【2021年版】ポーラスチャックメーカー10社一覧

ポーラスチャックのメーカー10社を一覧でご紹介します。まずは使用用途や原理についてご説明します。

ポーラスチャックとは？
ポーラスチャックのメーカー10社一覧

ポーラスチャックとは

ポーラスチャックとは、被計測物・被加工物を吸着する機能を持ち、検査装置やダイシングソーに使用されています。テーブルの表面には負圧と多孔質構造を利用することによって薄いシリコンウェーハーなどを平面状態で保持できます。ダイシングソーで使用される場合、シリコンウェハーを10～20マイクロメーター程度の幅で切断するため、シリコンウェハー吸着面には平行度・平面度が求められます。

薄いものを破損・変形なく吸着固定することに優れています。

ポーラスチャックの使用用途

半導体製造装置に使用される場合、その用途によって主に4種類へ分けられます。その4種はいずれも測定装置・検査装置などの分野へ貢献する可能性があります。

吸着テーブルはダイシングソー・グラインダ・ポリッシャなどに使用されます。

ヒーターテーブルはボンディングマシンなどに使用されます。

スピンナーテーブルはダイシングソー・レジスト塗布装置などに使用されます。

突上ステージはダイボンディングマシンなどに使用されています。

ポーラスチャックの原理

ポーラスの材質にはステンレス粒・アルミナセラミックがあり、ボディの材質にはチタン・ステンレス・アルミがあります。これらの材質は用途によって使い分けます。

アルミナセラミックを焼き固めたものをセラミックポーラス、ステンレスの粉を焼き固めたものメタルポーラスといいます。これらは用途に合わせた番手を製作できます。

セラミックポーラスは着色が可能です。一般的には濃紺・茶色・黒など暗めの色が用いられます。色が暗めであることにより汚れを判別やワークに光を当てることによって生じる反射を防ぎ、画像の鮮明さを確保します。

一般的なものは金属製の本体とセラミック製のポーラスから成り立っています。ワークを乗せることで本体の中心部から負圧を引き、ポーラス全体に拡がるようにワークを受ける反対側のポーラス面には溝があります。ポーラスを通してワークに対する負圧を受けるようになっています。ポーラスの粒が粗い場合、ワークの表面に凸凹が生じるため、ポーラスの粒が細かいほど平面度が高くなります。

【2021年版】ポーラスチャック メーカー10社一覧

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