メーカー 20社
製品 16点

真空ゲートバルブ
メーカー20社【2025年】

真空ゲートバルブについての概要、用途、原理などをご説明します。また、真空ゲートバルブのメーカー20社一覧や企業ランキングも掲載しておりますので是非ご覧ください。真空ゲートバルブ関連企業の2025年2月注目ランキングは1位:SMC株式会社、2位:株式会社ブイテックス、3位:VAT Ltd.となっています。

真空ゲートバルブとは？
真空ゲートバルブのメーカー20社
真空ゲートバルブ16製品

真空ゲートバルブとは

真空ゲートバルブ

主に真空設備や半導体製造設備などで、複数の真空室同士や真空室と大気側環境を仕切る為の弁体です。

ゲートバルブには様々な開閉タイプや開閉動力、弁体構造があり、弁体を挟んでどの様な圧力差が生じるか、開閉速度や開閉時のゴミや塵の発生レベル、耐熱性、耐化学性などを考慮して選定します。直径数十ミリの小型の物から、フラットパネルディスプレイ生産設備に用いられる幅数メートルの大型のものまで、幅広いサイズが存在します。

真空ゲートバルブの使用用途

複数の真空室同士を仕切る場合や、大気側と真空室を仕切る目的で用いられます。この場合は、ある真空室を常に真空状態に保ちながら、内在する処理物を他の真空室へ搬送する際や、大気側との出し入れの際に仕切る役割を果たします。

その他に真空室より排気されるガスの流量を調整する為の弁としても用いられ、その場合は開弁率を調節しながら排気速度を調節します。流量調整弁として用いる場合は開閉速度の早いバタフライ式が用いられます。

真空ゲートバルブの原理

真空ゲートバルブは弁体や開閉構造により多数のバリエーションがあります、弁体の素材はステンレス製又はアルミ製が主流で、開閉動力は手動式、電動式、圧縮空気によるエアー式が挙げられます。弁体には真空室の気密性を維持する為にOリングやシール材などが備わっており、高温管理されている真空室と同温とする為にヒータを内蔵した製品もあります。

昇降型ゲートバルブ

最も一般的なタイプで、弁体が上下する事で開閉します。小型の物は上昇の１アクションで気密までを得ますが、大型の製品では上昇→押しつけの2アクションをとる事が多いです。
弁体の両側が真空となる為、ハウジングにもOリングなどの機密構造を持ちます。弁体は角型と丸形があります。

ドアーバルブ

大気側と真空室を仕切るバルブをドアーバルブと言います。昇降型ゲートバルブと似ていますが、一方が大気圧の為ハウジングを持たず、弁体を真空室に押し当て気密を取ります。

