MiniLab series フレキシブル薄膜実験装置
テルモセラ・ジャパン株式会社

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この製品について

■MiniLabʻPlug & Playʼ 感覚でコンポーネントを組合せるモジュラーデザイン。必要な成膜条件を満たす専用機のセミカスタムメイドが可能なフレキシブル薄膜実験装置です。ご要望に応じた高性能成膜装置を最適価格でご提案致します。

特徴
■スモールフットプリント設置場所を選ばず、限られたラボスペースを有効活用できるコンパクトサイズの薄膜実験装置です。多元スパッタ、ロードロック機構など、大型になりがちであった複雑な装置構成でも幅 1,200mm、奥行 600mm 以内 (*060 19inch ツインラック式の場合) の設置面積に収まります。複合コンポーネント構成であっても煩雑にならず、整然と 19inch ラックフレーム内に収納されています。

■容易な部品交換・メンテナンススパッタターゲットや蒸着材料は、容易に交換・補充が可能な設計となっております。日常の材料交換に加え、清掃・メンテナンス作業の際にもストレスを感じさせないシンプル設計。交換部品メンテナンスキットの在庫も用意しております。又、主要制御機器 (MFC, PLC, HMI, 電源等) は信頼の日本製コンポーネントを標準採用しています。

■PC/HMIユーザーインターフェイスMiniLab シリーズの操作インターフェイスは、7inch タッチパネル HMI、又は Windows PC コントロールのいずれを選択できます。直感的な操作画面、各コンポーネントに触れず、HMI 画面上で全ての操作の一元管理が可能。作業者の熟練度を問わず常に安定した一定の実験結果を導き出します。装置を常に状態監視し安全に管理、故障解析も画面上に表示。トラブル発生後も迅速な復旧が可能となります。

■MiniLab-026 特徴シリーズ最小のコンパクトフットプリント。小型チャンバーにフレキシブルなコンポーネント配置。様々な用途に活用いただけます。コンパクトながら応用範囲は広く、様々な PVD 実験に活用いただけます。

型番
この商品には1種類の型番があります

シリーズ
MiniLab series フレキシブル薄膜実験装置

取扱企業
テルモセラ・ジャパン株式会社

カテゴリ

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成膜装置

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MiniLab series フレキシブル薄膜実験装置品番1件

商品画像	品番	価格 (税抜)	到達真空度	基板サイズ	ガス系統	APC 制御	真空ポンプ	膜厚センサ	基板回転	上下昇降	シャッター	抵抗加熱蒸着	有機蒸着	マグネトロンスパッタリング	プラズマエッチング	アニール	オプション
	MiniLab 026	要見積もり	<5x10-7mbar	最大 6inch	3 系統 (標準) Ar, O2, N2	PIDループ自動圧力制御 (又は、手動)	ターボ分子 , ロータリー (又はスクロール)	水晶振動子膜厚センサー最大 3	モーター駆動 30 段階速度可変式	手動、又はモーター駆動式	基板シャッター , ソースシャッター	TE1 ボックス型蒸着源最大 3 源	LTE-1 型有機蒸着源 (1cc) 最大 2 源	2/3inch カソード x 最大 3 源	RF150W 13.56MHz, DC850W PSU	2/3inch 加熱ステージ Max500℃	多元同時成膜