P-620.Z-P-622.Z PIHera Z軸動作ピエゾステージ-P-620.Z0L
P-620.Z-P-622.Z PIHera Z軸動作ピエゾステージ-ピーアイ・ジャパン株式会社

P-620.Z-P-622.Z PIHera Z軸動作ピエゾステージ ピーアイ・ジャパン株式会社

ピーアイ・ジャパン株式会社の対応状況

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この製品について

■応用分野

・干渉計 ・顕微鏡 ・ナノポジショニング ・バイオテクノロジー ・テストアプリケーション ・半導体技術 製品概要

■PICMA®ピエゾアクチュエータによる優れた寿命

特許取得済みのPICMA®ピエゾアクチュエータは、オールセラミック絶縁されています。これにより、漏れ電流の増加に起因する湿度や故障から保護されます。PICMA®アクチュエータは、従来のポリマー絶縁アクチュエータよりも最大100倍長い寿命を提供します。1回の故障もない1,000億サイクルが証明されています。

■静電容量センサーによるサブナノメートルの分解能

静電容量センサーは、接触することなくサブナノメートルの分解能で測定します。これらのデバイスは、優れた直線性、長期安定性、およびkHz範囲の帯域幅を保証します。

■ゼロプレイフレクシャガイドによる高いガイド精度

フレクシャガイドはメンテナンス、摩擦、摩耗がなく、潤滑を必要としません。その剛性は高い負荷容量を可能にし、衝撃や振動の影響を受けません。それらは広い温度範囲で動作します。

■直接位置測定による最大精度

モーションは、ドライブやガイド要素の影響を受けずにモーションプラットフォームで直接測定されます。これにより、最適な再現性、優れた安定性、剛性と高速応答の制御が可能になります。

■製品特徴

・移動範囲50μmから250μm (350μmオープンループ) ・0.1nmまでの分解能 ・直線性誤差はわずか0.02% ・静電容量センサーによる直接位置測定 ・X、XY、Z、XYZ バージョン

■その他

・PIピエゾナノポジショニングシステムは摩擦がないため、システムの分解能はアンプのノイズと測定技術によってのみ制限されます。 ・すべての仕様は室温 (22℃±3℃) に基づいています。

  • シリーズ

    P-620.Z-P-622.Z PIHera Z軸動作ピエゾステージ



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P-620.Z-P-622.Z PIHera Z軸動作ピエゾステージ 品番9件

各品番毎の詳細は品番をクリックしてください

まとめて問合せ・見積 商品画像 品番 価格 (税抜) アクティブ軸 移動範囲 (Z) 、開ループ (µm) ヨー (θXの回転クロストークとZの運動) (μrad) ピッチ (回転クロストーク (θY、運動はZ) (μrad) Z単位の分解能、開ループ (nm) ドライブの種類 Z単位の電気容量 (μF) 短期最大動作周波数 (Hz) ガイド Zの剛性 (N/μm) Zの共振周波数、30gの負荷下 (Hz) Zの共振周波数、無負荷 (Hz) Y単位の許容押し力 (N) Z単位の許容押し力 (N) Z単位の許容引張力 (N) 全体の質量 (g) 材料 コネクタ 推奨コントローラ/ドライバ ケーブル長 (m) 使用温度範囲 (℃) Z単位の移動範囲 (µm) Zの直線性誤差 (%) 統合センサー Zでのシステム解像度 (nm) Zでの双方向再現性 (nm) センサーコネクタ
P-620.Z-P-622.Z PIHera Z軸動作ピエゾステージ-品番-P-620.Z0L

P-620.Z0L

要見積もり Z 65 ±80 ±80 0.1 ピクマ® 0.7 333 レバー増幅付き曲げガイド 0.5 690 1,000 10 10 5 120 アルミニウム LEMOFFS.00.250.CTCE24 E-503,E-505,E-610 1.5 -20から150 - - - - - -
P-620.Z-P-622.Z PIHera Z軸動作ピエゾステージ-品番-P-620.ZCD

