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XYZステージについての概要、用途、原理などをご説明します。また、XYZステージのメーカー16社一覧や企業ランキングも掲載しておりますので是非ご覧ください。XYZステージ関連企業の2024年10月注目ランキングは1位:日本カンタム・デザイン株式会社、2位:アリオス株式会社、3位:THK株式会社となっています。
XYZステージの関連カテゴリ
XYZステージ (英：xyz stage) とは、3軸方向に微動できる台です。
ステージのXYZ方向にマイクロメータが取り付けられており、各方向にステージを動かすことができます。ステージ上部には複数のネジ穴が開けられており、その穴を利用して光学素子などが固定可能です。
また、ステージ本体はマグネットを取り付けることもでき、強力な磁力により光学台に設置が可能です。マイクロメータを用いることで0.01mmというごく微細な刻み幅で位置が調整できます。
XYZ3軸の移動機構により、試料ホルダーや試料加熱機構、各種導入機、その他コンポーネントの位置調整が可能です。
ステージ上に固定されたカメラやセンサ、その他の様々な光学素子について、その位置の精密な決定が可能です。3軸方向に移動できるため、測定・観察対象に応じて空間的にステージを位置調整したい場合に適しています。
また、レーザーを扱う場合には、その光路上に設置したミラーやレンズの位置調整が必要な場合があり、XYZステージが役立ちます。既存の光学系に容易に組込み可能です。
XYZステージは、メカニカルステージや移動ステージと呼ばれるステージの1種です。XYZステージの移動調整はガイドに沿って行われ、ガイドの種類に応じて以下の3つの方式に分類されます。
クロスローラとは、内輪と外輪の間にローラを直交させたコンパクトな構造のベアリングです。ボールベアリングと異なり線接触のため、高い剛性を得ることができます。また差動滑りがほとんどないため、摩擦が少なく送り幅の微細な調整が可能です。
アリ溝とは逆八の字の構造をした溝で、横からレールを滑り込ませて溝から抜けないよう工夫がされています。ガイド構造が単純なため、低コストで製造することができます。ただし、面同士が接触するため、摩擦係数が高く、微細な位置決めは困難です。簡単な位置決めに最適な方式です。
2枚のステージにそれぞれガイドを固定し、その間にボールを配列した方式です。ステージの厚さを薄く出来るだけでなく、高い剛性を持ち、送り幅の分解能も良いという特徴があります。
各軸方向に高精度で位置決めが可能です。マイクロメータを搭載し、位置決めに、クロスローラーベアリングなどを使用して、確実・高精度の位置決めができます。
分子線エピタキシーMBEや表面分析装置などに使用する各種超真空装置用のタイプがあります。トランスファーロッド、回転導入機などと組み合わせて、真空装置内の移動が可能です。
オールメタルシールやコンフラットフランジなどを使用したタイプは、最高200℃のベーキングができます。
XYZステージを使用して位置決めする方法は、3種類に分類できます。
手動式は目標位置との差をカメラ等で拡大し、人間の目によって確認しながら、マイクロメータヘッド等によりステージを駆動する方法です。
半自動式は、目標位置との差を人間の目によって確認するのは、手動式と同じですが、ステージの移動を電動式にした方法です。手動式に比べ、より精度が高く位置決めができます。
自動式は、目標位置との差を画像処理装置などの視覚センサを使って検出するので、自動位置決めが可能です。さらに高精度・高効率が期待できます。位置決め業務の自動化が可能になり、作業の効率化が図られます。
XYZステージに対象物の半導体とマスクを固定し、カメラでマスクの位置決めマークを検出して目標にステージを移動させます。そして、UVランプをマスクの上から照射して露光を行います。
マスクの位置決めマークを検出して目標にステージを移動させます。そして、ステージをマスクの下に移動して印刷を行います。
参考文献
https://www.chuo.co.jp/core_sys/product/images/186/catalog/GC40_310-311.pdf
https://www.global-optosigma.com/jp/category/mp/mp01.html
https://www.global-optosigma.com/jp/category/mp/mp02.html
*一部商社などの取扱い企業なども含みます。
2024年10月の注目ランキングベスト10
注目ランキング導出方法| 順位 | 会社名 | クリックシェア |
|---|---|---|
| 1 | 日本カンタム・デザイン株式会社 |
25.0%
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| 2 | アリオス株式会社 |
12.5%
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| 3 | THK株式会社 |
12.5%
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| 4 | コムス株式会社 |
12.5%
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| 5 | ヒーハイスト株式会社 |
6.3%
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| 6 | 有限会社ユタカ製作所 |
6.3%
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| 7 | ワイヤード株式会社 |
6.3%
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| 8 | ツクモ工学株式会社 |
6.3%
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| 9 | シグマ光機株式会社 |
6.3%
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| 10 | 駿河精機株式会社 |
6.3%
|
注目ランキング導出方法について
注目ランキングは、2024年10月のXYZステージページ内でのクリックシェアを基に算出しています。クリックシェアは、対象期間内の全企業の総クリック数を各企業のクリック数で割った値を指します。社員数の規模
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有限会社ユタカ製作所
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X軸・Y軸・Z軸を組み合わせています。それぞれ手動ハンドルとロックレバーが付いています。移動用キャスターと固定用アジャスターが付いています。 ■特徴 ・...
オリムベクスタ株式会社
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3種類の品番
ピーアイ・ジャパン株式会社
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ハイダイナミック顕微鏡用高速 XY (Z) ステージ ■特徴 ・サブナノメートル分解能で5ms未満の高速応答:トラッキングに最適 ・E-727USBコントローラーとソフト...
ピーアイ・ジャパン株式会社
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■特徴 ・150mmまたは300mmの移動範囲 ・高効率のブラシレス DCモーター - 最大速度 300mm/s ・XYまたは XYZ構成の簡単な直接取り付け ・多くの産業用コントロ...
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Metoreeに登録されているXYZステージが含まれるカタログ一覧です。無料で各社カタログを一括でダウンロードできるので、製品比較時に各社サイトで毎回情報を登録する手間を短縮することができます。
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リニア/多軸/ゴニオ/ロータリー/2Dステージ/ガントリー/ジンバル等 豊富なラインナップをご用意！◆最短1週間の短納期！◆コントローラとエンコーダを内蔵し、...
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2022年12月15日
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2023年7月7日
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2023年6月21日
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2024年1月17日
高性能、高コスト効果、VCMダイレクトドライブ▪ トラベルレンジ 5 mm▪ 光学式リニアエンコーダ▪ 高剛性、小さいpitch/yaw▪ 耐荷重 150 N▪ セルフロック機能付き
2024年1月17日
高性能・リニアモータードライブ・高ダイナミック▪トラベルレンジ 5 mm▪リニアエンコーダー▪耐荷重 100 N▪空気圧カウンターバランス
2024年1月17日
P-616型 コンパクトXYZ軸ピエゾステージ■動作軸 XYZ軸■ 最大100×100×100μm のトラベルレンジ■ 摩擦がなく高精度なフレクシャガイドシステム■ PICMA®ピエゾ...
2024年1月17日
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2024年7月16日
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日本カンタム・デザイン株式会社 CKD日機電装株式会社 ピーアイ・ジャパン株式会社 株式会社ヴュオールイメージング1,398,000 円
1,398,000 円
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価格について: Metoreeに登録されているXYZステージの製品76点の2024年11月18日時点での価格データを元に算出しています。
