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干渉計のメーカー26社一覧や企業ランキングを掲載中！干渉計関連企業の2025年7月注目ランキングは1位:株式会社ノビテック、2位:シグマ光機株式会社、3位:トライオプティクス・ジャパン株式会社となっています。 干渉計の概要、用途、原理もチェック！
干渉計とは、光を物体に当てた時に生じる干渉現象を測定することにより、物体の表面形状、屈折率、物体のサイズなどを測定する装置です。
干渉現象とは、複数の波の重ね合わせによって強めあったり打ち消し合ったりして新しい波形ができることです。同じ波源から出た波や、同じもしくは近い周波数を持つ波のときに顕著に現れます。
干渉計にはマイケルソン干渉計、マッハツェンダー干渉計、フィゾー干渉計などの種類があります。
2025年7月の注目ランキングベスト9
| 順位 | 会社名 | クリックシェア |
|---|---|---|
| 1 | 株式会社ノビテック |
23.1%
|
| 2 | シグマ光機株式会社 |
15.4%
|
| 3 | トライオプティクス・ジャパン株式会社 |
15.4%
|
| 4 | 株式会社フォトニックラティス |
7.7%
|
| 5 | 株式会社マブチ・エスアンドティー |
7.7%
|
| 6 | タツタ電線株式会社 |
7.7%
|
| 7 | オプトデバイスコーポレーション株式会社 |
7.7%
|
| 8 | Micro-Epsilon Japan株式会社 |
7.7%
|
| 9 | Renishaw plc. |
7.7%
|
23 点の製品がみつかりました
23 点の製品
レニショー株式会社
1350人以上が見ています
最新の閲覧: 2時間前
100.0% 返答率
188.0時間 返答時間
XL-80レーザー測定システムは、三次元測定機や工作機械などのモーションシステムの高性能計測とキャリブレーションに最適なシステムです...
オックスフォード・インストゥルメンツ株式会社
490人以上が見ています
最新の閲覧: 1日前
返信の比較的早い企業
5.0 会社レビュー
100.0% 返答率
23.1時間 返答時間
■特徴 レーザー干渉変位計測 (IDS; Interferometric Displacement Sensor) はCypher AFM/SPM のオプションであり、従来の光てこによるた...
オックスフォード・インストゥルメンツ株式会社
500人以上が見ています
返信の比較的早い企業
5.0 会社レビュー
100.0% 返答率
23.1時間 返答時間
■特徴 レーザー干渉変位計測 (IDS; Interferometric Displacement Sensor) はCypher AFM/SPM のオプションであり、従来の光てこによるた...
パーク・システムズ・ジャパン株式会社
410人以上が見ています
最新の閲覧: 20時間前
100.0% 返答率
38.9時間 返答時間
Park NX-Hybrid WLIは、半導体デバイスの研究開発/生産現場における計測、品質保証、前工程のプロセスコントロール、後工程の高度なパッ...
オプトデバイスコーポレーション株式会社
660人以上が見ています
最新の閲覧: 1日前
100.0% 返答率
150.3時間 返答時間
外部より入射するLaser光を本体内部で分岐し、一方を基準となるよう波面形成し、もう一方のLaser光と干渉させることで被検Laser光の波面...
4種類の品番
オプトデバイスコーポレーション株式会社
470人以上が見ています
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150.3時間 返答時間
In-Line干渉計は、平行Laser光の波面収差を評価するための干渉計Systemです。特に光PICKUP用の生産LineにおいてCollimator出射後の平行L...
2種類の品番
株式会社日本レーザー
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14.1時間 返答時間
attocube (アトキューブ) 社のレーザー干渉式変位センサは、ターゲットの直線運動を測定します。ファブリーペロー干渉計に基づいた変位...
株式会社日本レーザー
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GEMINIは、入力光を2つのレプリカ間の時間遅延を制御することにより、比類のない精度と再現性を提供する究極の干渉計です。FTIR分光計と...
2種類の品番
アメテック株式会社 ZYGO事業部
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■成功の積み重ね… ザイゴの新しい Qualifire™ レーザー干渉計 50年以上にわたり、位相シフト干渉計は高精度の表面形状測定機として選ば...
株式会社オプトサイエンス
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最大5mまでの長さ測定
株式会社アイ・アール・システム
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精密な波面の計測に、経時変化も一緒に取り込んでしまうピエゾ式参照面スキャンではなく、複数位相を同時に計測することで経時的スキャ...
ツクモ工学株式会社
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0.5時間 返答時間
ナノセブンは、レーザー光による非接触方式で計測対象物の表面粗さ、段差高さの形状をサブナノレベルの精度で、短時間かつ広範囲に計測...
