メーカー 217社
製品 732点

洗浄装置
メーカー217社【2025年】

洗浄装置についての概要、用途、原理などをご説明します。また、洗浄装置のメーカー217社一覧や企業ランキングも掲載しておりますので是非ご覧ください。洗浄装置関連企業の2025年2月注目ランキングは1位:株式会社ケンテック、2位:高橋金属株式会社、3位:株式会社TOSEIとなっています。

洗浄装置とは？
洗浄装置のメーカー217社
洗浄装置732製品
洗浄装置の価格・相場

洗浄装置とは

洗浄装置

洗浄装置 (英：cleaning system) とは、化学的・物理的な性質を利用して材料表面に付着している不要なものを取り除く装置です。

精密機器や半導体、ディスプレイなどの製造過程に使用されます。洗浄装置を適切に使用しなければ、不良品や歩留りが多発する可能性があります

洗浄の方法は、超音波洗浄、スプレー洗浄、ブラシ洗浄、ドライ洗浄、溶剤洗浄などさまざまです。半導体の製造の場合、製造工程数は500以上ありますが、その中で洗浄工程が30%～40%を占めると言われています。

洗浄装置の使用用途

具体的な洗浄装置の使用例は、次の通りです

半導体プロセスにおけるシリコンウェーハの洗浄
金属フィルタのメッシュに付着した汚れの洗浄
切削後の金属表面に付着した金属粉の除去

洗浄装置は、汚れの種類、洗浄対象の大きさ、洗浄時間、洗浄精度などを考慮して選択します。また、洗浄方法や使用する洗浄剤、乾燥方法なども重要です。

洗浄装置の原理

半導体プロセスの場合、洗浄の役割はウェーハの汚れを除去することです。汚れはパーティクルと呼ばれる目に見えない小さなごみ、人の垢・フケに含まれる有機物、汗などの油脂、工場内で使っている金属による汚染などがあります。

洗浄装置は、この汚れを溶剤や純水で洗い流します。洗浄後は、乾燥が必須です。ドライイン・ドライアウトと呼ばれ、必ず乾燥させてから、ウェーハを装置から出します。

洗浄装置で代表的な方式は、超音波洗浄、スプレー洗浄、ブラシ洗浄、ドライ洗浄、溶剤洗浄などです。

1. 超音波洗浄装置

超音波洗浄装置は、薬液中に洗浄対象物を入れ、内部を超音波で振動されることで洗浄する装置です。洗浄対象により、振動の大きさや周波数を選定します。

2. スプレー洗浄装置

スプレー洗浄装置は、ノズルから気体や液体を噴出させて対象物を洗浄する方式です。ハンディタイプの洗浄装置もあり、洗浄対象が大きくても対応が可能です。

3. ブラシ洗浄装置

ブラシ洗浄装置は、ブラシを用いて汚れを取り除いた後、溶液やスプレー洗浄を用いて汚れを洗い流す装置です。ブラシという物理的な方法で洗浄するため、取り除きにくい汚れを洗浄することができます。

4. ドライ洗浄装置

ドライ洗浄装置は、UV (紫外線) を洗浄対象物に照射して、オゾンと活性酸素を生成し、活性酸素と汚れを反応させて、汚れを取り除く方式です。半導体やディスプレイの製造現場で主に使用されます。

5. 溶剤洗浄装置

溶剤洗浄装置は、溶剤の溶解力を利用することにより、汚れを溶かして取り除く装置です。非常に危険な溶剤を使用する場合があるので、注意が必要です。

洗浄装置の構造

洗浄装置の基本的構成は、搬送系、処理槽、純水槽、乾燥ステージです。搬送系は対象物を搬入・搬出する装置で、処理槽の中で対象物を洗浄します。純水槽は対象物に付着した薬液を洗い流す槽、乾燥ステージは対象物を乾燥させる装置です。

1種類の処理液で洗浄できる汚れは1つが原則であり、複数の汚れを洗浄する場合は、複数の処理槽と純水槽が必要です。半導体の製造プロセスでは、複数のウェーハをまとめて処理するバッチ式と、ウェーハを1枚ずつ処理する枚葉式の装置が使われます。

バッチ式は、キャリアと呼ばれるケースにウェーハをまとめて入れ、キャリア毎処理層に入れて洗浄します。また、枚葉式は、ウェーハを1枚ずつ回転させながら、スプレー式の洗浄を行います。

