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蒸着・スパッタソース混在【複合型成膜装置】nanoPVD-ST15A取扱企業
テルモセラ・ジャパン株式会社カテゴリ
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蒸着装置の製品92点中、注目ランキング上位6点
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| 商品画像 | 品番 | 価格 (税抜) | 電源 | プロセスガス | N2ベントガス | 圧縮空気 | 冷却水 |
|---|---|---|---|---|---|---|---|
|
|
nanoPVD-ST15A |
要見積もり |
200V 単相 20A |
15-25psi (0.1~0.172Mpa) , 50 sccm, 1/4”Swagelok接続 |
5psi (34Kpa) ,99.9955推奨,Φ6mmクイック継手 |
60-80psi (0.41~0.55Mpa) ,Φ6mmクイック継手 |
1l/min@18-20℃, Max. 2bar (0.2Mpa) , Φ8mmクイック継手 (In/Out) |
蒸着装置をフィルターから探すことができます
使用用途
#研究開発 #金属膜 #有機エレクトロニクス #電子顕微鏡試料 #多層膜 #電子部品半導体 #超高真空 #MBE #保護膜排気時間 分
10 - 15 15 - 20 20 - 25排気系主ポンプ
クライオポンプ 油拡散ポンプ ターボ分子ポンプ操作方法
全自動 手動 自動基板サイズ mm
50 - 100 100 - 200 200 - 300 300 - 1,000 1,000 - 3,000チャンバーサイズ mm
150 - 200 200 - 250 250 - 300 300 - 350 350 - 400蒸発方式
抵抗加熱 電子銃 高周波誘導加熱基板加熱温度 ℃
100 - 500 500 - 800 800 - 1,000膜厚分布 %
1 - 5 5 - 15
