大口径で高いダイナミクス P-518 • P-528 • P-558 ピエゾZ /チップ/チルトステージ ピーアイ・ジャパン株式会社
ピーアイ・ジャパン株式会社の対応状況
返答率
100.0%
平均返答時間
0.6時間
この製品について
■応用分野
・度量衡 ・干渉計 ・フォトニクス/集積光学 ・リトグラフ ・ナノポジショニング ・走査型顕微鏡 ・サンプルアライメント ・マイクロマシニング■製品説明
・PICMA®ピエゾアクチュエータによる優れた寿命 ・静電容量センサーによるサブナノメートルの分解能 ・ゼロプレイフレクシャガイドによる高いガイド精度 ・自動構成と高速コンポーネント交換 ・並列位置測定によるナノメートル範囲での高いトラッキング精度■製品特徴
・Zステージとチップ/チルトステージ (3軸) /Zステージ (1軸) ・Z単位の移動範囲/チップ/チルト角度は200μm/2mrad、閉ループ (240μm/2.4mradの開ループまで) ・並列キネマティクスにより、応答時間の短縮と多軸精度の向上を実現 ・ゼロプレイ、高精度フレクシャガイドシステム ・PICMA®ピエゾアクチュエータによる優れた寿命 ・クリアアパーチャ66mm×66mm ・静電容量センサーによる最高の直線性■その他
・Zでの許容プッシュ/プル力:水平に取り付けられている場合 (吊り下げられていない表面に立っている場合) 。 ・電気容量:チャンネルごとに規定 (ユーザーマニュアルのピン配置を参照) 。 ・PIピエゾナノポジショニングシステムは摩擦がないため、システムの分解能はアンプのノイズと測定技術によってのみ制限されます。 ・すべての仕様は室温 (22℃±3℃) に基づいています。-
シリーズ
大口径で高いダイナミクス P-518 • P-528 • P-558 ピエゾZ /チップ/チルトステージ
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取扱企業
ピーアイ・ジャパン株式会社
位置決めステージ注目ランキング
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大口径で高いダイナミクス P-518 • P-528 • P-558 ピエゾZ /チップ/チルトステージ 品番9件
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| まとめて問合せ・見積 | 商品画像 | 品番 | 価格 (税抜) | アクティブ軸 | Z単位の移動範囲 (µm) | 移動範囲 (Z)、開ループ (µm) | θX単位の回転範囲 (mrad) | θY単位の回転範囲 (mrad) | θX単位の回転範囲、開ループ (mrad) | 回転範囲 (θY)、開ループ (mrad) | Zの直線性誤差 (%) | θXの直線性誤差 (%) | θYの直線性誤差 (%) | ヨー (θXの回転クロストークとZの運動) (µrad) | ピッチ (θY単位回転クロストークZ単位運動) (µrad) | ロール (回転クロストーク (θZ、Zの動き) (µrad) | 統合センサー | Z単位のシステム解像度 (nm) | θX単位のシステム分解能 (µrad) | θY単位のシステム分解能 (µrad) | Z単位の分解能、オープンループ (nm) | θX単位の分解能、開ループ (µrad) | θY単位の分解能、開ループ (µrad) | Zでの双方向再現性 (nm) | θXにおける双方向再現性 (µrad) | 双方向再現性 (θY) (µrad) | ドライブの種類 | Z単位の電気容量 (μF) | ガイド | Z単位の剛性 (N/μm) | 共振周波数 (Z)、無負荷 (Hz) | 共振周波数 (Z単位) 、2,500gの負荷下 (Hz) | 共振周波数 (Z単位)、500gの負荷下 (Hz) |
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
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P-518.TCD |
要見積もり | ZθXθY | 100 | 140 | 1 | 1 | 1.4 | 1.4 | 0.03 | 0.15 | 0.15 | ±.25 | ±25 | ±5 | 静電容量式、間接位置測定 | 0.8 | 0.05 | 0.05 | 0.4 | 0.04 | 0.04 | ±5 | ±0.05 | 0.05 | ピクマ® | 2.1 | レバー増幅付き曲げガイド | 2.7 | 500 | 200 | 350 | |
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P-518.ZCD |
要見積もり | Z | 100 | 140 | - | - | - | - | 0.03 | - | - | ±.25 | ±25 | ±5 | 静電容量式、間接位置測定 | 0.8 | - | - | 0.2 | - | - | ±5 | - | - | ピクマ® | 8.4 | レバー増幅付き曲げガイド | 2.7 | 500 | 200 | 350 | |
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P-518.ZCL |
要見積もり | Z | 100 | 140 | - | - | - | - | 0.03 | - | - | ±.25 | ±25 | ±5 | 静電容量式、間接位置測定 | 0.8 | - | - | 0.2 | - | - | ±5 | - | - | ピクマ® | 8.4 | レバー増幅付き曲げガイド | 2.7 | 500 | 200 | 350 | |
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P-528.TCD |
要見積もり | ZθXθY | 200 | 240 | 2 | 2 | 2.4 | 2.4 | 0.03 | 0.15 | 0.15 | ±50 | ±50 | ±10 | 静電容量式、間接位置測定 | 1 | 0.04 | 0.04 | 0.6 | 0.06 | 0.06 | ±10 | ±0.1 | ±0.1 | ピクマ® | 3.7 | レバー増幅付き曲げガイド | 1.5 | 350 | 130 | 210 | |
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P-528.ZCD |
要見積もり | Z | 200 | 240 | - | - | - | - | 0.03 | - | - | ±50 | ±50 | ±10 | 静電容量式、間接位置測定 | 1 | - | - | 0.6 | - | - | ±10 | - | - | ピクマ® | 14.8 | レバー増幅付き曲げガイド | 1.5 | 350 | 130 | 210 | |
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P-528.ZCL |
要見積もり | Z | 200 | 240 | - | - | - | - | 0.03 | - | - | ±50 | ±50 | ±10 | 静電容量式、間接位置測定 | 1 | - | - | 0.6 | - | - | ±10 | - | - | ピクマ® | 14.8 | レバー増幅付き曲げガイド | 1.5 | 350 | 130 | 210 | |
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P-558.TCD |
要見積もり | ZθXθY | 50 | 60 | 0.5 | 0.5 | 0.6 | 0.6 | 0.03 | 0.15 | 0.15 | ±25 | ±25 | ±5 | 静電容量式、間接位置測定 | 0.5 | 0.05 | 0.05 | 0.2 | 0.02 | 0.02 | ±5 | ±0.03 | ±0.03 | ピクマ® | 1.5 | レバー増幅付き曲げガイド | 4 | 570 | 245 | 410 | |
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P-558.ZCD |
要見積もり | Z | 50 | 60 | - | - | - | - | 0.03 | - | - | ±25 | ±25 | ±5 | 静電容量式、間接位置測定 | 0.5 | - | - | 0.2 | - | - | ±0.03 | - | - | ピクマ® | 5 | レバー増幅付き曲げガイド | 4 | 570 | 245 | 410 | |
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P-558.ZCL |
要見積もり | Z | 50 | 60 | - | - | - | - | 0.03 | - | - | ±25 | ±25 | ±5 | 静電容量式、間接位置測定 | 0.5 | - | - | 0.2 | - | - | ±0.03 | - | - | ピクマ® | 6 | レバー増幅付き曲げガイド | 4 | 570 | 245 | 410 |
のついている項目名や値は、Metoreeの自然言語処理アルゴリズムを用いて自動生成された値です。各メーカーの製品を横断して比較しやすくするための参考としてご利用ください。自動生成データは黒色の文字、元データは灰色の文字です。
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