振り子式ゲートバルブ

丸形の弁体を持ち、弁体が振り子の様に動く事で開閉します。コンパクトさが特徴で、摺動部が少ない事から低発塵というメリットもあります。

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真空ゲートバルブメーカー 20社

*一部商社などの取扱い企業なども含みます。

- - 株式会社ブイテックスメーカー
    真空バルブ一覧
  - 会社サイト創業: 1949年従業員数: 220人資本金: 443,200,000円会社詳細
  - 住所: 東京都品川区南大井6-28-11谷口ビル2F
- - SMC株式会社メーカー
    高真空バルブ一覧
  - 会社サイト上場(東証プライム) 創業: 1959年従業員数: 21,620人会社詳細
  - 住所: 東京都千代田区外神田4-14-1秋葉原UDX15階
- - 株式会社キッツエスシーティーメーカー商社・代理店
    真空バルブ
  - 会社サイト創業: 1982年従業員数: 296人資本金: 300,000,000円会社詳細
  - 住所: 東京都大田区大森北1-5-1
- - 株式会社美幸輝
    真空ゲートバルブ一覧
  - 会社サイト創業: 1967年従業員数: 23人会社詳細
  - 住所: 静岡県駿東郡小山町棚頭1238-5
- - 株式会社旭精機
    真空バルブ Vacuum Valve 一覧
  - 会社サイト創業: 1981年従業員数: 151人会社詳細
  - 住所: 福岡県大牟田市西宮浦町11番地16
- - 株式会社フジ・テクノロジー
    ゲートバルブ製品一覧
  - 会社サイト創業: 1969年会社詳細
  - 住所: 静岡県御殿場市静岡県保土沢1162-1
- - 株式会社ティサポート
    真空バルブ一覧（HTC社）
  - 会社サイト創業: 1997年従業員数: 7人会社詳細
  - 住所: 大阪府交野市松塚14-12
- - 入江工研株式会社
    真空バルブ一覧
  - 会社サイト創業: 1966年従業員数: 200人資本金: 100,000,000円会社詳細
  - 住所: 東京都千代田区丸の内3-1-1国際ﾋﾞﾙ813
- - ナガセテクノエンジニアリング株式会社
    HVA社高真空バルブ一覧
  - 会社サイト創業: 1989年会社詳細
  - 住所: 東京都中央区日本橋小舟町5番1号
- - コミヤマエレクトロン株式会社
    大型ゲートバルブ
  - 会社サイト創業: 1983年従業員数: 110人資本金: 10,000,000円会社詳細
  - 住所: 山梨県南都留郡鳴沢村2278
- - アユミ工業株式会社
    真空ゲートバルブ一覧
  - 会社サイト創業: 1969年資本金: 22,000,000円会社詳細
  - 住所: 兵庫県姫路市別所町家具町60
- - VAT Ltd.
    真空ゲートバルブ一覧
  - 会社サイト会社詳細
  - 住所: 東京都大田区羽田旭町 10番11号 MFIP羽田1階
- - Highlight Tech. Corporation
    真空ゲートバルブ
  - 会社サイト会社詳細
  - 本社: 台湾
- - Highlight Tech. Corporation
    真空ゲートバルブ
  - 会社サイト会社詳細
  - 本社: 台湾
- - 株式会社京屋商社・代理店
    超高真空ゲートバルブ
  - 会社サイト創業: 1948年従業員数: 7人資本金: 10,000,000円会社詳細
  - 住所: 京都府京都市下京区堺町通五条上ﾙ俵屋町205
- - 株式会社スプリード商社・代理店
    真空ゲートバルブ一覧
  - 会社サイト創業: 2005年会社詳細
  - 住所: 東京都稲城市大丸422-1
- - 株式会社アールデック商社・代理店
    真空ゲートバルブseries12
  - 会社サイト創業: 1988年従業員数: 35人会社詳細
  - 住所: 茨城県つくば市二の宮1-16-10
- - 株式会社アイリン真空商社・代理店
    真空ゲートバルブ一覧
  - 会社サイト創業: 1994年資本金: 10,000,000円会社詳細
  - 住所: 愛知県清須市春日東出81番地
- - キヤノンアネルバ株式会社商社・代理店
    超高真空ゲートバルブ
  - 会社サイト創業: 1967年従業員数: 1,127人資本金: 1,800,000,000円会社詳細
  - 住所: 神奈川県川崎市麻生区栗木2-5-1
- - アールエムテック株式会社商社・代理店
    Series 09
  - 会社サイト創業: 1988年従業員数: 17人会社詳細
  - 住所: 東京都中央区日本橋浜町2-30-1 KVK日本橋浜町ビル７F
- - アルバック販売株式会社商社・代理店
    高真空ゲートバルブ一覧
  - 会社サイト創業: 1970年従業員数: 128人会社詳細
  - 住所: 東京都港区港南2-3-13品川フロントビル5F

真空ゲートバルブ 2025年2月のメーカーランキング

*一部商社などの取扱い企業なども含みます

2025年2月の注目ランキングベスト10

順位	会社名	クリックシェア
1	SMC株式会社	11.1%
2	株式会社ブイテックス	9.7%
3	VAT Ltd.	8.3%
4	入江工研株式会社	8.3%
5	アユミ工業株式会社	6.9%
6	株式会社フジ・テクノロジー	5.6%
7	株式会社ティサポート	5.6%
8	コミヤマエレクトロン株式会社	5.6%
9	株式会社キッツエスシーティー	5.6%
10	キヤノンアネルバ株式会社	4.2%