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蒸着・スパッタソース混在【複合型成膜装置】nanoPVD-ST15A取扱企業
テルモセラ・ジャパン株式会社カテゴリ
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| 商品画像 | 品番 | 価格 (税抜) | 電源 | プロセスガス | N2ベントガス | 圧縮空気 | 冷却水 |
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nanoPVD-ST15A |
要見積もり |
200V 単相 20A |
15-25psi (0.1~0.172Mpa) , 50 sccm, 1/4”Swagelok接続 |
5psi (34Kpa) ,99.9955推奨,Φ6mmクイック継手 |
60-80psi (0.41~0.55Mpa) ,Φ6mmクイック継手 |
1l/min@18-20℃, Max. 2bar (0.2Mpa) , Φ8mmクイック継手 (In/Out) |
