ポーラスチャックのメーカー10社を一覧でご紹介します。まずは使用用途や原理についてご説明します。
ポーラスチャックとは
ポーラスチャックとは、被計測物・被加工物を吸着する機能を持ち、検査装置やダイシングソーに使用されています。テーブルの表面には負圧と多孔質構造を利用することによって薄いシリコンウェーハーなどを平面状態で保持できます。ダイシングソーで使用される場合、シリコンウェハを10～20マイクロメーター程度の幅で切断するため、シリコンウェハ吸着面には平行度・平面度が求められます。
薄いものを破損・変形なく吸着固定することに優れています。
ポーラスチャックの使用用途
半導体製造装置に使用される場合、その用途によって主に4種類へ分けられます。その4種はいずれも測定装置・検査装置などの分野へ貢献する可能性があります。
吸着テーブルはダイシングソー・グラインダ・ポリッシャなどに使用されます。
ヒーターテーブルはボンディングマシンなどに使用されます。
スピンナーテーブルはダイシングソー・レジスト塗布装置などに使用されます。
突上ステージはダイボンディングマシンなどに使用されています。
ポーラスチャックの原理
ポーラスの材質にはステンレス粒・アルミナセラミックがあり、ボディの材質にはチタン・ステンレス・アルミがあります。これらの材質は用途によって使い分けます。
アルミナセラミックを焼き固めたものをセラミックポーラス、ステンレスの粉を焼き固めたものメタルポーラスといいます。これらは用途に合わせた番手を製作できます。
セラミックポーラスは着色が可能です。一般的には濃紺・茶色・黒など暗めの色が用いられます。色が暗めであることにより汚れを判別やワークに光を当てることによって生じる反射を防ぎ、画像の鮮明さを確保します。
一般的なものは金属製の本体とセラミック製のポーラスから成り立っています。ワークを乗せることで本体の中心部から負圧を引き、ポーラス全体に拡がるようにワークを受ける反対側のポーラス面には溝があります。ポーラスを通してワークに対する負圧を受けるようになっています。ポーラスの粒が粗い場合、ワークの表面に凸凹が生じるため、ポーラスの粒が細かいほど平面度が高くなります。
参考文献
https://www.nittan.co.jp/member/admin/document_upload/takousituceramicsinkuucyaku.pdf
https://www.porous-chuck.com/porous_chuck/
https://www.yoshioka.co.jp/product/porouschuk/
ポーラスチャックのメーカー10社一覧
*一部商社などの取扱い企業なども含みます。
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京セラ株式会社
商社・代理店 メーカー
真空チャック、ステージ一体型ミラー、ステージ部品
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黒崎播磨株式会社
真空吸着チャック
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株式会社塩
真空吸着固定装置 ポーラスチャック
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株式会社吉岡精工
ポーラスチャック一覧
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株式会社ナノテム
エアロフィックス
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株式会社タイショー
吸着ステージ(ポーラスチャック)
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株式会社NTKセラテック
真空チャック(ポーラスチャック)
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モリシン工業株式会社
真空チャック(バキュームチャック)
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アスザック株式会社
多孔質チャック
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ポーラスチャックのメーカーランキング
社員数の規模
- 1 京セラ株式会社
- 2 黒崎播磨株式会社
- 3 アスザック株式会社
設立年の新しい会社
- 1 株式会社塩
- 2 株式会社タイショー
- 3 株式会社ナノテム
歴史のある会社
- 1 西村陶業株式会社
- 2 黒崎播磨株式会社
- 3 アスザック株式会社
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