メーカー 12社
製品 40点

ポーラスチャック
メーカー12社【2025年】

ポーラスチャックについての概要、用途、原理などをご説明します。また、ポーラスチャックのメーカー12社一覧や企業ランキングも掲載しておりますので是非ご覧ください。ポーラスチャック関連企業の2025年2月注目ランキングは1位:ピーアイ・ジャパン株式会社、2位:黒崎播磨株式会社、3位:株式会社吉岡精工となっています。

ポーラスチャックとは？
ポーラスチャックのメーカー12社
ポーラスチャック40製品

ポーラスチャックとは

ポーラスチャックのイメージ

図1. ポーラスチャックのイメージ

ポーラスチャックとは、多孔質体の吸気孔から空気を引くことでウェハーやガラスなどの薄い物体を真空吸着するツールです。

被計測物・被加工物を吸着する目的で、加工機や検査装置のテーブル、ダイシングソーに使用されています。また搬送用の吸着パッドとしても活用されているツールです。薄いものを破損・変形なく吸着固定することに優れています。金属などのボディ (本体) にアルミナセラミックなどのポーラス (多孔質体) がはめ込まれた構成です。ポーラスバキュームチャック、多孔質真空チャックなどの別名で呼ばれることもあります。

ポーラスチャックの使用用途

ポーラスチャックは、吸着固定するという用途で検査装置・測定装置など様々な装置に使用されています。主な用途に下記のようなものがあります。

ウェハ、薄型半導体デバイス、3次元メモリ基板などの板状対象物などの加工時における固定治具
各種、測定装置、検査装置の固定治具
フィルムシートや金属基板、薄膜などの加工時における固定治具

ポーラスチャックと共に使用される装置としては、

平面研削盤
ロータリー研磨機
ラップ加工機
ダイシングソー
グラインダー
ポリッシャー
CMP
ボンディングマシン
外観検査装置
画像検査装置
二次元測定器、及び三次元測定機

などが挙げられます。

ポーラスチャックの原理

1. 材質

ポーラスチャックに用いられるポーラス (多孔質体) の材質には、アルミナセラミック、炭化ケイ素 (SiC) 、ステンレス (SUS)、樹脂などがあります。アルミナセラミックが最も標準的であり、炭化ケイ素は静電気対策に使用され、ステンレスは導電体です。樹脂は柔らかい素材であるため、吸着ワークへのダメージが少ない特徴があります。ボディにはステンレス、アルミニウム、セラミックなどが使用されます。

2. 仕組み

ポーラスチャックの模式図

図2. ポーラスチャックの模式図

ポーラスチャックはポーラスの吸気孔から空気を引いて負圧にすることで真空吸着し、対象物を固定します。面全体に対象物を乗せることで、変形させること無く均一に吸着固定することが可能です。気孔径は約2μm〜約230μmですが、標準的には55μm、120μm、10μm、2μmなどが使用されることが多いです。反対側のポーラス面には溝があり、ポーラスを通してワークに対する負圧を受けるようになっています。

ポーラスの粒が粗い場合、ワークの表面に凸凹が生じるため、ポーラスの粒が細かいほど平面度が高くなります。また、全面を対象物で覆わなくても吸着することが可能です。これは、ポーラスチャックは綿密な気孔が全面に広がっているため、エアーの漏れが発生しづらいことによります。液体を使用する工程や対象物が濡れている場合など、湿式での使用もできます。

ポーラスチャックの種類

色々なポーラスチャック (左: 角形ポーラスチャック、右: 面発光ポーラスチャック)

図3. 色々なポーラスチャック (左: 角形ポーラスチャック、右: 面発光ポーラスチャック)

ポーラスチャックには、前述の通り、素材・ボディなどに様々な種類があります。また、形状は丸形の他、角形もあります。用途に合わせて適切なものを選定することが必要です。

1. 素材別種類

最もスタンダードな仕様のポーラスチャックは、平均気孔径55μm、材質はポーラス/ボディが、アルミナセラミック/SUSです。気孔径2μmなどの特に緻密なポーラスを用いたポーラスチャックは、ファインポーラスチャックと呼ばれ、特に薄い対象物の吸着や部分吸着力に優れています。

