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小型蒸着装置 VTR-060M/ERH-VTR-060M/ERH
小型蒸着装置 VTR-060M/ERH-三弘エマテック株式会社

小型蒸着装置 VTR-060M/ERH
三弘エマテック株式会社

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この製品について

■製品説明

架台内にターボ分子ポンプ・補助ポンプをコンパクトに収納した、抵抗加熱式で低コストタイプの小型真空蒸着装置です。クリーン排気で基礎研究開発等の実験用に最適です。

■特徴

卓上に設置できるコンパクトなサイズで、ターボ分子ポンプを搭載しています。スイッチ操作だけで高真空排気が可能で、多層膜蒸着や基板回転もできる高い拡張性を持っています。低融点金属の蒸着に最適です。この製品は、基礎研究開発等の実験用に最適で、クリーン排気であるため、クリーンルーム内でも使用できます。

  • シリーズ

    小型蒸着装置 VTR-060M/ERH

企業レビュー 5.0

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投稿した日時: 2024年9月9日

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小型蒸着装置 VTR-060M/ERH 品番1件

商品画像 品番 価格 (税抜) メーカー 到達圧力 排気時間 真空層 フィードスルーカラー 基盤推奨サイズ 基板/電極間距離 蒸発電極構成 蒸発電極 メインポンプ 補助ポンプ オイルミストトラップ メインバルブ 補助バルブ 自動リークバルブ 操作 膜厚計 最大寸法 (mm) 質量 (kg) 最大寸法 (mm) 電源部 質量 (kg) 電源部
小型蒸着装置 VTR-060M/ERH-品番-VTR-060M/ERH

VTR-060M/ERH

要見積もり アルバック機工 (株) 10-4Pa 4.0×10-3Pa/20min 円筒型ガラスチャンバー (φ236mm×H250mm) 7ポート (底面) □50mm ・ □120mm (Max) Max 200mm 1点式 SEREM PSE-150C・1 式 0-10V 80A (Max) ターボ分子ポンプ 60L/sec 油回転真空ポンプ 20L/min OMT-050A オプション (バタフライバルブ) オプション (三方向バルブ) オプション 手動 オプション (CRTM-6000G) 428 (W) × 438 (L) × 713 (H) 50 480 (W) × 435.3 (D) × 149 (H) 24

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この商品の取り扱い会社情報

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会社概要

三弘エマテック株式会社は、1975年に設立された、真空機器、装置等の販売を行う企業です。 「真空技術」を軸とした、ポンプや分析機器、理化学機械を取り扱います。取り扱うメーカーは200社以上あり、顧客のニーズに合わせた製...

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  • 本社所在地: 愛知県
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