株式会社島津製作所
東横化学株式会社
キャノンアネルバ株式会社
インフィコン株式会社

【2021年版】リークディテクタ メーカー9社一覧

リークディテクタのメーカー9社を一覧でご紹介します。まずは使用用途や原理についてご説明します。


目次


リークディテクタとは

リークディテクタ(英語:Leak Detector)は高圧或いは真空を保持する必要のある機器、設備に対して漏れ検査をする為の装置です。 漏れ検査(リークテスト)には多数の方法が
ありますが、ヘリウムを検出ガス(トレードガス)として用いるヘリウムリークディテクタが最も一般的です。
内蔵するターボ分子ポンプで検査対象物内部を超高真空状態にし、外部からヘリウムガスを吹き付ける「吹き付け法」が広く用いられています。
ヘリウムリークディテクタは感度、応答性が非常に高く、簡易に実施出来る事が特徴です。

リークディテクタの使用用途

真空容器や圧力容器、それらに接続される配管や補器、部品等の漏れ検査に用います。 それら製品の製造工程上の欠陥などから生じる溶接不良や微細な穴、シール部の
気密不良など、細かい箇所ごとの漏れ検査が可能です。
検査対象物の内部空間を高真空状態にしなければならない為、オープンな構造の場合は検査用の封止部品や封止用継ぎ手などを用意する必要があります。
ヘリウムリークディテクタで不可欠なヘリウムガスの流通性が近年悪化しており、運用時には流通ルートの確保が重要となっています。

リークディテクタの原理

ヘリウムリークディテクタを用いるヘリウムリーク試験はJISでもその手法が規定されています。
漏れを検査する対象にヘリウムリークディテクタを接続し、対象物内部をディテクタに搭載されたターボ分子ポンプで超高真空領域まで排気します。
その状態で検査対象の外部からエアガンに似た吹き付けプローブにてヘリウムを微量吹き付け、吹き付けた箇所近辺に漏れの原因となる欠陥がある場合は
その欠陥を通じて検査対象内部に漏れてきたヘリウムがターボ分子ポンプによって排気され、排気ラインに設置されたヘリウム検出器(質量分析管)で検出される事で
漏れの存在、つまり欠陥がある事が感知されます。

近年のヘリウム検出器は感度が高く、応答性も良い為、何処でどの程度漏れているかを把握する事も出来ますが、その為には吹き付けプローブの扱いや
吹き付け量の調整など、技術的な習熟も必要です。
また、上述の様な局所的なリークを検出するのは得意ですが、系全体の総リーク量を定量化する事は出来ません。
トレードガスにはヘリウム以外に窒素やハロゲンを用いる検査法もありますが、漏れ箇所から同時に流入する大気中に極僅かしか存在しない事、原子構造が小さく、
微細な欠陥からも流入し、検出感度が高い事から、ヘリウムが最も利用されています。

 

リークディテクタのメーカー情報

リークディテクタのメーカー9社一覧


リークディテクタのメーカーランキング

社員数の規模

  1. 1 株式会社島津製作所
  2. 2 キャノンアネルバ株式会社
  3. 3 Canon Semiconductor Engineering Korea Inc.

設立年の新しい会社

  1. 1 株式会社ジェイビック
  2. 2 株式会社ヴィティーエス
  3. 3 インフィコン株式会社

歴史のある会社

  1. 1 株式会社島津製作所
  2. 2 東横化学株式会社
  3. 3 株式会社FUSO

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