【2022年版】ポーラスチャック メーカー9社一覧
ポーラスチャックについての概要、用途、原理などをご説明します。また、ポーラスチャックのメーカー9社一覧や企業ランキングも掲載しておりますので是非ご覧ください。ポーラスチャック関連企業の2022年4月注目ランキングは1位:黒崎播磨株式会社、2位:株式会社NTKセラテック、3位:西村陶業株式会社となっています。
ポーラスチャックとは
ポーラスチャックとは、被計測物・被加工物を吸着する機能を持ち、検査装置やダイシングソーに使用されています。テーブルの表面には負圧と多孔質構造を利用することによって薄いシリコンウェーハーなどを平面状態で保持できます。ダイシングソーで使用される場合、シリコンウェハを10～20マイクロメーター程度の幅で切断するため、シリコンウェハ吸着面には平行度・平面度が求められます。
薄いものを破損・変形なく吸着固定することに優れています。
ポーラスチャックの使用用途
半導体製造装置に使用される場合、その用途によって主に4種類へ分けられます。その4種はいずれも測定装置・検査装置などの分野へ貢献する可能性があります。
吸着テーブルはダイシングソー・グラインダ・ポリッシャなどに使用されます。
ヒーターテーブルはボンディングマシンなどに使用されます。
スピンナーテーブルはダイシングソー・レジスト塗布装置などに使用されます。
突上ステージはダイボンディングマシンなどに使用されています。
ポーラスチャックの原理
ポーラスの材質にはステンレス粒・アルミナセラミックがあり、ボディの材質にはチタン・ステンレス・アルミがあります。これらの材質は用途によって使い分けます。
アルミナセラミックを焼き固めたものをセラミックポーラス、ステンレスの粉を焼き固めたものメタルポーラスといいます。これらは用途に合わせた番手を製作できます。
セラミックポーラスは着色が可能です。一般的には濃紺・茶色・黒など暗めの色が用いられます。色が暗めであることにより汚れを判別やワークに光を当てることによって生じる反射を防ぎ、画像の鮮明さを確保します。
一般的なものは金属製の本体とセラミック製のポーラスから成り立っています。ワークを乗せることで本体の中心部から負圧を引き、ポーラス全体に拡がるようにワークを受ける反対側のポーラス面には溝があります。ポーラスを通してワークに対する負圧を受けるようになっています。ポーラスの粒が粗い場合、ワークの表面に凸凹が生じるため、ポーラスの粒が細かいほど平面度が高くなります。
参考文献
https://www.nittan.co.jp/member/admin/document_upload/takousituceramicsinkuucyaku.pdf
https://www.porous-chuck.com/porous_chuck/
https://www.yoshioka.co.jp/product/porouschuk/
ポーラスチャックのメーカー9社一覧
*一部商社などの取扱い企業なども含みます。
企業の並び替え
ポーラスチャックのメーカーランキング
*一部商社などの取扱い企業なども含みます2022年4月の注目ランキングベスト10
| 順位 | 会社名 | クリックシェア |
|---|---|---|
| 1 | 黒崎播磨株式会社 | 21.3% |
| 2 | 株式会社NTKセラテック | 13.1% |
| 3 | 西村陶業株式会社 | 11.5% |
| 4 | 京セラ株式会社 | 11.5% |
| 5 | モリシン工業株式会社 | 9% |
| 6 | アスザック株式会社 | 8.2% |
| 7 | 株式会社タイショー | 8.2% |
| 8 | 株式会社ナノテム | 6.6% |
| 9 | 株式会社塩 | 6.6% |
| 10 | 株式会社吉岡精工 | 4.1% |
注目ランキング導出方法について
注目ランキングは、2022年4月のポーラスチャックページ内でのクリックシェアを基に算出しています。クリックシェアは、対象期間内の全企業の総クリック数を各企業のクリック数で割った値を指します。社員数の規模
- 1 京セラ株式会社
- 2 黒崎播磨株式会社
- 3 アスザック株式会社
設立年の新しい会社
- 1 株式会社塩
- 2 株式会社タイショー
- 3 株式会社ナノテム
歴史のある会社
- 1 西村陶業株式会社
- 2 黒崎播磨株式会社
- 3 アスザック株式会社
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