株式会社フィジックステクノロジー
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SmarAct社のPicoScaleは、マイケルソン干渉原理を採用したレーザ干渉変位計です。非常にコンパクトなセンサヘッドに参照面を内蔵し、対...
シグマ光機株式会社
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■概要 コリメート状態を目視で確認 ■詳細 ・ビーム用コリメーションチェッカーはレーザビームエキスパンダー (コリメータ) の平行度を...
シグマ光機株式会社
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シグマ光機株式会社
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シグマ光機株式会社
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■概要 コリメート状態を目視で確認 ■詳細 ・ビーム用コリメーションチェッカーはレーザビームエキスパンダー (コリメータ) の平行度を...
干渉計とは、光を物体に当てた時に生じる干渉現象を測定することにより、物体の表面形状、屈折率、物体のサイズなどを測定する装置です。
干渉現象とは、複数の波の重ね合わせによって強めあったり打ち消し合ったりして新しい波形ができることです。同じ波源から出た波や、同じもしくは近い周波数を持つ波のときに顕著に現れます。
干渉計にはマイケルソン干渉計、マッハツェンダー干渉計、フィゾー干渉計などの種類があります。
干渉計の主な用途は、ガラス・金属・セラミックなどの平面板をはじめとする物体表面の非接触観測です。例えば、ガラス系では、スマートフォンなどのカバーガラス、液晶用ガラス、色分解光学系に使用されるプリズム、半導体マスク基盤など、金属系では金型やアルミディスクなどが挙げられます。
その他、電子機器用半導体デバイスに用いられるシリコンウェーハや、ハードディスク用基板などの特殊なものも測定することができます。また、電波干渉計は電波望遠鏡による天体観測にも用いられている仕組みです。
主要な干渉計は光源から出た光を2つの光に分割し、一方の光をサンプルに透過させ、もう一方の光と干渉させます。このとき、透過させるサンプルの屈折率や距離によって光学的距離が変化し、干渉縞のパターンが現れます。
干渉計ではこの干渉縞のパターンを解析することにより、測定サンプルの表面形状や透過波面形状を測定することが可能です。干渉計で測定できるサイズは大きくても数～十数cm程度になります。測定試料が大きい場合は、切り取るなどの工夫が必要です。
干渉計は、ガラス平面、ウェハ、ミラーなどの研磨面平面の測定が行えるもののほか、光学レンズ、鋼球、プラレンズなどの球面測定が可能なものなどがあります。また、2軸や3軸で測定する多軸の干渉計もあり、このような多軸干渉計では、より省スペースで感度の高い測定ができます。
レーザ走査干渉計では、円筒面など平面以外の測定も可能です。ガラス、ファイバ端面、セラミックス、 金属研削面、射出成型品のプラスチックなどの測定に用いられています。様々な種類があるため、用途に合わせて選択することが必要です。
図2. 干渉縞のイメージ
複数の波が重ね合わされるとき、ある点に新たに生じる波の振幅はその点に影響するすべての波の振幅の和と一致します。このとき、それぞれの波の位相が一致した部分では波が強め合い、位相が逆転している部分では弱めあうことを干渉現象と呼びます。干渉計は、このときに生じる干渉縞の様子を観測することで、物体の様子を観測する装置です。
図3. フィゾー干渉計で光路長差が生じる仕組み
フィゾー干渉計とは、レーザーを光源とする干渉計です。測定の仕組みは下記のようになります。
フィゾー干渉計は、簡単な構成で高精度の平面測定、球面測定が行えることが特徴です。
得られた干渉縞を用いて数値解析が行われます。代表的な方法の1つがフーリエ変換です。
フーリエ変換を行うことで、干渉縞から周波数スペクトルを取り出します。取り出したスペクトルを逆フーリエ変換により、測定材料の位相情報が得られます。
参考文献
https://www.fujifilm.com/jp/ja/business/optical-devices/interferometer/knowledge
https://www.global-optosigma.com/jp/application/guide-int01.html
http://www.seof.co.jp/basic/basic_01.html
https://www.tokaioptical.com/jp/technology01/
http://www.seof.co.jp/basic/basic_01.html
http://www.material.tohoku.ac.jp/~denko/lecture/ryoshinyumon/kougi_3.pdf
https://www.japansensor.co.jp/faq/969/index.html
https://photonterrace.net/ja/photon/behavior/
https://japanknowledge.com/contents/nipponica/sample_koumoku.html?entryid=649
http://www.nhao.jp/~tsumu/Research/Intr_interferometry/interferometer.html
https://www.nao.ac.jp/research/telescope/alma.html
https://gwcenter.icrr.u-tokyo.ac.jp/KAGRA_Nobel/data/KAGRA2_panel.pdf
