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到達真空度
<5x10-7mbar
基板サイズ
最大4inch
カソード
Φ2inch x 最大3
ガス系統
3系統 (標準) Ar, O2, N2
APC制御
PIDループ自動圧力制御 (又は、手動)
成膜運転
自動連続多層膜、同時成膜 (2源同時成膜)
真空ポンプ
ターボ分子 , ロータリー (又はスクロール)
真空計
ワイドレンジゲージ
膜厚センサ
水晶振動子膜厚センサー
基板回転
モーター駆動 30段階速度可変式
上下昇降
手動式
シャッター
基板シャッター
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nanoPVD-S10A取扱企業
テルモセラ・ジャパン株式会社カテゴリ
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蒸着装置の製品91点中、注目ランキング上位6点
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| 商品画像 | 価格 (税抜) | 到達真空度 | 基板サイズ | カソード | ガス系統 | APC制御 | 成膜運転 | 真空ポンプ | 真空計 | 膜厚センサ | 基板回転 | 上下昇降 | シャッター | オプション |
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要見積もり | <5x10-7mbar | 最大4inch | Φ2inch x 最大3 | 3系統 (標準) Ar, O2, N2 | PIDループ自動圧力制御 (又は、手動) | 自動連続多層膜、同時成膜 (2源同時成膜) | ターボ分子 , ロータリー (又はスクロール) | ワイドレンジゲージ | 水晶振動子膜厚センサー | モーター駆動 30段階速度可変式 | 手動式 | 基板シャッター |
・磁性材料用カソード , 基板ヒーター, 他 |
蒸着装置の中でこの商品と同じ値をもつ製品
排気系主ポンプがターボ分子ポンプの製品
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