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ポーラスチャックについての概要、用途、原理などをご説明します。また、ポーラスチャックのメーカー12社一覧や企業ランキングも掲載しておりますので是非ご覧ください。ポーラスチャック関連企業の2024年11月注目ランキングは1位:ピーアイ・ジャパン株式会社、2位:黒崎播磨株式会社、3位:株式会社ナノテムとなっています。
図1. ポーラスチャックのイメージ
ポーラスチャックとは、多孔質体の吸気孔から空気を引くことでウェハーやガラスなどの薄い物体を真空吸着するツールです。
被計測物・被加工物を吸着する目的で、加工機や検査装置のテーブル、ダイシングソーに使用されています。また搬送用の吸着パッドとしても活用されているツールです。薄いものを破損・変形なく吸着固定することに優れています。金属などのボディ (本体) にアルミナセラミックなどのポーラス (多孔質体) がはめ込まれた構成です。ポーラスバキュームチャック、多孔質真空チャックなどの別名で呼ばれることもあります。
ポーラスチャックは、吸着固定するという用途で検査装置・測定装置など様々な装置に使用されています。主な用途に下記のようなものがあります。
ポーラスチャックと共に使用される装置としては、
などが挙げられます。
ポーラスチャックに用いられるポーラス (多孔質体) の材質には、アルミナセラミック、炭化ケイ素 (SiC) 、ステンレス (SUS)、樹脂などがあります。アルミナセラミックが最も標準的であり、炭化ケイ素は静電気対策に使用され、ステンレスは導電体です。樹脂は柔らかい素材であるため、吸着ワークへのダメージが少ない特徴があります。ボディにはステンレス、アルミニウム、セラミックなどが使用されます。
図2. ポーラスチャックの模式図
ポーラスチャックはポーラスの吸気孔から空気を引いて負圧にすることで真空吸着し、対象物を固定します。面全体に対象物を乗せることで、変形させること無く均一に吸着固定することが可能です。気孔径は約2μm〜約230μmですが、標準的には55μm、120μm、10μm、2μmなどが使用されることが多いです。反対側のポーラス面には溝があり、ポーラスを通してワークに対する負圧を受けるようになっています。
ポーラスの粒が粗い場合、ワークの表面に凸凹が生じるため、ポーラスの粒が細かいほど平面度が高くなります。また、全面を対象物で覆わなくても吸着することが可能です。これは、ポーラスチャックは綿密な気孔が全面に広がっているため、エアーの漏れが発生しづらいことによります。液体を使用する工程や対象物が濡れている場合など、湿式での使用もできます。
図3. 色々なポーラスチャック (左: 角形ポーラスチャック、右: 面発光ポーラスチャック)
ポーラスチャックには、前述の通り、素材・ボディなどに様々な種類があります。また、形状は丸形の他、角形もあります。用途に合わせて適切なものを選定することが必要です。
最もスタンダードな仕様のポーラスチャックは、平均気孔径55μm、材質はポーラス/ボディが、アルミナセラミック/SUSです。気孔径2μmなどの特に緻密なポーラスを用いたポーラスチャックは、ファインポーラスチャックと呼ばれ、特に薄い対象物の吸着や部分吸着力に優れています。
炭化ケイ素 (SiC) を用いたポーラスチャックは帯電除去素材であり、また傷にも強い素材です。特にレーザー加工に適しています。ボディにセラミックやアルミを採用したものでは、スタンダード仕様よりも軽量化が図られています。ポーラスにSUS素材を採用したメタルポーラスチャックでは対象物であるワークとポーラス間で導通させることが可能です。
ポーラスチャックの中には光源を内蔵して発光機能を追加したものや、ヒーターを内蔵して加熱機能を付加したものなどがあります。面発光ポーラスチャックは、多層ウェハの内部検査や、エッジ検査の精度向上などに役立ちます。加熱機能のあるポーラスチャックは吸着と同時に250℃程度までの加熱が可能です。
参考文献
https://www.nittan.co.jp/member/admin/document_upload/takousituceramicsinkuucyaku.pdf
*一部商社などの取扱い企業なども含みます。
2024年11月の注目ランキングベスト10
注目ランキング導出方法| 順位 | 会社名 | クリックシェア |
|---|---|---|
| 1 | ピーアイ・ジャパン株式会社 |
18.5%
|
| 2 | 黒崎播磨株式会社 |
16.0%
|
| 3 | 株式会社ナノテム |
11.1%
|
| 4 | 株式会社NTKセラテック |
9.9%
|
| 5 | 京セラ株式会社 |
9.9%
|
| 6 | 株式会社吉岡精工 |
8.6%
|
| 7 | 西村陶業株式会社 |
7.4%
|
| 8 | アスザック株式会社 |
6.2%
|
| 9 | 株式会社塩 |
6.2%
|
| 10 | ピー・ヂー・ダブリュー 株式会社 |
2.5%
|
注目ランキング導出方法について
注目ランキングは、2024年11月のポーラスチャックページ内でのクリックシェアを基に算出しています。クリックシェアは、対象期間内の全企業の総クリック数を各企業のクリック数で割った値を指します。社員数の規模
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