富なラインナップをご用意！◆最短1週間の短納期！◆コントローラとエンコーダを内蔵し、...
2024年5月2日
位置決め精度、速度安定性能を保証します。豊富な標準ラインナップと、カスタム対応も可能です。
2022年12月15日
セミカスタム～フルカスタムまで、お客様装置にジャストフィットする高品質なリニアステージをご提供します。
2022年12月15日
クサビ方式の高精密リニアステージです。プローバー、レーザー加工機、形状スキャン装置などの接触加圧機構用、焦点高さの微調整用、スキャン移動時の平行度...
2022年12月15日
CKD日機電装と製品ラインナップの紹介です。
2022年12月15日
コンパクトサイズで、XY(Z)へのコンビネーション可能ストローク：最大25mmタイプ【特徴】・駆動を折り重ねたコンパクトサイズ・ステッピングモータとDCサーボ...
2023年7月7日
産業向けアプリケーションに好適な、X417型高精度位置決めシステムは、高速＆高精度ソリューションを提供します。お客様のご要望のトラベルレンジ、位置決め...
2023年6月12日
３軸駆動の精密ナノポジショニングシステム。PIMars(TM) オープンフレームピエゾステージは、高速かつ高精度の多軸スキャニング／ナノポジショニングシステム...
2023年6月21日
単軸のPIHera(R)システムは、ストローク50～1800μmのピエゾナノポジショニングステージです。【特徴】・ストローク50～1800μm・高精度、0.1nmの分解能・静電...
2023年6月21日
高精度 XY軸ステージ高いトラベル精度、高安定性、リニアモータドライブ▪ トラベルレンジ 100 x 100 mm▪ 高分解能インクリメンタルリニアエンコーダー▪ 3相リ...
2024年1月17日
高性能、高コスト効果、VCMダイレクトドライブ▪ トラベルレンジ 5 mm▪ 光学式リニアエンコーダ▪ 高剛性、小さいpitch/yaw▪ 耐荷重 150 N▪ セルフロック機能付き
2024年1月17日
高性能・リニアモータードライブ・高ダイナミック▪トラベルレンジ 5 mm▪リニアエンコーダー▪耐荷重 100 N▪空気圧カウンターバランス
2024年1月17日
P-616型 コンパクトXYZ軸ピエゾステージ■動作軸 XYZ軸■ 最大100×100×100μm のトラベルレンジ■ 摩擦がなく高精度なフレクシャガイドシステム■ PICMA®ピエゾ...
2024年1月17日
顕微鏡サーモグラフィ用XYZステージ顕微鏡サーモグラフィ用のXYZステージ、XSTGシリーズ◆XSTG-XYZ15-XA0351-STD◆XSTG-XYZ15-XA0651-STDサーマルヴューXカメラ...
2024年7月16日
XYZステージのカタログ14件分をまとめてダウンロードできます！お迷いの方は便利な無料の一括ダウンロード機能をご利用ください。
企業
日本カンタム・デザイン株式会社 CKD日機電装株式会社 ピーアイ・ジャパン株式会社 株式会社ヴュオールイメージング1,398,000 円
1,398,000 円
1,398,000 円
価格について: Metoreeに登録されているXYZステージの製品76点の2024年11月18日時点での価格データを元に算出しています。