P-620.ZCD

要見積もり Z 65 ±80 ±80 0.1 ピクマ® 0.7 333 レバー増幅付き曲げガイド 0.5 690 1,000 10 10 5 120 アルミニウム D-sub7W2 (m) E-503,E-505,E-610,E-621,E-625,E-709.1C1L,E-754 1.5 -20から80 50 0.02 静電容量式、直接位置測定 0.2 ±1 D-sub7W2 (m)
P-620.Z-P-622.Z PIHera Z軸動作ピエゾステージ-品番-P-620.ZCL

P-620.ZCL

要見積もり Z 65 ±80 ±80 0.1 ピクマ® 0.7 333 レバー増幅付き曲げガイド 0.5 690 1,000 10 10 5 120 アルミニウム LEMOFFS.00.250.CTCE24 E-503,E-505,E-610,E-621,E-625,E-709.1C1L,E-754 1.5 -20から80 50 0.02 静電容量式、直接位置測定 0.2 ±1 静電容量センサー用LEMO
P-620.Z-P-622.Z PIHera Z軸動作ピエゾステージ-品番-P-621.Z0L

P-621.Z0L

要見積もり Z 140 ±100 ±100 0.2 ピクマ® 3 263 レバー増幅付き曲げガイド 0.6 500 790 10 10 8 170 アルミニウム LEMOFFS.00.250.CTCE24 E-503,E-505,E-610 1.5 -20から150 - - - - - -
P-620.Z-P-622.Z PIHera Z軸動作ピエゾステージ-品番-P-621.ZCD

P-621.ZCD

要見積もり Z 140 ±100 ±100 0.2 ピクマ® 3 263 レバー増幅付き曲げガイド 0.6 500 790 10 10 8 170 アルミニウム D-sub7W2 (m) E-503,E-505,E-610,E-621,E-625,E-709.1C1L,E-754 1.5 -20から80 100 0.02 静電容量式、直接位置測定 0.3 ±1 D-sub7W2 (m)
P-620.Z-P-622.Z PIHera Z軸動作ピエゾステージ-品番-P-621.ZCL

P-621.ZCL

要見積もり Z 140 ±100 ±100 0.2 ピクマ® 3 263 レバー増幅付き曲げガイド 0.6 500 790 10 10 8 170 アルミニウム LEMOFFS.00.250.CTCE24 E-503,E-505,E-610,E-621,E-625,E-709.1C1L,E-754 1.5 -20から80 100 0.02 静電容量式、直接位置測定 0.3 ±1 静電容量センサー用LEMO
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P-622.Z0L

要見積もり Z 350 ±200 ±200 0.5 ピクマ® 6.2 120 レバー増幅付き曲げガイド 0.24 270 360 10 10 8 240 アルミニウム LEMOFFS.00.250.CTCE24 E-503,E-505,E-610 1.5 -20から150 - - - - - -
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P-622.ZCD

要見積もり Z 350 ±200 ±200 0.5 ピクマ® 6.2 120 レバー増幅付き曲げガイド 0.24 270 360 10 10 8 240 アルミニウム D-sub7W2 (m) E-503,E-505,E-610,E-621,E-625,E-709.1C1L,E-754 1.5 -20から80 250 0.02 静電容量式、直接位置測定 1 ±1 D-sub7W2 (m)
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P-622.ZCL

要見積もり Z 350 ±200 ±200 0.5 ピクマ® 6.2 120 レバー増幅付き曲げガイド 0.24 270 360 10 10 8 240 アルミニウム LEMOFFS.00.250.CTCE24 E-503,E-505,E-610,E-621,E-625,E-709.1C1L,E-754 1.5 -20から80 250 0.02 静電容量式、直接位置測定 1 ±1 静電容量センサー用LEMO

のついている項目名や値は、Metoreeの自然言語処理アルゴリズムを用いて自動生成された値です。各メーカーの製品を横断して比較しやすくするための参考としてご利用ください。自動生成データは黒色の文字、元データは灰色の文字です。

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会社概要

ピーアイ・ジャパン株式会社は、Physik Instrumente GmbH社(ドイツ)の日本法人として、ピエゾやモーターを用いた超精密位置決め製品の販売・提案・修理・サービスを行っております。
1991年にドイ...

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