洗浄装置のその他情報

洗浄装置に使用する洗浄剤

半導体の洗浄は、複数の処理液を使用します。各処理液で除去可能な汚れが異なります。各処理の後に純水で洗い流しを行います。

SPM
硫酸と過酸化水素の混合物で、有機物の除去用です。
APM
アンモニアと過酸化水素の混合物で、パーティクルと有機物を除去します。さらに、超音波を加え、パーティクルの除去率を高めます。
DHF
フッ酸と純水の混合物で、金属や酸化膜を除去します。フッ酸は、強酸であり、シリコンも溶かしてしまうので、純水で希釈したものを使って、ウェーハの表面のみを処理します。
HPM
塩酸と過酸化水素の混合物で、残った金属や酸化物を除去し、表面に不働態化層を作って、汚れの再付着を防止します。

最後にウェーハを純水で洗い流して、乾燥工程を行います。

参考文献
https://www.jstage.jst.go.jp/article/sfj/60/2/60_2_103/_pdf/-char/ja
https://www.jstage.jst.go.jp/article/sfj/60/2/60_2_95/_pdf
https://www.jstage.jst.go.jp/article/ieejjournal1888/85/924/85_924_1595/_pdf
https://www.jstage.jst.go.jp/article/sfj/60/2/60_2_103/_pdf

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洗浄装置メーカー 217社

*一部商社などの取扱い企業なども含みます。

大気圧プラズマによるドライ洗浄・既存ラインの洗浄効率向上に。注目製品
株式会社イー・スクエア

①処理ワーク幅：100mm~3000mm
②物理的、化学的、光学的、電気的ダメージレス
③既存ラインの洗浄性能向上。表面活性が高ま　　
　り洗浄性能が飛躍的に向上。
④次工程での塗布膜や各種薄膜との密着性向。
⑤高密度酸素ラジカル、OHラジカルによるドラ　
　イ洗浄。
⑥ESDフリー
⑦UVランプの様な性能劣化無い

洗浄装置（スクリーン版／メタルマスク版）注目製品
OKIネクステック株式会社

◆スクリーン／メタルマスクの性能維持
　マスクの接着部分に洗浄液がかからないため接着剥がれを回避
◆臭い漏洩防止
　部分洗浄方式により、洗浄～乾燥工程での臭いを遮断
◆高い洗浄能力
　洗浄ムラの無いスプレー洗浄方式を採用
◆作業者および環境への配慮
　環境にやさしい洗浄液で、高い洗浄能力、短時間乾燥を実現

キャスター付きの小型蒸気2流体洗浄装置注目製品
HUGパワー株式会社

超音速噴射ノズルから蒸気と液体の流体を超音速で噴射し洗浄！ランニングコストを大幅に低減します！
【特長】
■ブラシ等の消耗品がなく、ランニングコストを大幅に低減
■使用するのは「純水」のみ
■化学薬品の使用量を大幅に削減
■洗浄力を大幅に向上

ウェハ洗浄装置、ガラス基板洗浄装置、精密部品洗浄装置注目製品
株式会社ダン科学

☆ 300mmウェハカセットレス洗浄装置
☆ ガラス基板洗浄装置
☆ 精密部品洗浄装置
☆ 各種洗浄装置をお客様仕様でのフルカスタム設計

ケンテックPCS・汎用洗浄装置注目製品
株式会社ケンテック

・溶剤損失が実質"０"
・使用溶剤は常温で液体の揮発性溶剤であれば炭化水素も含めて全て使用可能
・可燃溶剤も全く安全に、引火点以上の高温洗浄可能。

水耕パネル高圧洗浄機「ぴか介」注目製品
有限会社アイエムエイ

・０.7MPa高圧水
・可動ノズル：パネル穴に合わせて配置（穴の洗浄）
・スパイラルブラシ：0.1～0.3mmナイロン毛
・使用水量：約２５L／分
・洗浄パネルサイズ：厚さ３０ｍｍ以下　幅６００ｍｍ以下（カスタム可能）
・洗浄時間１パネル約８秒～可変
・材質:アルミ、ステンレス、塩ビ、POMを主に使用

- - 株式会社イー・スクエアメーカー
    PreciseIIダウンストリーム型、プラナー型・スポット型
  - 会社サイト創業: 1999年資本金: 81,500,000円会社詳細
  - 住所: 京都府久世郡久御山町栄二丁目1番地210
- 立ち合い実験可能各種小型実験装置製作受託加工 OHラジカルによる表面活性が洗浄効果向上プラズマによる表面の有機汚染層の除去低サイドエッチングダメージレス
  
