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完全ダメージレス大気圧プラズマ装置 ダウンストリーム型（Preciseシリーズ）-Preciseダウンストリーム型
完全ダメージレス大気圧プラズマ装置 ダウンストリーム型（Preciseシリーズ）-株式会社イー・スクエア

完全ダメージレス大気圧プラズマ装置 ダウンストリーム型（Preciseシリーズ）
株式会社イー・スクエア

💻 電子・電気機器業界用 🚗 自動車・輸送用機器業界用 ⚡ エネルギー業界用

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この製品について

製品は累計販売数1400台以上のPreciseシリーズ。完全に処理ダメージを排除し、幅広表面への均一な処理が可能です。 装置価格は装置のプラズマ幅 (200mmから2950mm幅まで) で変わりますので、お問い合わせ頂きます様お願いします。

■特徴

1.幅広ワーク表面への機能性付分子与を幅広均一に処理可能。 2.目的とする接触角を搬送速度に依存せずコントロール可。 3.活性種 (ラジカル) はその吐出圧によりワーク細部まで浸透し、繊維束や、ポーラス表面への内部処理。 4.添加ガス種を変えることにより、親水化、撥水・還元処理、ダイレクト接着、表面粗化、エッチング等多様なプロセス 　アプリケーションに対応 5.100mmから2950mmの平面への均一処理。 6.プラズマ発生時の紫外光による、ワークダメージが無い。 7.処理中、処理後の静電気発生がない。 8.特殊電極構造により、電気的な電子デバイス特性変化等皆無。 9.パーティクルフリー（2.83SLM時） 10.ペロブスカイト太陽電池、マイクロLED、ウエハー、マイクロレンズアレイ等 11、電極の半永久的寿命 12、メッキ時のシード層の分散性向上による均一化向上

■他社に無い弊社独自の特徴

1.プラズマ生成時の紫外光を抑えた (従来強度比1/80) ことによる、処理表面への光学的ダメージを回避。 2.印加高周波電力、誘電体材料等の最適化により、プラズマ電極内部からの発塵 (0.3μ以上) をほぼゼロを確立しクリーンなプ　 　ロセスに対応。放電電極に使用される誘電体 （電極）の交換や、研磨することなくほぼ半永久的に使用でき、大きくランニ　　 　ングコスト低減に貢献。 3.特殊電極構造による高密度ラジカル発生でプラズマ発生に使用する窒素ガスの消費量を約45％削減 に成功し、大幅なランニ 　ングコスト低減。

  • シリーズ

    完全ダメージレス大気圧プラズマ装置 ダウンストリーム型（Preciseシリーズ）

  • 利用シーン

    電子・電気機器業界用 / 自動車・輸送用機器業界用 / エネルギー業界用

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完全ダメージレス大気圧プラズマ装置 ダウンストリーム型（Preciseシリーズ） 品番1件

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この商品の取り扱い会社情報

株式会社イー・スクエア

会社概要

1999年8月設立、IC製造前工程に使用されるドライエッチングガス（PFC`s)用プラズマ式排気ガス処理装置開発製造販売。
2000年、大気圧プラズマでの同PFCガス分解及びポリマー化で同性能を確立。
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  • 本社所在地: 京都府

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