炭化ケイ素 (SiC) を用いたポーラスチャックは帯電除去素材であり、また傷にも強い素材です。特にレーザー加工に適しています。ボディにセラミックやアルミを採用したものでは、スタンダード仕様よりも軽量化が図られています。ポーラスにSUS素材を採用したメタルポーラスチャックでは対象物であるワークとポーラス間で導通させることが可能です。

2. 特殊機能の付加

ポーラスチャックの中には光源を内蔵して発光機能を追加したものや、ヒーターを内蔵して加熱機能を付加したものなどがあります。面発光ポーラスチャックは、多層ウェハの内部検査や、エッジ検査の精度向上などに役立ちます。加熱機能のあるポーラスチャックは吸着と同時に250℃程度までの加熱が可能です。

参考文献
https://www.nittan.co.jp/member/admin/document_upload/takousituceramicsinkuucyaku.pdf

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ポーラスチャックメーカー 12社

*一部商社などの取扱い企業なども含みます。

- - 黒崎播磨株式会社メーカー
    真空吸着チャック
  - 会社サイト上場(東証プライム) 創業: 1919年従業員数: 2,362人会社詳細
  - 住所: 福岡県北九州市八幡西区東浜町1番1号
- - 株式会社NTKセラテックメーカー
    真空チャック(ポーラスチャック)
  - 会社サイト創業: 1987年従業員数: 300人資本金: 450,000,000円会社詳細
  - 住所: 宮城県仙台市泉区明通三丁目24 番地1
- - アスザック株式会社メーカー
    多孔質チャック
  - 会社サイト創業: 1946年従業員数: 410人資本金: 63,500,000円会社詳細
  - 住所: 長野県上高井郡高山村大字中山981
- - 京セラ株式会社メーカー商社・代理店
    真空チャック、ステージ一体型ミラー、ステージ部品
  - 会社サイト上場(東証プライム) 創業: 1959年従業員数: 83,001人会社詳細
  - 住所: 京都府京都市伏見区竹田鳥羽殿町6
- - 西村陶業株式会社
    セラミックス製真空チャック/部分吸着真空チャック VM-6(ポーラスチャック)
  - 会社サイト創業: 1918年従業員数: 54人資本金: 60,000,000円会社詳細
  - 住所: 京都府京都市山科区川田清水焼団地町3-2
- - 株式会社塩
    真空吸着固定装置ポーラスチャック
  - 会社サイト創業: 2008年資本金: 3,000,000円会社詳細
  - 住所: 東京都八王子市横山町21-12 池田ビル2階
- - 株式会社吉岡精工
    ポーラスチャック一覧
  - 会社サイト創業: 1971年従業員数: 19人資本金: 30,000,000円会社詳細
  - 住所: 神奈川県横浜市鶴見区末広町1-1-49（末広ファクトリーパーク）
- - 株式会社ナノテム
    エアロフィックス
  - 会社サイト創業: 1998年会社詳細
  - 住所: 新潟県長岡市城岡3丁目2-10
- - 株式会社タイショー
    吸着ステージ(ポーラスチャック)
  - 会社サイト創業: 2008年資本金: 9,000,000円会社詳細
  - 住所: 埼玉県川越市福田479番地1号
- - モリシン工業株式会社
    真空チャック(バキュームチャック)
  - 会社サイト創業: 1979年会社詳細
  - 住所: 岐阜県下呂市みまやの1275-1
- - ピー・ヂー・ダブリュー株式会社
    ポーラスチャック
  - 会社サイト創業: 1997年従業員数: 20人会社詳細
  - 住所: 岐阜県不破郡関ヶ原大字関ヶ原2838-24
- - ピーアイ・ジャパン株式会社
    ポーラスチャック一覧
  - 会社サイト創業: 1991年従業員数: 15人資本金: 20,000,000円会社詳細
  - 住所: 神奈川県幸区堀川町580番地　ソリッドスクエア西館17F

ポーラスチャック 2025年2月のメーカーランキング

*一部商社などの取扱い企業なども含みます

2025年2月の注目ランキングベスト10

順位	会社名	クリックシェア
1	ピーアイ・ジャパン株式会社	22.9%
2	黒崎播磨株式会社	13.3%
3	株式会社吉岡精工	10.8%
4	株式会社NTKセラテック	8.4%
5	株式会社ナノテム	7.2%
6	西村陶業株式会社	7.2%
7	株式会社塩	7.2%
8	京セラ株式会社	7.2%
9	モリシン工業株式会社	6.0%
10	株式会社タイショー	4.8%