  基板洗浄等の最初に洗浄表面に対し、プラズマによるOHラジカルや官能基による表面エネルギーを向上させ洗浄効率の向上と、薬液との反応性を向上させプロセス時間の短縮に寄与する。
- - OKIネクステック株式会社メーカー
    洗浄装置（スクリーン版／メタルマスク版）
  - 会社サイト創業: 1960年従業員数: 279人資本金: 300,000,000円会社詳細
  - 住所: 埼玉県所沢市上山口1番地
- 受託開発 EMS 環境にやさしい
  
  OKIネクステックは、製造を請け負うＥＭＳだけでなく、開発設計の段階から製造まで一貫して請け負う
  ＤＭＳ（デザイン・アンド・マニュファクチュアリング）事業を展開しています。
- - HUGパワー株式会社
    小型蒸気2流体洗浄装置
  - 会社サイト創業: 2012年従業員数: 9人資本金: 71,000,000円会社詳細
  - 住所: 神奈川県横浜市緑区長津田町4259番　東京科学大学J3研究棟409
- お気軽相談無料見積り安心サポート
  
  HUGパワー株式会社は「蒸気2流体」及び「高濃度オゾン水」など機能水を利用した、化学薬品に頼らない洗浄装置の販売とそのコアモジュールの開発・設計を主業務としております。
- - 株式会社ダン科学
    ウェハ洗浄装置、ガラス基板洗浄装置、精密部品洗浄装置
  - 会社サイト創業: 1959年従業員数: 35人資本金: 48,000,000円会社詳細
  - 住所: 東京都東京都八王子市美山町2161-5
- お気軽相談無料見積り安心サポート
  
  創業当初より、秒速で進化していく電子産業界が求める厳しい精密性と高い信頼性に応えるため、スーパークリーンな環境で各種洗浄装置・空気清浄装置などの開発・製造から検査までを一貫して自社で行います。
- - 株式会社ケンテック
    ケンテックPCS・汎用洗浄装置
  - 会社サイト創業: 1996年従業員数: 1人資本金: 3,000,000円会社詳細
  - 住所: 神奈川県神奈川県大和市つきみ野一丁目6番地８８
- 高い洗浄力コスト削減可能独自装置
  
  当社は、オゾン層問題に端を発して、全く新しい発想の基に、1993年に6月から多くのご支援を得て溶剤損失のない洗浄システムの開発を行ってきました。
  その結果、従来にない密閉化技術の成果を得、特許出願を行い1996年8月に開発技術を基に洗浄装置・コウテイング装置・等溶剤を使用する業種を対象に完全密閉溶剤装置の設計製造及び販売を行う会社として設立されました。
- - 有限会社アイエムエイ商社・代理店
    植物工場・施設園芸向け自動機開発・製造
  - 会社サイト創業: 1980年従業員数: 2人資本金: 3,000,000円会社詳細
  - 住所: 大阪府岸和田市真上町91-1
- 一部デモ機で確認可能
  
