大気圧プラズマ装置ダウンストリーム型（Preciseシリーズ）-Preciseダウンストリーム型

大気圧プラズマ装置ダウンストリーム型（Preciseシリーズ）
株式会社イー・スクエア

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この製品について

製品はPreciseシリーズです。完全に処理ダメージを排除し、幅広表面への均一な処理が可能です。
装置価格は装置のプラズマ幅 (200mmから2950mm幅まで) で変わりますので、お問い合わせ頂きます様お願いします。

■特徴1.幅広ワーク表面への機能性付与を均一且つダメージフリー処理。
2.目的とする接触角を装置独自でコントロールできる。
3.活性種 (ラジカル) はその吐出圧によりワーク細部まで浸透し、繊維束や、ポーラス表面への内部処理ができる。
4.添加ガスを変えることにより、撥水・還元処理やエッチング、高濃度オゾンソースとして滅菌・殺菌処理に使用できる。
オゾン濃度は瞬時に5000ppmの高濃度発生が可能。
5.200mmから2950mmの平面への均一な処理が可能。
6.プラズマ発生部が隔離されているため、 処理表面への物理的ダメージがない。
7.処理中、処理後の静電気発生がない。
8.特殊電極構造により電気的な電子デバイス等への悪影響は皆無。

■他社に無い弊社独自の特徴1.プラズマ生成時の紫外光を抑えた (従来強度比1/80) ことによる、ワーク分子へのダメージを回避。
2.印加高周波電力、誘電体の最適化により、プラズマ電極内部からの発塵 (0.3μ以上) をほぼゼロを確立しクリーンなプロセ　　　スに対応。放電電極に使用される誘電体 （電極）の交換や、研磨することなくほぼ半永久的に使用でき、大きくランニングコストに貢献。
3.特殊電極構造により高密度ラジカル発生が可能になり、プラズマ発生に使用する窒素ガスの消費量を削減 に成功し、ランニングコスト低減に貢献。