  有限会社アイエムエイ　１９８０年創業
- - 高橋金属株式会社メーカー
    工業用洗浄機
  - 会社サイト創業: 1958年従業員数: 325人資本金: 98,325,000円会社詳細
  - 住所: 滋賀県長浜市細江町864-4
- - 超音波工業株式会社メーカー
    超音波洗浄装置一覧
  - 会社サイト創業: 1956年従業員数: 194人資本金: 100,000,000円会社詳細
  - 住所: 東京都立川市柏町1-6-1
- - 神奈川機器工業株式会社メーカー
    サニタリー洗浄機
  - 会社サイト創業: 1951年従業員数: 95人資本金: 60,000,000円会社詳細
  - 住所: 神奈川県横浜市磯子区岡村8-19-1
- - 水道機工株式会社メーカー
    表面洗浄装置
  - 会社サイト上場(東証スタンダード) 創業: 1924年従業員数: 882人資本金: 1,947,000,000円会社詳細
  - 住所: 東京都世田谷区桜丘5-48-16
- - 森合精機株式会社メーカー
    洗浄関連製品
  - 会社サイト創業: 1964年従業員数: 300人資本金: 78,650,000円会社詳細
  - 住所: 兵庫県明石市二見町南二見10番2
- - 株式会社麻場メーカー
    洗浄機
  - 会社サイト創業: 1949年従業員数: 130人資本金: 100,000,000円会社詳細
  - 住所: 長野県長野市大字北長池1443-2
- - 株式会社阪中緑化資材メーカー
    マルチトレイ洗浄機
  - 会社サイト創業: 1947年従業員数: 8人資本金: 25,000,000円会社詳細
  - 住所: 和歌山県紀の川市桃山町市場310-2
- - 株式会社石井製作所メーカー
    ポット苗箱洗浄機
  - 会社サイト創業: 1921年資本金: 45,000,000円会社詳細
  - 住所: 山形県酒田市京田4丁目1番地の13
- - 株式会社櫻川ポンプ製作所メーカー
    ピット式タイヤ洗浄機
  - 会社サイト創業: 1953年従業員数: 101人会社詳細
  - 住所: 東京都江戸川区中葛西6-13-18
- - 株式会社日立ハイテクサイエンスメーカー
    大型フォトマスク洗浄装置
  - 会社サイト創業: 2000年従業員数: 671人資本金: 100,000,000円会社詳細
  - 住所: 東京都港区虎ノ門一丁目17番1号虎ノ門ヒルズビジネスタワー
- - 株式会社太陽メーカー
    野菜洗浄機
  - 会社サイト創業: 1920年従業員数: 157人会社詳細
  - 住所: 高知県高知市布師田3950
- - 株式会社北村製作所メーカー
    産業洗浄装置一覧
  - 会社サイト創業: 1945年従業員数: 411人会社詳細
  - 住所: 新潟県新潟市江南区両川1丁目3604番地12
- - 株式会社伸友メーカー
    洗浄装置
  - 会社サイト創業: 1968年従業員数: 30人会社詳細
  - 住所: 広島県福山市一文字町14番31号
- - 株式会社三社電機製作所メーカー
    超音波洗浄機 CleanRex
  - 会社サイト上場(東証スタンダード) 創業: 1933年従業員数: 667人資本金: 2,774,277,500円会社詳細
  - 住所: 大阪府大阪市東淀川区西淡路3丁目1番56号
- - 株式会社ユーテックメーカー
    洗浄機
  - 会社サイト創業: 1998年従業員数: 13人資本金: 10,000,000円会社詳細
  - 住所: 宮城県仙台市青葉区二日町13-18
- - 株式会社ユニカルメーカー
    洗浄設備
  - 会社サイト創業: 1981年従業員数: 20人資本金: 60,000,000円会社詳細
  - 住所: 和歌山県橋本市小峰台2-9-9
- - 株式会社メイワメーカー
    リンサー
  - 会社サイト創業: 1967年従業員数: 150人資本金: 80,000,000円会社詳細
  - 住所: 和歌山県紀の川市長田中345-1
- - 株式会社マルヤスメーカー
    メタルプレッシャー(MP)
  - 会社サイト創業: 1976年従業員数: 25人資本金: 50,000,000円会社詳細
  - 住所: 愛媛県新居浜市外山町16-32
- - 株式会社マイクロジェットメーカー
    1ノズルインクジェットヘッド洗浄装置
  - 会社サイト創業: 1997年会社詳細
  - 住所: 長野県塩尻市大門五番町79-2
- - 株式会社ファインテクノメーカー
    洗浄装置
  - 会社サイト創業: 2006年資本金: 8,000,000円会社詳細
  - 住所: 神奈川県川崎市宮前区有馬2-9-24成瀬ビル3F
- - 株式会社バンテックメーカー
    洗浄装置
  - 会社サイト創業: 1993年従業員数: 13人資本金: 15,000,000円会社詳細
  - 住所: 神奈川県平塚市東豊田531-24
- - 株式会社ニンバスメーカー
    洗浄器
  - 会社サイト創業: 1993年資本金: 10,000,000円会社詳細
  - 住所: 兵庫県南あわじ市福良乙1288の21
- - 株式会社ダン・タクマメーカー
    洗浄装置
  - 会社サイト創業: 1969年従業員数: 78人資本金: 90,000,000円会社詳細
  - 住所: 神奈川県横浜市港北区新横浜3-19-1
- - 株式会社シートスメーカー
    果肉洗浄機
  - 会社サイト創業: 2007年従業員数: 45人資本金: 10,000,000円会社詳細
  - 住所: 福岡県北九州市小倉北区赤坂海岸8-20

洗浄装置 2025年2月のメーカーランキング

*一部商社などの取扱い企業なども含みます

2025年2月の注目ランキングベスト10

順位	会社名	クリックシェア
1	株式会社ケンテック	1.7%
2	高橋金属株式会社	1.7%
3	株式会社TOSEI	1.7%
4	株式会社イー・スクエア	1.5%
5	株式会社ファインテクノ	1.5%
6	HUGパワー株式会社	1.3%
7	OKIネクステック株式会社	1.3%
8	栗田工業株式会社	1.3%
9	森合精機株式会社	1.3%
10	株式会社ダン・タクマ	1.2%